ST-2258A型多功能数字式四探针测试仪技术说明书

高温四探针测试仪测试电阻率的原理和方法

高温四探针测试仪测试电阻率的原理和方法 高温四探针测试仪可以实现高温、真空及惰性气氛条件下测量硅、锗单晶（棒料、晶片）电阻率和外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻以及测量导电玻璃（ITO）和其他导电薄膜的方块电阻。 那么高温四探针测试仪的测量原理是什么呢？ 测量电阻率的方法很多，如三探针法、电容-电压法、扩展电阻法等，四探针法则是一种广泛采用的标准方法，高温四探针测试仪采用经典直排四探针原理，同时采用了双电测组合四探针法。 直排四探针法 经典的直排四探针法测试电阻率，要求使用等间距的探针，如果针间距离不等或探针有游移，就会造成实验误差。当被测片较小或在大片边缘附近测量时，要求计入电场畸变的影响进行边界修正。

采用双电测组合四探针的出现，为提高薄膜电阻和体电阻率测量准确度创造了有利条件。 目前双电测组合（亦称双位组合）四探针法有三种模式：模式（1），模式（2），模式（3），高温四探针测试仪采用模式（2），通过用计算机对三种模式的理论进行比较研究的结果表明：对无穷大被测片三种模式都一样，可是测量小片或大片边缘位置时，模式（2）更好，它能自动消除边界影响，略优于模式（3），更好于模式（1）。 那么高温四探针测试仪采用双电测组合四探针法有哪些优势呢？ 1、采用双电测组合四探针法进行测试，测试结果与探针间距无关，能够消除间距不等及针尖机械游移变化的影响，因此四探针测试台允许使用不等距探针头。 2、采用双电测组合四探针法具有自动修正边界效应的功能，对小尺寸被测片或探针在较大样品边缘附近时，不需要对样品做几何测量，也不必寻找修正因子。 3、采用双电测组合四探针法，不移动四探针针头，同时使用三种模式测量，即可计算得到测试部位的电阻均匀性。

四探针测电阻率实验指导书及SZT-2A四探针测试仪使用说明书

实验七四探针法测量材料的电阻率 一、实验目的 （1）熟悉四探针法测量半导体或金属材料电阻率的原理 （2）掌握四探针法测量半导体或金属材料电阻率的方法 二、实验原理 半导体材料是现代高新技术中的重要材料之一，已在微电子器件和光电子器件中得到了广泛应用。半导体材料的电阻率是半导体材料的的一个重要特性，是研究开发与实际生产应用中经常需要测量的物理参数之一，对半导体或金属材料电阻率的测量具有重要的实际意义。 直流四探针法主要用于半导体材料或金属材料等低电阻率的测量。所用的仪器示意图以及与样品的接线图如图1所示。由图1(a)可见，测试过程中四根金属探针与样品表面接触，外侧1和4两根为通电流探针，内侧2和3两根是测电压探针。由恒流源经1和4两根探针输入小电流使样品内部产生压降，同时用高阻抗的静电计、电子毫伏计或数字电压表测出其它两根探针（探针2和探针3）之间的电压V23。 a b 图1 四探针法电阻率测量原理示意图 若一块电阻率为 的均匀半导体样品，其几何尺寸相对探针间距来说可以看

作半无限大。当探针引入的点电流源的电流为I ，由于均匀导体内恒定电场的等位面为球面，则在半径为r 处等位面的面积为22r π，电流密度为 2/2j I r π= （1） 根据电流密度与电导率的关系j E σ=可得 22 22j I I E r r ρ σ πσπ= = = （2） 距离点电荷r 处的电势为 2I V r ρ π= （3） 半导体内各点的电势应为四个探针在该点所形成电势的矢量和。通过数学推导，四探针法测量电阻率的公式可表示为 123 231224133411112( )V V C r r r r I I ρπ-=--+?=? （4） 式中，1 12241334 11112( )C r r r r π-=--+为探针系数，与探针间距有关，单位为cm 。 若四探针在同一直线上，如图1(a)所示，当其探针间距均为S 时，则被测样品的电阻率为 123 2311112()222V V S S S S S I I ρππ-=- -+?=? （5） 此即常见的直流等间距四探针法测电阻率的公式。 有时为了缩小测量区域，以观察不同区域电阻率的变化，即电阻率的不均匀性，四根探针不一定都排成一直线，而可排成正方形或矩形，如图1(b)所示，此时只需改变电阻率计算公式中的探针系数C 即可。 四探针法的优点是探针与半导体样品之间不要求制备接触电极，极大地方便了对样品电阻率的测量。四探针法可测量样品沿径向分布的断面电阻率，从而可以观察电阻率的不均匀性。由于这种方法允许快速、方便、无损地测试任意形状样品的电阻率，适合于实际生产中的大批量样品测试。但由于该方法受到探针间距的限制，很难区别间距小于0.5mm 两点间电阻率的变化。 根据样品在不同电流（I ）下的电压值（V 23），还可以计算出所测样品的电阻率。

BTS-2002电池综合测试仪说明书

目录 1．前言 (2) 2．功能概述 (3) 3．仪器外观 (5) 4．接线方式 (6) 5．主功能菜单 (7) 6．电池静态参数测量模式 (8) 7．电池容量测量模式 (12) 8．单独充电模式 (14) 9．单独放电模式 (14) 10．程控电源模式 (14) 11．程控电子负载模式 (15) 12．电压与内阻表模式 (16) 13．仪器校准模式 (16) 14．读码功能（DS2502兼容码） (17) 15．仪器特性指标 (18)

前言 常见的可充电电池包含锂电池，镍镉电池，镍氢电池，以及密封铅酸蓄电池等。 其中，锂电池具有容量大，重量轻，循环次数高等特点，广泛应用于移动电话，PDA,数码相机，摄像机，笔记本电脑等领域，是目前最为先进的可充电电池。这里所指锂电池是成品锂电池包，由锂电芯（锂离子电芯或者锂聚合物电芯）加锂电池保护板组成。 镍镉电池是比较早应用的可充电电池，具有成本较低，低内阻，能够大电流放电的特点，至今在一些电动工具、电动车上面有广泛应用。 镍氢电池和镍镉电池类似，但是因为不含重金属，所以对环境的污染较小，目前在一些常见的消费类电子产品中应用广泛，已基本取代以前镍镉电池的应用领域。 小型密封铅酸电池，又称免维护铅酸电他，目前工艺成熟，目前主要应用在固定式后备电源场合，如不间断电源，应急照明灯等等场合。 针对这些可充电电池的生产检测需要，特研制了专用的可充电电池综合检测仪，本测试仪可以对电池的一些基本参数做一个定量的精确的测量，可以测量电池的开路电压，内阻，充电，放电性能，电池容量特别针对锂电池的功能还有过充电保护，过放电保护，过电流保护，短路保护等功能，并测出过相应的数值，极大的方便了电池的生产和售前售后服务工作。采用非常简单的几个步骤就可以直观的判断电池的性能和好坏，同时也具有快速筛选的功能，可以设定测量参数的上限和下限，可以容易的从一批电池成品中快速检测出不良电池，提高生产效率。另外，也附加了一些特别的功能，使之具有一些通用仪器设备的特征，扩大了设备的使用灵活性，以及具有应用范围广泛的特点。 此外，本测试仪可根据客户的需要提供软件升级服务，在基本型号的基础上，可以通过软件升级为可连接电脑的型号，可以通过电脑来设置和保存测试数据，自动记录测试结果。也可以通过电池条码来记录每块电池的测试数据，有利于生产质量的分析控制，产品追朔等等。另外，可以通过加装硬件升级模块来提高电压和内阻的测试精度上升一个数量级，来满足更苛刻的质量要求。

四探针操作手册

南开大学 硅光电子学与储能实验室 Four-Point Probe Operation | 2011 四探针操作手册

四探针操作说明书 Four-Point Probe Operation 第1章引言 (1) 1. 目的 (1) 2. 应用范围 (1) 3. 测试设备 (1) 四探针 (1) 数字电压源表 (2) 第2章原理简述 (3) 1. 薄膜(厚度≤4mm)电阻率： (3) 2. 薄膜方块电阻 (3) 第3章操作方法 (5) 1. 引言 (5) 2. 测试线连接方式 (5) 3. KEITHLEY 2400高压源表设置指南 (6) 4. 探针接触方式 (8) 5. 数据测试指南 (8) 第4章注意事项 (10) 附表 ................................................................................................................................................... I

第1章引言 1.目的 本说明书主要介绍用四探针法测试薄膜方块电阻及电阻率的原理及具体操作方法。 2.应用范围 测量参数：方块电阻，电阻率 测量样品：均匀薄膜，均匀薄片 方块电阻测试范围：0.01?～500M? 电阻率测试范围：10-5??cm～103??cm 样品大小：直径>1cm 精度：<±5% 3.测试设备 四探针 生产厂商： 广州四探针有限公司RTS-2型 基本指标： 间距：1±0.01mm； 针间绝缘电阻: ≥1000MΩ； 机械游移率: ≤0.3％； 探针：碳化钨或高速钢材质，探针直径Ф0.5mm； 探针压力：5～16 牛顿(总力)； 使用环境： 温度:：23±2℃； 相对湿度：≤65％； 无高频干扰； 无强光直射； 基本参数： Fsp=0.1 探针间距：1.0mm

静电测试仪使用说明书

Hand-held static sensor locates and meas-ures static voltages, tests air ionizers.New from 3M,the 718 Static Sensor can help companies competing in the global high-tech marketplace prevent cost-ly losses due to electro static discharge (ESD) damage by playing a vital and valuable role in their own ESD control program. Easy to use,the hand-held 3M ?718 Static Sensor is designed to measure static voltages on objects and sur-faces arising from electrostatic charge buildups,and can help identify ESD trouble-spots — ensuring product relia-bility and customer satisfaction which translates into com-pany profits. As a bonus,when used in conjunction with the 3M TM Model 718A Air Ionizer Test Kit,the 718 can also be used to verify the operation of air ionizers.718 Static Sensor Features ? Small-size,lightweight,conductive plastic housing ? Membrane switches for Power,Range/Zero,and Hold functions. ? Digital,LCD (liquid-crystal) display is easy to read and updates quickly. ? Ranging system assists user in making quick and easy measurements ? Measurements accurate to 5% ? Output jack available for continuous measurements Convenient Size/Low Power Requirements The 718 is small enough to be carried in a pocket and weighs less than 5 oz. (142 g),including battery. The light-weight plastic housing is conductive,allowing a properly-grounded user to dissipate all electrostatic charges from the surface of the meter.Meter Functions The meter is equipped with three membrane switches which control different functions. The POWER switch turns the instrument on and off. The RANGE/ZERO button performs two functions; when pressed momentarily it switches between the two measurement ranges of 0-2,000 volts and 0-20,000 volts,and if held for longer than 3 seconds,it resets the voltage display to 0 volts. The HOLD button allows the user to freeze a measurement on the LCD for later review.Ranging System Included with the 3M 718 Static Sensor is a ranging system consisting of two light-emitting diodes (LEDs) which each emit a circular red light onto the surface being measured for static. When the two lights intersect and form a single focused light,the measurement distance is the prescribed 1 inch (2.54 cm). Accuracy The Model 718 Static Sensor is accurate to within ±5% of the displayed measurement,at a distance of one inch (2.54 cm) from the target. Accuracy will vary as the dis-tance between measured object and instrument changes from the one inch (2.54 cm) specification.Analog Output Jack The analog output jack located in the front of the unit pro-vides a convenient hook-up,via a 3/32 inch (2.5 mm)monophone jack,to a recorder/data acquisition console. The 3M 718 Static Sensor may then be used for remote monitoring or permanent recording of electrostatic voltage readings. 3M 718 Static Sensor Specifications Dimensions 0.85" (H) x 2.4" (W) x 4.15" (L) 2.2 cm (H) x 6.1 cm (W) x 10.5 cm (L)Weight 4.5 oz. (128 g) with battery Power Requirements One 9-volt alkaline battery Measurement Ranges 0 – 2 kV Low Range 0 - 20 kV High Range V oltage Display 3) digit liquid crystal display V oltage Output 1/1000 of measured voltage @ low range 1/10,000 of measured voltage @ high range Distance Indicator LED targets. Aligned targets indicate 1 in. (2.54 cm) measurement distance Measurement Accuracy Within 5% of actual voltage Certifications UL,C-UL,CE,CB-scheme,NOM 3 718 Static Sensor 718A Air Ionizer Test Kit 718 Range Finder Unfocused 718 Range Finder at 1" away 3M 718 Static Sensor 1 2 3

M2型手持式数字式四探针测试仪简介

M-2型手持式数字式四探针测试仪简介 一、M-2型手持式数字式四探针测试仪 二、概述 M-2型手持式数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理测试电阻率/方阻的多用途综合测量仪器。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国标准。 仪器成套组成：由主机、选配的四探针探头等二部分组成，也可加配测试台。 主机主要由数控恒流源，高分辨率ADC、嵌入式单片机系统组成，自动转换量程。仪器所有参数设定、功能转换全部采用一旋钮输入；具有零位、满度自校功能；全自动转换量程；测试结果由数字表头直接显示。本测试仪采用可充电电池供电，适合手持式变动场合操作使用！ 探头选配：根据不同材料特性需要，探头可有多款选配。有高耐磨碳化钨探针探头，以测试硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻；也有球形镀金铜合金探针探头，可测柔性材料导电薄膜、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜（ITO膜）或纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻。换上四端子测试夹具，还可

对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。配专用探头，也可测试电池极片等箔上涂层电阻率方阻。 仪器具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、智能化程度高、结构紧凑、使用简便等特点。 仪器适用于半导体材料厂器件厂、科研单位、高等院校对导体、半导体、类半导体材料的导电性能的测试。 三、基本技术参数 1. 测量范围、分辨率 电阻：0.010 ～9999Ω, 分辨率0.001 ～1 Ω 电阻率：0.010～2000Ω-cm，分辨率0.001 ～1 Ω-cm 方块电阻：0.050～2000Ω/□分辨率0.001 ～1 Ω/□ 2. 材料尺寸 手持方式不限材料尺寸，但加配测试台则由选配测试台和测试方式决定 直径：SZT-A圆测试台直接测试方式Φ15～130mm。 SZT-C方测试台直接测试方式180mm×180mm。 长(高)度：测试台直接测试方式H≤100mm。. 测量方位: 轴向、径向均可. 3. 量程划分及误差等级

四探针一体机使用说明书

SZT-2A四探针测试仪 使用说明书 一概述 SZT-2A型数字式四探针测试仪是运用四线法测量原理的多用途综合测量装置，配上专用的四探针测试架，即可以测量片状，块状或柱状半导体材料的径向和轴向电阻率，测量扩散层的薄层电阻（亦称方块电阻）。四探针测试架有电动，手动，手持三种可以选配，另外还配有四个夹子的四线输入插头用来作为测量线状或片状电阻的中，低阻阻值。 仪器由主机，测试架等部份组成，测试结果由液晶显示器显示，同时，液晶显示器还显示测量类型（电阻率，方块电阻和电阻）以及探头修正系数， 主机由开关电源，DC/DC变换器，高灵敏度电压测量部份，高稳定度恒流源，和微电脑控制系统组成。由於采用大规模集成电路，所以仪器可靠性高，测量稳定性好。 测试探头采用宝石导向轴套和高硬度钢针，定位准确，游移率小，使用寿命长。 仪器适用於半导体材料厂，半导体器件厂，科研单位，高等院校对半导体材料电阻性能的测试。 本仪器工作条件为： 温度：23℃±3℃ 相对湿度：50%~70%

工作室内应无强磁场干扰，不与高频设备共用电源。 二，技术参数 1，测量范围 电阻率： 10??-105?-cm 方块电阻 10??- 105?/□ 电阻 10-?- 105? 2，可测半导体材尺寸 直径：Ф15-100mm 长（或高）度：≤400mm 3，测量方位 轴向，径向均可 4，数字电压表： （1）量程：20mV,200mV,2V （2）误差：±0.5%读数±2字 （3）输入阻抗:>10?? （4）最大分辨率:10μV （5）点阵液晶显示，过载显示。 5，恒流源： （1）电流输出：共分10μA,100uA,1mA,10mA,100mA五挡可通过按键选择，各挡均为定值不可调节，电阻率探头 修正系和扩散层方块电阻修正系数均由机内CPU运算 后，直接显示修正后的结果。

检测仪使用说明书

检测仪使用说明书 一．概述 核酸蛋白检测仪、紫外检测仪是液湘色谱仪中的一种紫外检测装置，核酸蛋白检测仪、紫外检测仪是根据生命科学的发展对于现代色谱仪器的要求而改进设计的一种新型紫外检测仪。该仪器在创新方面的主要特点为： 1.该仪器除配有输出10ｍV记录仪信号外，还配有输出适合计算机积分仪的输口，这 样很方便构成色谱工作站系统。（可同时进行计算机和记录仪信号输出，亦可省去记录仪） 2.该仪器的数字显示设计为固定光吸收，A显示计算机用和可变量程光吸收Ａ显示记 录仪用两种可选模式，这样可方便于规范化读数（特别是可应用于药品生产的GMP 工艺规范化管理），同时亦可根据科研需要进行可变量程的高灵敏度读数，这样可方便于对低浓度样品检测。 3.该仪器采用新型进口IP28光电倍增管和改进型电路结构，使仪器工作更为稳定可 靠。 该仪器配有上层析柱、恒流泵、部分收集器等等，即组成一套完整的液色湘色谱分离分析系统。它可应用于现代生物学研究，药物测定、农业科研、化工、食品及医疗单位对具有紫外吸收的样品作定量分析。本仪器主要元器件均采用进口，仪器全部采用LED数字显示，使用方便。 二．主要技术性能 （１）核酸蛋白检测仪提供波长：254nm、280nm。 （２）紫外检测仪提供波长：220nm、254nm、280nm、340nm。 （３）量程范围：0～100％Ｔ、0～2Ａ、0～1Ａ、0～0.5Ａ、0～0.2Ａ、0～0.1Ａ、0～0.05Ａ。 （４）流式样品池：容积100微升、光程３毫米。 微量样品池：容积30微升、光程10毫米。 （５）记录仪输出：10ｍV （６）积分仪输出：0.1Ａ/ｍV （７）数显模式：固定Ａ量程读数（0～2.0Ａ）；可变Ａ量程读数（0～2.0Ａ、0～1.0Ａ、0～0.5Ａ、0～0.2Ａ、0～0.1Ａ、0～0.05Ａ）。 （８）量程在0.05Ａ档时：噪音≦0.002Ａ。 （９）工作环境温度：0℃～35℃。 （10）仪器可连续工作。 （11）电源：220ＶＡＣ±10％５０ＨＺ。 （12）单体外形尺寸：280×180×158（mm）。 （13）主机重量：5㎏。 三．工作原理 从光源发出的光经狭缝，滤色器聚焦到样品池上，此单色光通过样品池射到光电倍增管的光阴极面上，使光束由于样品浓度不同所引起透光强度的变化转换成光电流变化，此光电流经放大器放大，并输入到对数转换器、使透光率Ｔ转换成光吸收Ａ输出即Ａ=lgＴ/1=ε·ＣＬ式中ε为待测样品的摩尔消光系数，Ｃ为样品浓度，采用摩尔/升单位，Ｌ为光程，用厘米作单位。根据上式只要测出了Ａ、Ｌ和ε就可求出样品浓度Ｃ。若从放大器直接输入到记录仪，则在记录仪上绘出的是样品透光率Ｔ变化的图谱，若从对数转换器输入到记录仪上，在记录仪上绘出的是样品光吸收变化的图谱。 四．仪器结构 核酸蛋白检测仪、紫外检测仪是单光路结构，由紫外检测器、和记录仪部分组成现将其构造分别说明如下： １．紫外检测仪： 它由光源、干涉滤色片、样品池、光电倍增管、放大和对数板、低压板和高压板等组成。面板上有四氟塑料管的进样口和出样口，Ａ调零以及调节“光量”大小旋（光

3250综合测试仪操作说明

1、前言 1、1产品概说. 3259 变压器综合测试系统乃是一部全功能自动化测试的零件量测分析仪器, 本量测仪器 设计的主要宗旨为本着十多年来的经验与成果累积, 为解决目前日益蓬勃发展的电子业因人 工效率以及产品品质所带来之烦恼, 满足电子行业提高工作效率及提升产品之品质需要，其性能质量已达国际水准。 本测量仪器所包含之量测功能有电感、电容、交流电阻、阻抗 (L、C、R、Z), 直流电阻 (DCR), 变压器相位 (PH), 及圈数比 (Turn-Ratio), 漏电感(Lk), 脚位短路(PS), 平衡 (Balance) 等测试功能,为生产线及品管QC提供最完善的测试功能。 经由本量测仪器之内部控制之自动式及可程序之量测功能, 以提供在低成本下有高精度、便利、快速及可靠之测试, 其提供了上下界限比较及分组测试, 测试频率及测试电压之选择控制、加载校正(Load)、多频扫瞄测试功能、设定数据储存记忆功能、单机扫描测试功能、另外可藉由扫描控制器做全功能完全扫描测试, 内存扩充接口做数据存取控制, RS-232接口做数 据传输与统计分析功能, 打印机接口功能将测试结果打印, 藉由操纵接口HANDLER经由外部 触发仪器量测并可将此量测结果藉由此接口送至外部,做为反应零件处理设备. 本仪器亦有提供重迭电流(I≦1A)产生器, 可配合重迭电流产生器量测线圈重迭电流电感量。 多用途可变的测试装置, 人性化的键盘设计, 引导式的操作接口, 超大型液晶显示面板, 按键锁住和密码保护功能等等措施都使本仪器在操作上能方便容易的使用, 并有保护功能使 测试结果被清楚的显示于显示器上。 3259基本量测准确度为0.1%, 校正时以校正用之专属量测装置 (可选购) 并输入简单之量测参数. 使用者只需在程序中提供开路 (Open) 及短路 (Short) 的条件即可非常简单快速完成校正作业. 仪器随时需要外部测试或导线延伸测试时, 注意需使用正确的4接点连接测试. 且在高 频量测时需考虑测线的高频响应.

继电保护测试仪说明书

微机继电保护测试仪 使 用 说 明 书

目录 目录 (1) 第一部分微机继电保护测试仪使用说明 (3) 第一章装置特点与技术参数 (4) 第二章装置硬件结构 (6) 第三章单机操作模块功能说明 (8) 第四章外接PC机操作说明 (21) 第二部分继保软件操作说明 (21) 第五章软件操作方法简介 (22) 第六章交流试验 (24) 第七章直流试验 (32) 第八章状态系列 (34) 第九章谐波叠加试验 (38) 第十章频率及高低周试验 (41) 第十一章功率方向及阻抗试验 (45) 第十二章同期试验 (49) 第十三章整组试验Ⅰ和Ⅱ (54) 第十四章距离和零序保护 (59) 第十五章线路保护 (64) 第十六章阻抗特性 (70) 第十七章差动保护 (73) 第十八章 6-35KV微机线路保护综合测试 (80) 附录1：外接电脑串行通信口的设置 (85) 附录2：插接U盘等设备时设备驱动安装方法 (87) 附录3：各种继电器的试验方法 (87)

第一部分 继保使用说明

第一章装置特点与技术参数 第一节主要特点 ◆标准的4相电压3相电流输出具有4相电压3相电流输出，可方便地进行各种组合输出进行各种 类型保护试验。每相电压可输出120V，电流三并可输出120A，第4相电压Ux为多功能电压项，可设为4种3U0或检同期电压，或任意某一电压值的情况输出。 ◆单机操作方便单机由方便灵活的旋转鼠标通过大屏幕液晶显示屏进行操作，全部中文显示。可 完成现场大多数试验检定工作，可对各种继电器及微机保护进行检定，并可模拟各种复杂的瞬时性、永久性、转换性故障进行整组试验。开机即可使用，操作方便快捷。 ◆双操作方式，联接电脑运行通过Windows平台上的全套中文操作软件，可进行各种大型复杂 及自动化程度更高的校验工作，可方便地测试及扫描各种保护定值，可实时存贮测试数据，显示矢量图，绘制故障波形，联机打印报表等。 ◆软件功能强大可完成各种自动化程度高的大型复杂校验工作，如三相差动试验、厂用电快切、 备自投试验、线路保护检同期重合闸等，能方便地测试及扫描各种保护定值，进行故障回放，实时存储测试数据，显示矢量图，联机打印报告等。 ◆开关量接点丰富7路接点输入和2对空接点输出。输入接点为空接点和0～250V电位接点兼容， 可智能自动识别。输入、输出接点可根据用户需要扩展。 ◆大屏幕LCD显示屏本机采用320×240点阵大屏幕高分辨率图形液晶显示屏，全部操作过程均在 显示屏上设定，操作界面和试验结果均汉化显示，显示直观清晰。 ◆自我保护采用合理设计的散热结构，并具有可靠完善的多种保护措施及电源软启动，和一定的 故障自诊断及闭锁功能。 ◆具有独立专用直流电源输出装置设有一路110V 及220V专用可调直流电源输出。 ◆性价比高属于跨专业联合设计产品，综合了多专业的先进科技成果。兼具大型测试仪的性能， 和小型测试仪的价位，具有很高的性能价格比。

XXX软件用户手册

XXX软件用户手册 (软件版本：FMS2.1)

目录 用户手册 (3) 概述 (3) 功能特点 (3) 系统要求 (3) 软件安装 (3) 硬件安装 (4) 请用户在阅读本手册及操作本软件前先详读《RTS-8型四探针测试仪》

用户手册 因有的概念跟理论要了解后,阅读此手册和使用本软件时更容易理解、操作。 概述 RTS-8型四探针软件测试系统是一个运行在计算机上拥有友好测试界面的用户程序，程序操作直观易用。测试程序在计算机与RTS-8型四探针测试仪连接的状态下，通过计算机的并口实现通讯。 测试程序控制四探针测试仪进行测量并采集测试数据，把采集到的数据在计算机中加以分析，然后把测试数据以表格，图形直观地记录、显示出来。用户可对采集到的数据在计算机中保存或者打印以备日后参考和查看，还可以把采集到的数据输出到Excel中，让用户对数据进行各种数据分析。 功能特点 可以选择进行手动测量或者是自动测量； 对可疑测量点的数据进行重测； 详细记录被测试材料各种参数，结合测试数据进行数据统计分析； 以直方图形式统计分析数据； 打开、保存、打印测试数据； 把测试数据导出到Excel中进行更详细的数据统计分析； 系统要求 请确定你的电脑是IBM PC兼容型并具备以下最低的系统要求： Intel兼容586DX-500MHz中央处理器或者更高； 一个IEEE-1284标准并行通讯端口； 显示卡分辨率支持1024*768模式； 软件安装 本软件可安装在Win98、Win2000、XP操作系统上。请按以下步骤进行安装。 1.将四探针软件测试系统的安装光盘放入光驱中，执行光盘目录下的【Setup.exe】进行安

3250综合测试仪操作说明

3250综合测试仪操作说明 1、前言 1、1产品概说. 3259 变压器综合测试系统乃是一部全功能自动化测试的零件量测分析仪器, 本量测 仪器设计的主要宗旨为本着十多年来的经验与成果累积, 为解决目前日益蓬勃发展的电子 业因人工效率以及产品品质所带来之烦恼, 满足电子行业提高工作效率及提升产品之品质 需要，其性能质量已达国际水准。 本测量仪器所包含之量测功能有电感、电容、交流电阻、阻抗 (L、C 、R 、Z), 直 流电阻 (DCR), 变压器相位 (PH), 及圈数比 (Turn-Ratio), 漏电感(Lk), 脚位短路(PS), 平衡 (Balance)等测试功能, 为生产线及品管QC 提供最完善的测试功能。 经由本量测仪器之内部控制之自动式及可程序之量测功能, 以提供在低成本下有高精度、便利、快速及可靠之测试, 其提供了上下界限比较及分组测试, 测试频率及测试电压 之选择控制、加载校正(Load)、多频扫瞄测试功能、设定数据储存记忆功能、单机扫描测 试功能、另外可藉由扫描控制器做全功能完全扫描测试, 内存扩充接口做数据存取控制, RS-232接口做数据传输与统计分析功能, 打印机接口功能将测试结果打印, 藉由操纵接口HANDLER 经由外部触发仪器量测并可将此量测结果藉由此接口送至外部, 做为反应零件处 理设备. 本仪器亦有提供重迭电流(I≦1A) 产生器, 可配合重迭电流产生器量测线圈重迭 电流电感量。 多用途可变的测试装置, 人性化的键盘设计, 引导式的操作接口, 超大型液晶显示面板, 按键锁住和密码保护功能等等措施都使本仪器在操作上能方便容易的使用, 并有保护 功能使测试结果被清楚的显示于显示器上。 3259基本量测准确度为0.1%, 校正时以校正用之专属量测装置 (可选购) 并输入简 单之量测参数. 使用者只需在程序中提供开路 (Open) 及短路 (Short) 的条件即可非常 简单快速完成校正作业. 仪器随时需要外部测试或导线延伸测试时, 注意需使用正确的4接点连接测试. 且在 高频量测时需考虑测线的高频响应. 1.2规格摘要 测定参数 : 第一测试参数 -- L、C 、R 、｜Z ｜、Y 、△、△%、DCR 、Turn-Ratio 第二测 试参数 -- Q、D 、R 、θ 基本精度测定范围 : Basic 0.1%（1kHz/ 1V rms） : L C R Q D

IXIA测试仪使用手册

IXIA测试仪使用手册 一、设备开机、关机 （一）开机 打开IXIA测试仪电源，等待设备启动完成，需将测试客户端IP设置为192.168.1.200，测试仪IP地址为192.168.1.100，开IxNetwork或IxLoad可连接测试仪表明设备完成开机。 （二）关机 在运行中输入mstsc进入远程桌面，连接到计算机192.168.1.100，在运行中输入shutdown.exe -s -t 3让设备在3秒内关闭，让系统自动关闭。 二、二三层测试配置（IxNetwork） 使用IxNetwork配置测试基本流程如下图所示。 （一）添加测试端口 点击标题栏中的 或Overview表页中的

连接192.168.1.100测试板卡 添加测试用端口

然后点击OK键，完成测试端口添加。 （二）配置端口、协议 启用测试端口Ping及ARP，如下图所示。 添加测试端口IP地址、网关，并使能端口，如下图所示，添加的网关地址需是实际存在的，可以是交换机的网关地址或测试端口对端IP地址。

（三）配置流量 选择配置流量。 Type of Traffic选项可选择Raw、Ethernet/vlan、IPV4分别对应原始报文流（需手动编辑，用来打广播包流）、二层流、三层流（需配置IP地址及网关），Bi-Directional表示流是双向流。 1、IPV4（三层流）

在设置好Type of Traffic、Traffic Mesh以及选择好端口后，点击添加Endpoint。点击NEXT，在Packet/QoS、Flow Group Setup、Frame Setup、Rate Setup保持默认配置。点击NEXT，进入Flow Tracking，选择Traffic Item选项。点击NEXT，在后续Protocol Behaviors、 Preview以及Validate中保持默认选项，同时检查配置的有效性。

四探针电阻率测试仪检定规程

四探针电阻率测试仪检定规程 Verification Regulation of Resistivity Measuring Instruments with FourPorope Array Method 本检定规程经国家计量局于1987年7月6日批准，并自1988年5月6日起施行。 归口单位：中国计量科学研究院 起草单位：中国计量科学研究院 本规程技术条文由起草单位负责解释。 本规程主要起草人： 鲁效明(中国计量科学研究院) 参加起草人： 张鸿祥(中国计量科学研究院) 李利保(中国计量科学研究院) 四探针电阻率测试仪检定规程 本规程适用于新生产、使用中和修理后的接触式测量范围在0.001～103Ω·cm的电阻率测试仪的检定。对某些多功能的测试或只能测方块电阻的测试仪也同样适用，方块电阻的测量范围在0.01～104Ω/□。本规程不适用于二探针、三探针和六探针以及方形探头电阻率测试仪。 一概述 电阻率测试仪是用来测量半导体材料及工艺硅片的电阻率，或扩散层及外延层方块电阻的测量 仪器。它主要由电气部分和探头部分组成，电气部分一般包括稳流源、数字电压表或电位差计、换向开关等仪器。探头部分一般包括探针架、探针头和样品台。其原理图及外形结构如图1和图2所示。

图1 1-稳流源；2-换向开关；3-标准电阻；4-探针接线；5-无热电势开关；6-数字电压表；7-被测样品 图2 1-微型计算机部分；2-电气箱部分；3-手动升降机构、探针架、探针头及样品台部分 二技术要求 1 整体方法检定电阻率测试仪的标准样片，表面应没有任何脏物，长期使用应注意定期清洗(按标准样片使用说明中规定的方法清洗)，以保持样片表面的清洁。 表1

四探针测试仪测量薄膜的电阻率题库

四探针测试仪测量薄膜的电阻率 一、 实验目的 1、掌握四探针法测量电阻率和薄层电阻的原理及测量方法； 2、了解影响电阻率测量的各种因素及改进措施。 二、实验仪器 采用SDY-5型双电测四探针测试仪（含：直流数字电压表、恒流源、电源、 DC-DC 电源变换器）。 三、实验原理 电阻率的测量是半导体材料常规参数测量项目之一。测量电阻率的方法很 多，如三探针法、电容---电压法、扩展电阻法等。四探针法则是一种广泛采用的标准方法，在半导体工艺中最为常用。 1、半导体材料体电阻率测量原理 在半无穷大样品上的点电流源， 若样品的电阻率ρ均匀， 引入点电流源的 探针其电流强度为I ，则所产生的电场具有球面的对称性， 即等位面为一系列以点电流为中心的半球面，如图1所示。在以ｒ为半径的半球面上，电流密度ｊ的分布是均匀的： 若E 为ｒ处的电场强度， 则： 由电场强度和电位梯度以及球面对称关系， 则： 取ｒ为无穷远处的电位为零， 则： （1） dr d E ψ -=dr r I Edr d 22πρψ-=-=???∞∞I -=-=)(022r r r r dr Edr d ψπρ ψ r l r πρψ2)(=

图3 四探针法测量原理图 上式就是半无穷大均匀样品上离开点电流源距离为ｒ的点的电位与探针流 过的电流和样品电阻率的关系式，它代表了一个点电流源对距离ｒ处的点的电势 的贡献。 对图2所示的情形，四根探针位于样品中央，电流从探针1流入，从探针4 流出， 则可将1和4探针认为是点电流源，由1式可知，2和3探针的电位为： 2、3探针的电位差为： 此可得出样品的电阻率为： 上式就是利用直流四探针法测量电阻率的普遍公式。 我们只需测出流过1、 4 探针的电流I 以及2、3 探针间的电位差V 23，代入四根探针的间距， 就可以 求出该样品的电阻率ρ。实际测量中， 最常用的是直线型四探针（如图3所示）， 即四根探针的针尖位于同一直线上，并且间距相 等， 设r 12=r 23=r 34=S ，则有：S I V πρ223= 需要指出的是： 这一公式是在半无限大样 品的基础上导出的，实用中必需满足样品厚度及 边缘与探针之间的最近距离大于四倍探针间距， 这样才能使该式具有足够的精确度。 如果被测样品不是半无穷大，而是厚度，横向尺寸一定，进一步的分析表明， 在四探针法中只要对公式引入适当的修正系数B O 即可，此时： (223I V πρ=134132412)1111-+--r r r r )11(224122r r I -=πρψ)11(234 133r r I -=πρψ)1111(234 1324123223r r r r I V +--=-=πρψψS IB V πρ20 23=

甲醛检测仪使用说明书

美国INTERASCAN 4160型甲醛检测仪 使用说明书

美国INTERASCAN 4160型甲醛检测仪简介美国INTERASCAN 4160型甲醛检测仪是专门用于检测空气中甲醛含量的直读式仪器,仪器有内置采样泵，检测元件是长寿命、高可靠性的电化学传感器。 操作时，样气进入传感器，气体浓度以ppm为单位直接显示。 仪器的基本部件是：传感器、电池、电路。电路包括：零点补偿、传感器偏置、放大器、采样泵和液晶显示器等。 传感器原理 美国INTERASCAN 4160型甲醛检测仪采用三电极传感器有一系列优点，INTERASCAN传感器电解质是不活动的类似于闪光灯和镍镉电池中的电解质。所以不需要考虑电池损坏或酸对仪器的损坏。游离的电解质减少将清除不希望的传感器噪音干扰，特别是低浓度测量需要高放大倍数时，传感器有一个密封的储气室，这不仅使传感器寿命更长，而且消除了参比电极污染的可能性，不象二电极传感器需要空气来操作，INTERASCAN 传感器可用于厌氧环境。 INTERASCAN传感器是高灵敏度的检测器，根据气体的类型，其灵敏度大于扩散性传感器的50~200倍。可以测量非常低的值，这对于低浓度气体测量是重要的条件。 操作原理 美国INTERASCAN 4160型甲醛检测仪采用电化学电压型传感器，是一种电化学气体检测器，它是在控制扩散的条件下运行的。样气的气体分子被吸收到电化学敏感电极，经过扩散介质后，在适当的敏感电极电位下气体分子发生电化学反应，这一反应产生一个与气体浓度成正比的电流，这一电流转换为电压值并送给仪表读数或记录仪记录。 技术参数： 显示：液晶数字显示 测量范围：0~19.99ppm 最小读数：0.01ppm 不确定度：0.03ppm (0~0.5ppm) 体积：178×102×225mm3 重量：2Kg

RTS8型四探针测试仪用户手册1

文档来源为:从网络收集整理.word版本可编辑.欢迎下载支持. 目录 1.概述 (1) 2.技术指标 (1) 3.测量原理简介 (2) 4.仪器面板说明 (4) 5.使用方法 (6) 6.关于低阻测量 (8) 7.关于高阻测量 (8) 8.附录A：脱机测量样品基本操作流程 (9) 9.附表B：直径修正系数F(D/S)与D/S值的关系 (10) 10.附表C：厚度修正系数F(W/S)与W/S值的关系 (11) 11.附录D：S-2A探针台探头更换指导 (12) 感谢您使用我们的产品！ 如您是首次使用本仪器，请先详读本说明书，并妥善保留之以备查阅之用。 如有问题，欢迎致电：或登陆:http//

1.概述 RTS-8型数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国标准而设计的，专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器。 仪器由主机、探针测试台、四探针探头、计算机等部分组成，测量数据既可由四探针测试仪主机直接显示，亦可与计算机相连接通过四探针软件测试系统控制四探针测试仪进行测量并采集测试数据，把采集到的数据在计算机中加以分析，然后把测试数据以表格，图形直观地记录、显示出来。用户可对采集到的数据在电脑中保存或者打印以备日后参考和查看，还可以把采集到的数据输出到Excel中，让用户对数据进行各种数据分析。 仪器采用了最新电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。 本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。 2. 技术指标 2.1 测量范围 电阻率：10-4～105Ω.cm； 方块电阻：10-3～106Ω/□； 电阻：10-4～105Ω； 电导率：10-5～104s/cm； 可测晶片直径：140mmX150mm (配S-2A型测试台)； 200mmX200mm (配S-2B型测试台)； 400mmX500mm (配S-2C型测试台)； 2.2 恒流源 电流量程分为 1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA 六档，各档电流连续可调； 2.3 数字电压表 量程及表示形式：000.00～199.99mV； 分辨力：10μV； 输入阻抗：＞1000MΩ； 精度：±0.1%； 显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示； 2.4 四探针探头基本指标 间距：1±0.01mm； 针间绝缘电阻: ≥1000MΩ； 机械游移率: ≤0.3％； 探针：碳化钨或高速钢材质，探针直径Ф0.5mm； 探针压力：5～16 牛顿(总力)； 2.5 四探针探头应用参数 见探头附带的合格证，合格证含三参数项： C：探针系数； F：探针间距修正因子； S：探针平均间距； 2.6 模拟电阻测量相对误差（按 JJG508-87 进行）