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SZT-2A四探针测试仪使用说明书

SZT-2A四探针测试仪

使用说明书

一概述

SZT-2A型数字式四探针测试仪是运用四线法测量原理的多用途综合测量装置，配上专用的四探针测试架，即可以测量片状，块状或柱状半导体材料的径向和轴向电阻率，测量扩散层的薄层电阻（亦称方块电阻）。四探针测试架有电动，手动，手持三种可以选配，另外还配有四个夹子的四线输入插头用来作为测量线状或片状电阻的中，低阻阻值。

仪器由主机，测试架等部份组成，测试结果由液晶显示器显示，同时，液晶显示器还显示测量类型（电阻率，方块电阻和电阻）以及探头修正系数，

主机由开关电源，DC/DC变换器，高灵敏度电压测量部份，高稳定度恒流源，和微电脑控制系统组成。由於采用大规模集成电路，所以仪器可靠性高，测量稳定性好。

测试探头采用宝石导向轴套和高硬度钢针，定位准确，游移率小，使用寿命长。

仪器适用於半导体材料厂，半导体器件厂，科研单位，高等院校对半导体材料电阻性能的测试。

本仪器工作条件为：

温度：23℃±3℃

相对湿度：50%~70%

工作室内应无强磁场干扰，不与高频设备共用电源。

二，技术参数

1，测量范围

电阻率： 10??-105?-cm

方块电阻 10??- 105?/□

电阻 10-?- 105?

2，可测半导体材尺寸

直径：Ф15-100mm

长（或高）度：≤400mm

3，测量方位

轴向，径向均可

4，数字电压表：

（1）量程：20mV,200mV,2V

（2）误差：±0.5%读数±2字

（3）输入阻抗:>10??

（4）最大分辨率:10μV

（5）点阵液晶显示，过载显示。

5，恒流源：

（1）电流输出：共分10μA,100uA,1mA,10mA,100mA五挡可通过按键选择，各挡均为定值不可调节，电阻率探

头修正系和扩散层方块电阻修正系数均由机内CPU运

算后，直接显示修正后的结果。

（2）误差：±0.5%±2字。

6,四探针测试头;

(1) 探针间距: 1mm

(2) 探针机械游移率: ±1.0%

(3) 探针材料: 碳化钨,Ф0.5mm

(4) 0-2Kg可调,最大压力约2Kg

7, 电源:

交流 220V±10%

功耗<35W

本仪器可以选配电动测试架，手动测试架，手持探险头或四夹子电阻测量输入线。

1，电动测试架；

电动测试架是用步进电机驱动测试头升降，只要将被测工件放在测试平台中心位置，按一次启动按钮，测试头自动下降，直到针头和被测工件接触，探头将自动以慢速下降一段距离压紧探针使针与工件接触良好并等待测量，稍候测量结束，探头上行并恢复到原来位置。所以电动测试架的操作简便，探针对被测工件所施压力恒定，测量结果稳定，建议优先选配。

2，手动测试架

以其结构简单不用电源见长，只要操作熟练，测量精度和稳定性也很好。

3，手持式四探针测试头，使用灵活可以对任意形状的半导体材料进行测试，而且脱离了测试架尺寸的限止，可以对大尺寸单晶硅柱的任意部位进行单点或多点测试，但由於探针对被测材料的压力是由手感控制的，因此，测量时必须将探头持稳压紧，保证探针和被测工件接触良好。

4带夹四线测试头，是必配件，可以用四线法测量低阻值电阻。三，工作原理； 1，

测试原理；直流四探针法测试原理简介如下；

（1）电阻率测量；

当1，2，3，4四根金属针排成一直线时体材料上时，在1，4两根探针间通过电流I ，则在2，3探针间产生电位差V ，材料电阻率ρ=C I

(?-cm) (3-1) 式中C 为探针修正系数，由探针的间距决定。当试样电阻率分布均匀，试样尺寸满足半无穷大条件时

C=3

221211

1112S S S S S S +-+-+π

(cm) （3-2）

式中：S 1，， S 2 S 3 分别为探针对1与2，2与3，3与4之间的距离，探头系数由制造厂对探针间距进行测定后确定，并提供给用

户。每个探头都有自已的系数。 C ≈6.28±0.05,单位为cm 。（a ）块状或棒状样品体电阻率测量：

由於块状或棒状样品外形尺寸远大於探针间距，符合半无穷大的边界条件，电阻率值可直接由（3-1）式求出。（b ）薄片电阻率测量：

薄片样品因为其厚度与探针间距相近，不符合半远穷大边界条件，测量时要附加样品的厚度，形状和测量位置的修正系数。其电阻率值可由下面公式得出 ρ=C I V

G （S W ）D （S

）=ρ0

G （S

W ）D （S

）（3-3）

式中ρ0——

为块状体电阻率测量值

G （

W ）———为样品厚度修正系数，可由附录1A 或附录1B 查得。 W ：样品厚度（μm ）;S 探针间距（mm ）

D ：（S

）——为样品形状与测量位置的修正函数可由附录2查得。当园形硅片的厚度满足 S

<0.5条件时，电阻率为 ρ=ρ

D Ln S W 221 )(S

(3-4) 式中Ｌn2为２的自然对数。

当忽略探针几何修正系数时，即认为Ｃ＝２πＳ时， )(53.4)(2S

D I VW S d D ILn VW

πρ (3-5) (?)扩散层的方块电阻测量

当半导体薄层尺寸满足于半无穷大平面条件时:

I V Ln R 53.4)(20==

(3-6)

SZT-2A 型四探针测试仪电气部分原理框图:

仪器主体部分由单片计算机, 液晶显示器、键盘、高灵敏度，高输入阻抗的方大器、双积分式A/D 变换器、恒流源、，开关电源，DC-DC 变换隔离电源。电动，手动或手持式四探针测试架（头）等组成。四．使用方法

本仪器适配三种测试架（电动，手动，手持测试头），还可使用带有四个夹子的，四线法电阻测试输入插头，这四种输入插头虽然外形相同，使用同一个输入插座，但使用方法略有不同，以下将分别于以说明。 1，主机；

面板：面板左侧为液晶显示器，显示器的第一行显示测量结果，阻单位（K ?，?，m ?）和测量方式的符号（“-cm ” 电阻率,“ -口” 方块电阻，“—”电阻）- 在正常测量时第二行将以较小的字号显示和第一行相同的数值，只有在超程时第一行显示四个横杠（- - - -），第二行则显示一个正在使用的测量方式可以显示的最大数值，例如电阻率测量可以显示的最大值为1256，方块电阻可以显示的最大值为9060，而电阻测量则可以显示的最大显示值为

1999，（以上所示的值中小数点和单位均视测量当时所设量程而定，这里不作详述）。

面板右侧为指示灯和键盘，第一行5个指示灯分别指示当前恒流源的工作状态，这5个指示灯在任何情况下只有灯亮，如左起第一个灯亮则代表目前恒流源正在可以输出100mA恒定电流的工作状态。从左到右的5个指示灯分别指示了恒流源的“100mA”

“10mA”，“1mA”,“100μA”,“10μA”5个工作状态。

第二行三个指示灯，自左至右指示了三个电压量程（2V，200mV,20mV）。

第三行三个指示灯，自左至右为测量方式指示（电阻率，方块电阻，电阻）。

指示灯下面为二行三列功能设置键，上面一行为左移键，第二行为右移键，左起第一列为恒流源设置键，第二列为测量方式设置键，第三列为电压量程设置键，最下面一个键为往复键，重复按键可以选择测量或保持二个状态，（必须注意！当使用电动测试架时，只能设定在测量状态）。

B，后侧板：后侧板的左侧装有带保险丝的电源插座和电源开关，右侧为七芯信号输入插座和RS232的九针插头座。

2，电动测试架；

电动测试架是一个完整的组件，本身带有开关电源`，和步进

电机驱动电路，交流电源插头，九芯插头座和七芯输入插头，开关电源的+5V电源电压和七芯插头均通过一个九针插头和测试架连接，所以在使用前首先将它插入测试架上的九针座上，七芯输入插头插入主机后侧板上的输入插座中。

接通主机和测试架的220V交流电源，测试架的探头就会复位，上升到规定位置。

主机在接通电源后，首先运行自检程序，液晶显示器显示公司名称，网址，联系电话，同时指示灯循环点亮一次，最后电流指灯停在1mA位置上，电指示灯停在2V位置，测量模式指示灯停在电阻率测量模式，测量/保持键则选在测量位置，液晶显示器显示单位为K?-cm，（电阻率测量）液晶显示器的最下面一行显示的0.628是探头的修正系数。这是仪器在开机后的优先先选择。此时液晶显示器的第一行还没有显示任何数值，因为现在测量还没有开始，接下来可以将被测半导体材料放在测试架的园形绝缘板的园心上，把探针保护套取下并保存好，按一下测试架上的启动按键（小红键），随即测试头下降探针和被测工件接触稍后显示测量结果，测试头上升。如果测量结果显示“- - - -”则为超量程，可以减小恒流源的设置值或升高电压量程，如果电压量程置于最高，恒流电流置于最小，仍显示超量程则可能是被测工件电阻太大，已超出了本仪器的测量范围，当测量的结果为0则可以增大恒流电流或减小电压量程，调整电流或电压量程，直至测量结果可以显示三位以上的读数为最好的量程组合。

在选择量程时必须注意的是，如已知被测工件是半导体并且阻值大于10?时，不要使用10mA以上的恒流源，原因是10mA以上的恒流源使用较低的工作电压，而半导体材料表面的接触电阻又较大，会使恒流源工作不正常。

3，手动测试架，手持测试头，四端子电阻测试夹使用比较简单，只要将七芯输入插头插入输入端，仪器就会连续测量，将探针

和工件良好接触，就可在显示器上读出测量结果。

附录：

测量时，预估的样品阻值范围应该选择相对应的电流范围，关系如下表：

附录1A 样品厚度修正系数G （W

）

样品厚度较薄：W

S =0.001~1 见表5

W ：样品厚度（μm ）：S ：探针间距（mm ）

W/S W 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 0.00 0.01 0.02 0.03 0.04 0.05 0.06 0.07 0.08 0.09 0.10 0.11 0.12 0.13 0.14 0.15 0.16 0.17 0.18 0.19 0.20 0.21 0.22 0.23

0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 110 120 130 140 150 160 170 180 190 200 210 220 230

.000 .007 .014 .022 .029 .036 .043 .051 .058 .065 .072 .079 .087 .094 .101 .108 .115 .123 .130 .137 .144 .151 .159 .166

.001 .008 .015 .022 .030 .037 .044 .051 .058 .066 .073 .080 .087 .095 .102 .109 .116 .123 .131 .138 .145 .152 .159 .167

.001 .009 .016 .023 .030 .038 .045 .052 .059 .066 .074 .081 .088 .095 .102 .110 .117 .124 .131 .139 .145 .153 .160 .167

.002 .009 .017 .024 .031 .038 .045 .053 .060 .067 .074 .082 .089 .096 .103 .110 .118 .125 .132 .139 .146 .154 .161 .168

.003 .010 .017 .025 .032 .039 .046 .053 .061 .068 .075 .082 .089 .097 .104 .111 .118 .126 .133 .140 .147 .154 .162 .169

.004 .011 .018 .025 .032 .040 .047 .054 .061 .069 .076 .083 .090 .097 .105 .112 .119 .126 .133 .141 .148 .155 .162 .170

.004 .012 .019 .026 .033 .040 .048 .055 .062 .069 .077 .084 .091 .098 .105 .113 .120 .127 .134 .141 .149 .156 .163 .170

.005 .012 .019 .027 .034 .041 .048 .056 .063 .070 .077 .084 .092 .099 .106 .113 .120 .128 .135 .142 .149 .157 .164 .171

.006 .013 .020 .027 .035 .042 .049 .056 .063 .071 .078 .085 .092 .100 .107 .114 .121 .128 .136 .143 .150 .157 .164 .172

.006 .014 .021 .028 .035 .043 .050 .057 .064 .071 .079 .086 .093 .100 .107 .115 .122 .129 .136 .144 .151 .158 .165 .172

0.24 0.25 0.26 0.27 0.28 0.29 0.30 0.31 0.32 0.33 0.34 0.35 0.36 0.37 0.38 0.39 0.40 0.41 0.42 0.43 0.44 0.45 0.46 0.47 0.48 0.49 0.50 240

250

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0.51 0.52 0.53 0.54 0.55 056 0.57 0.58 0.59 0.60 0.61 0.62 0.63 0.64 0.65 0.66 0.67 0.68 0.69 0.70 0.71 0.72 0.73 0.74 0.75 0.76 0.77 510

520

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.533

.539

.545

0.78 0.79 0.80 0.81 0.82 0.83 0.84 0.85 0.86 0.87 0.88 0.89 0.90 0.91 0.92 0.93 0.94 0.95 0.96 0.97 0.98

0.99

1.00 780

790

800

810

820

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附录1B 样品厚度修正系数G （W

）

样品厚度较厚：W

S =0.01~3.49 见表 W ：样品厚度（μm ）：S ：探针间距（mm ） W/S 0.00 0.01 0.02 0.03 0.04 0.05 0.06 0.07 0.08 0.09

0.00 0.10 0.20 0.30 0.40

0.50 0.60 0.70 0.80 0.90

1.00 1.10 1.20 1.30 1.40

1.50 1.60 1.70 1.80 1.90

0.0000 0.0721 0.1443 0.2164 0.2884

0.3597 0.4293 0.4957 0.5576 0.6141

0.6647 0.7093 0.7482 0.7817 0.8106

0.8352 0.8563 0.8743 0.8897 0.9029

0.0072 0.0794 0.1515 0.2236 0.2956

0.3668 0.4361 0.5021 0.5635 0.6194

0.6694 0.7134 0.7518 0.7848 0.8132

0.8375 0.8382 0.8760 0.8911 0.9041

0.0144 0.0866 0.1587 0.2308 0.3027

0.3738 0.4429 0.5085 0.5694 0.6247

0.6741 0.7175 0.7553 0.7879 0.8158

0.8397 0.8601 0.8776 0.8925 0.9053

0.0216 0.0938 0.1659 0.2380 0.3099

0.3808 0.4496 0.5148 0.5751 0.6299

0.6787 0.7215 0.7589 0.7908 0.8184

0.8419 0.8620 0.8792 0.8939 0.9064

0.0289 0.1010 0.1731 0.2452 0.3171

0.3878 0.4563 0.5210 0.5809 0.6351

0.6833 0.7255 0.7622 0.7938 0.8209

0.8441 0.8639 0.8808 0.8952 0.9076

0.0361 0.1082 0.1803 0.2524 0.3242

0.3948 0.4630 0.5273 0.5866 0.6402

0.6877 0.7294 0.7666 0.7967 0.8234

0.8462 0.8657 0.8823 0.8965 0.9087

0.0433 0.1154 0.1875 0.2596 0.3313

0.4018 0.4696 0.5334 0.5922 0.6452

0.6922 0.7333 0.7689 0.7996 0.8258

0.8483 0.8675 0.8838 0.8978 0.9099

0.0505 0.1226 0.1948 0.2668 0.3385

0.4087 0.4762 0.5396 0.5978 0.6501

0.6965 0.7371 0.7122 0.8024 0.8282

0.8503 0.8692 0.8853 0.8991 0.9110

0.0577 0.1298 0.2020 0.2740 0.3456

0.4156 0.4827 0.5456 0.6033 0.6551

0.7009 0.7408 0.7754 0.8052 0.8306

0.8524 0.8709 0.8868 0.9004 0.9121

0.0649 0.1371 0.2092 0.2812 0.3526

0.4224 0.4892 0.5516 0.6087 0.6599

0.7051 0.7445 0.7786 0.8079 0.8329

0.8544 0.8726 0.8883 0.9016 0.9131

W/S 0.00 0.01 0.02 0.03 0.04 0.05 0.06 0.07 0.08 0.09

2.00 2.10 2.20 2.30 2.40

2.50 2.60 2.70 2.80 2.90

3.00 3.10 3.20 3.30 3.40 0.9142

0.9239

0.9323

0.9396

0.9459

0.9514

0.9562

0.9604

0.9641

0.9674

0.9703

0.9728

0.9751

0.9772

0.9790

0.9152

0.9248

0.9331

0.9402

0.9519

0.9566

0.9608

0.9644

0.9677

0.9705

0.9731

0.9753

0.9774

0.9792

0.9162

0.9257

0.9338

0.9409

0.9470

0.9524

0.9571

0.9612

0.9648

0.9680

0.9708

0.9733

0.9756

0.9776

0.9794

0.9172

0.9266

0.9346

0.9415

0.9476

0.9529

0.9575

0.9616

0.9652

0.9683

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0.9758

0.9778

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0.9182

0.9274

0.9353

0.9422

0.9482

0.9534

0.9579

0.9619

0.9655

0.9686

0.9713

0.9738

0.9760

0.9779

0.9797

0.9192

0.9283

0.9361

0.9428

0.9487

0.9538

0.9583

0.9623

0.9658

0.9689

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0.9202

0.9291

0.9368

0.9435

0.9493

0.9543

0.9588

0.9627

0.9661

0.9692

0.9718

0.9742

0.9764

0.9783

0.9800

0.9211

0.9299

0.9375

0.9441

0.9498

0.9548

0.9592

0.9630

0.9664

0.9694

0.9721

0.9745

0.9766

0.9785

0.9802

0.9221

0.9307

0.9382

0.9447

0.9503

0.9553

0.9596

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0.9667

0.9697

0.9724

0.9747

0.9768

0.9787

0.9803

0.9230

0.9315

0.9389

0.9453

0.9509

0.9557

0.9600

0.9637

0.9671

0.9700

0.9726

0.9749

0.9770

0.9788

0.9805

如需所测值更精确，请查下表

附录2样品形状和测量位置的修正系数D（d s）

（1）圆形薄片

直径d (mm)

探针位置

距圆心位置距边缘位置

0mm 1/4 d 5 mm 4 mm 3 mm 2 mm

20 23 25 27 30 32 35 38 40 42 45 50 55 57 60 63 65 70 75 80 90 0.9788

0.9839

0.9863

0.9882

0.9904

0.9916

0.9929

0.9940

0.9946

0.9951

0.9957

0.9965

0.9971

0.9973

0.9976

0.9978

0.9979

0.9982

0.9985

0.9986

0.9989

0.9633

0.9719

0.9761

0.9794

0.9832

0.9852

0.9876

0.9894

0.9904

0.9913

0.9924

0.9938

0.9919

0.9952

0.9957

0.9961

0.9963

0.9968

0.9972

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0.9981

0.9633

0.9662

0.9677

0.9688

0.9702

0.9709

0.9718

0.9725

0.9729

0.9733

0.9738

0.9744

0.9749

0.9751

0.9752

0.9755

0.9757

0.9760

0.9762

0.9764

0.9768

0.9508

0.9538

0.9553

0.9565

0.9580

0.9588

0.9598

0.9606

0.9610

0.9614

0.9620

0.9627

0.9633

0.9635

0.9638

0.9640

0.9641

0.9645

0.9648

0.9650

0.9654

0.9263

0.9295

0.9312

0.9325

0.9342

0.9351

0.9362

0.9371

0.9377

0.9382

0.9488

0.9497

0.9403

0.9406

0.9409

0.9412

0.9414

0.9418

0.9421

0.9424

0.9429

0.8702

0.8739

0.8758

0.8773

0.8793

0.8804

0.8817

0.8829

0.8835

0.8841

0.8849

0.8859

0.8868

0.8871

0.8875

0.8879

0.8881

0.8886

0.8891

0.8895

0.8901

100 0.9991 0.9984 0.9770 0.9657 0.9433 0.8904

（2）矩形薄片

正方形矩形

d/s a/d=1 a/d=2 a/d=3 a/d≥4

1.0 0.2204 0.2205

1.25 0.2751 0.2702

1.5 0.3263 0.3286 0.3286

1.75 0.3794 0.3803 0.3803

2.0 0.4301 0.4297 0.4297

2.5 0.5192 0.5194 0.5194

3.0 0.5422 0.5957 0.5958 0.5958

4.0 0.6870 0.7115 0.7115 0.7115

5.0 0.7744 0.7887 0.7888 0.7888

7.5 0.8846 0.8905 0.8905 0.8905

10.0 0.9312 0.9345 0.9345 0.9345

15.0 0.9682 0.9696 0.9696 0.9696

20.0 0.9788 0.9830 0.9860 0.9830

40.0 0.9955 0.9957 0.9957 0.9957

100 1.0000 1.0000 1.0000 1.0000

d：短边长度

a：长边长度

s：探针间距

提醒：每次开机启动，仪器会有一个自动校正和自动预热过程，初测试偶有5到10次测试数值不精确视为正常情况。

建议：一般情况下，附表1A即已完全能足够满足精度。

（电脑版本仪器不需要此项操作，具体操作用户见下页的此项说明）

电脑版本的请参考如下操作：

1: 请先阅读说明书并选择好测试电流

2: 连上电脑接口“RS232通用串行接口，或USB接口（使用USB接口必须安装CH341驱动程序）”

3:双击打开PC文件中的带图标的SZT文件,上面会出现SZT-2A四探针材料厚度自动查表修正软件介面，在介面的“厚度输入框”中输入材料厚度值后，测量结果通过串行口或USB接口送入PC机，在介面上即可显示修正后的数据。

4:在样品厚度中输入所测物品的厚度.然后在机器上选择好相应档位（阻值越小，电流档位越大反之则阻值越大，电流档位越小），按测试键，界面上即可显示出初测值和修正后的最终值。（位于下方的小数字为未修正值-即主机所显示的值；位于上方的大数字为已修正值。

5:所测值如需保存请按界面上的记录符号,查看记录则可以直接点击查看键.

6：如需长久保存测试记录，请每次工作完成后点击查看记录，出现记录后再点击（导出EXCEL），导出后可直接在工作电脑中保存。

7:当被测物体厚度超过一个毫米时,开机后则不用任何操作,此时只记录和查看有效.(因为被测物体厚度超过1MM时,不需要修正系数了)

8：电脑修正值只对电阻率测试有效，测试方块电阻和电阻无论厚度为多少无需修正，所以测试电阻和方块电阻时不用添入修正厚度，此时软件只起记录、保存、导出作用。

9：在使用电脑修正软件时，仍应注意仪器的测量结果，因为，当被测材料的阻值和仪器的量程不相符合时，测量结果会出现超量程或欠量程显示，而超量程或欠量程的结果，电脑修正软件都不会计算只是显示上一次的测量结果，如调整仪器量程再测量后电脑修正软件又可正确显示修正后的测量结果。

10: 电脑修正值也不适用於，手动测试架，手持探头和电阻测试夹。

11：请将驱动程序放入电脑的某一文件内，第一次使用USB接口时，程序会自动寻找驱动，按提示直接点继续、完成即可。

12：使用USB接口时接通电脑时，如电脑界面读不出数据，请直接点电脑程序界面左下角的“换一个端口”，如不出，继续按此操作直到找到对应端口为止。

苏州同创电子有限公司

四探针测电阻率实验指导书及SZT-2A四探针测试仪使用说明书

实验七四探针法测量材料的电阻率一、实验目的（1）熟悉四探针法测量半导体或金属材料电阻率的原理（2）掌握四探针法测量半导体或金属材料电阻率的方法二、实验原理半导体材料是现代高新技术中的重要材料之一，已在微电子器件和光电子器件中得到了广泛应用。半导体材料的电阻率是半导体材料的的一个重要特性，是研究开发与实际生产应用中经常需要测量的物理参数之一，对半导体或金属材料电阻率的测量具有重要的实际意义。直流四探针法主要用于半导体材料或金属材料等低电阻率的测量。所用的仪器示意图以及与样品的接线图如图1所示。由图1(a)可见，测试过程中四根金属探针与样品表面接触，外侧1和4两根为通电流探针，内侧2和3两根是测电压探针。由恒流源经1和4两根探针输入小电流使样品内部产生压降，同时用高阻抗的静电计、电子毫伏计或数字电压表测出其它两根探针（探针2和探针3）之间的电压V23。 a b 图1 四探针法电阻率测量原理示意图若一块电阻率为的均匀半导体样品，其几何尺寸相对探针间距来说可以看

作半无限大。当探针引入的点电流源的电流为I ，由于均匀导体内恒定电场的等位面为球面，则在半径为r 处等位面的面积为22r π，电流密度为 2/2j I r π= （1）根据电流密度与电导率的关系j E σ=可得 22 22j I I E r r ρ σ πσπ= = = （2）距离点电荷r 处的电势为 2I V r ρ π= （3）半导体内各点的电势应为四个探针在该点所形成电势的矢量和。通过数学推导，四探针法测量电阻率的公式可表示为 123 231224133411112( )V V C r r r r I I ρπ-=--+?=? （4）式中，1 12241334 11112( )C r r r r π-=--+为探针系数，与探针间距有关，单位为cm 。若四探针在同一直线上，如图1(a)所示，当其探针间距均为S 时，则被测样品的电阻率为 123 2311112()222V V S S S S S I I ρππ-=- -+?=? （5）此即常见的直流等间距四探针法测电阻率的公式。有时为了缩小测量区域，以观察不同区域电阻率的变化，即电阻率的不均匀性，四根探针不一定都排成一直线，而可排成正方形或矩形，如图1(b)所示，此时只需改变电阻率计算公式中的探针系数C 即可。四探针法的优点是探针与半导体样品之间不要求制备接触电极，极大地方便了对样品电阻率的测量。四探针法可测量样品沿径向分布的断面电阻率，从而可以观察电阻率的不均匀性。由于这种方法允许快速、方便、无损地测试任意形状样品的电阻率，适合于实际生产中的大批量样品测试。但由于该方法受到探针间距的限制，很难区别间距小于0.5mm 两点间电阻率的变化。根据样品在不同电流（I ）下的电压值（V 23），还可以计算出所测样品的电阻率。

四探针操作手册

南开大学硅光电子学与储能实验室 Four-Point Probe Operation | 2011 四探针操作手册

四探针操作说明书 Four-Point Probe Operation 第1章引言 (1) 1. 目的 (1) 2. 应用范围 (1) 3. 测试设备 (1) 四探针 (1) 数字电压源表 (2) 第2章原理简述 (3) 1. 薄膜(厚度≤4mm)电阻率： (3) 2. 薄膜方块电阻 (3) 第3章操作方法 (5) 1. 引言 (5) 2. 测试线连接方式 (5) 3. KEITHLEY 2400高压源表设置指南 (6) 4. 探针接触方式 (8) 5. 数据测试指南 (8) 第4章注意事项 (10) 附表 ................................................................................................................................................... I

第1章引言 1.目的本说明书主要介绍用四探针法测试薄膜方块电阻及电阻率的原理及具体操作方法。 2.应用范围测量参数：方块电阻，电阻率测量样品：均匀薄膜，均匀薄片方块电阻测试范围：0.01?～500M? 电阻率测试范围：10-5??cm～103??cm 样品大小：直径>1cm 精度：<±5% 3.测试设备四探针生产厂商：广州四探针有限公司RTS-2型基本指标：间距：1±0.01mm；针间绝缘电阻: ≥1000MΩ；机械游移率: ≤0.3％；探针：碳化钨或高速钢材质，探针直径Ф0.5mm；探针压力：5～16 牛顿(总力)；使用环境：温度:：23±2℃；相对湿度：≤65％；无高频干扰；无强光直射；基本参数： Fsp=0.1 探针间距：1.0mm

静电测试仪使用说明书

Hand-held static sensor locates and meas-ures static voltages, tests air ionizers.New from 3M,the 718 Static Sensor can help companies competing in the global high-tech marketplace prevent cost-ly losses due to electro static discharge (ESD) damage by playing a vital and valuable role in their own ESD control program. Easy to use,the hand-held 3M ?718 Static Sensor is designed to measure static voltages on objects and sur-faces arising from electrostatic charge buildups,and can help identify ESD trouble-spots — ensuring product relia-bility and customer satisfaction which translates into com-pany profits. As a bonus,when used in conjunction with the 3M TM Model 718A Air Ionizer Test Kit,the 718 can also be used to verify the operation of air ionizers.718 Static Sensor Features ? Small-size,lightweight,conductive plastic housing ? Membrane switches for Power,Range/Zero,and Hold functions. ? Digital,LCD (liquid-crystal) display is easy to read and updates quickly. ? Ranging system assists user in making quick and easy measurements ? Measurements accurate to 5% ? Output jack available for continuous measurements Convenient Size/Low Power Requirements The 718 is small enough to be carried in a pocket and weighs less than 5 oz. (142 g),including battery. The light-weight plastic housing is conductive,allowing a properly-grounded user to dissipate all electrostatic charges from the surface of the meter.Meter Functions The meter is equipped with three membrane switches which control different functions. The POWER switch turns the instrument on and off. The RANGE/ZERO button performs two functions; when pressed momentarily it switches between the two measurement ranges of 0-2,000 volts and 0-20,000 volts,and if held for longer than 3 seconds,it resets the voltage display to 0 volts. The HOLD button allows the user to freeze a measurement on the LCD for later review.Ranging System Included with the 3M 718 Static Sensor is a ranging system consisting of two light-emitting diodes (LEDs) which each emit a circular red light onto the surface being measured for static. When the two lights intersect and form a single focused light,the measurement distance is the prescribed 1 inch (2.54 cm). Accuracy The Model 718 Static Sensor is accurate to within ±5% of the displayed measurement,at a distance of one inch (2.54 cm) from the target. Accuracy will vary as the dis-tance between measured object and instrument changes from the one inch (2.54 cm) specification.Analog Output Jack The analog output jack located in the front of the unit pro-vides a convenient hook-up,via a 3/32 inch (2.5 mm)monophone jack,to a recorder/data acquisition console. The 3M 718 Static Sensor may then be used for remote monitoring or permanent recording of electrostatic voltage readings. 3M 718 Static Sensor Specifications Dimensions 0.85" (H) x 2.4" (W) x 4.15" (L) 2.2 cm (H) x 6.1 cm (W) x 10.5 cm (L)Weight 4.5 oz. (128 g) with battery Power Requirements One 9-volt alkaline battery Measurement Ranges 0 – 2 kV Low Range 0 - 20 kV High Range V oltage Display 3) digit liquid crystal display V oltage Output 1/1000 of measured voltage @ low range 1/10,000 of measured voltage @ high range Distance Indicator LED targets. Aligned targets indicate 1 in. (2.54 cm) measurement distance Measurement Accuracy Within 5% of actual voltage Certifications UL,C-UL,CE,CB-scheme,NOM 3 718 Static Sensor 718A Air Ionizer Test Kit 718 Range Finder Unfocused 718 Range Finder at 1" away 3M 718 Static Sensor 1 2 3

M2型手持式数字式四探针测试仪简介

M-2型手持式数字式四探针测试仪简介一、M-2型手持式数字式四探针测试仪二、概述 M-2型手持式数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理测试电阻率/方阻的多用途综合测量仪器。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国标准。仪器成套组成：由主机、选配的四探针探头等二部分组成，也可加配测试台。主机主要由数控恒流源，高分辨率ADC、嵌入式单片机系统组成，自动转换量程。仪器所有参数设定、功能转换全部采用一旋钮输入；具有零位、满度自校功能；全自动转换量程；测试结果由数字表头直接显示。本测试仪采用可充电电池供电，适合手持式变动场合操作使用！探头选配：根据不同材料特性需要，探头可有多款选配。有高耐磨碳化钨探针探头，以测试硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻；也有球形镀金铜合金探针探头，可测柔性材料导电薄膜、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜（ITO膜）或纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻。换上四端子测试夹具，还可

对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。配专用探头，也可测试电池极片等箔上涂层电阻率方阻。仪器具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、智能化程度高、结构紧凑、使用简便等特点。仪器适用于半导体材料厂器件厂、科研单位、高等院校对导体、半导体、类半导体材料的导电性能的测试。三、基本技术参数 1. 测量范围、分辨率电阻：0.010 ～9999Ω, 分辨率0.001 ～1 Ω 电阻率：0.010～2000Ω-cm，分辨率0.001 ～1 Ω-cm 方块电阻：0.050～2000Ω/□分辨率0.001 ～1 Ω/□ 2. 材料尺寸手持方式不限材料尺寸，但加配测试台则由选配测试台和测试方式决定直径：SZT-A圆测试台直接测试方式Φ15～130mm。 SZT-C方测试台直接测试方式180mm×180mm。长(高)度：测试台直接测试方式H≤100mm。. 测量方位: 轴向、径向均可. 3. 量程划分及误差等级

LCR电桥操作说明

TH2817B数字电桥操作指导书 1.目的为规范仪器使用操作，确保元器件的品质，延长仪器使用寿命，保障测试安全。 2.适用范围电感，电容，电阻参数测试操作。频率范围：50Hz～100kHz 间共十个典型频率，测试信号电平: 0.1V、0.3V、1V 三种测试电平，恒定可选的源内阻：30Ω或100Ω。 3.仪器测试操作 3.1仪器测试前准备工作 3.1.1检查仪器供电电源是否为AC220±10V，50Hz/60HZ。 3.1.2仪器接通电源前应关掉电源开关。 3.1.3开启仪器预热20分钟。 3.2设置仪器 3.2.1根据所要测试的元器件要求，对下述相关参数进行设置。 3.2.2根据测试元器件要求，按主参数键，仪器在支持的各参数间循环切换，或者先按主参数键后，再按▲、▼键仪器在Z，CS,CP,LS,LP,RS,RP各测试参数间循环切换。按副参数键，仪器在支持的各参数间循环切换，或者先按主参数键后，再按▲、▼键仪器在θ°(角度)，θr （弧度），R，X，Q，D各测试参数间循环切换。 3.2.3按频率键，仪器在支持的各参数间循环切换，或者先按频率键后，再按▲、▼键仪器在支持的各频率（50Hz，60Hz，100Hz，120Hz，1kHz，10kHz，20kHzBZB，40kHz， 50kHz，100kHz）间循环切换。 3.2.4按电平键，仪器在支持的各参数间循环切换，或者先按电平键后，再按▲、▼键切：

仪器在支持的各电平（0.1V，0.3V，1V）间循环切换电平。 3.2.5按速度键，仪器在支持的各参数间循环切换，或者先按速度键后，再按▲、▼键切仪器在支持的快速（F），中速（M），慢速（S）间循环切换。 3.2.6按量程键后，再按▲或▼键，可手动选择量程。量程可在自动（AUTO）和锁定（HOLD）状态间切换，一般选择自动（AUTO）模式，则同时进入量程保持状态。 3.2.7在测试页面，按上档键，屏幕左上角“SHIFT”点亮，按下设置键进入测量设置界面，在测量设置页，通过左右按键选择项目TRIG(触发方式)，再通过然后按【▲】或【▼】键，可选择“INT”，“MAN”或“EXT”这三种触发方式，一般将其设置为INT(内部)。按【ENT】键确认数据输入，返回测试界面；通过左右键选择“SRES”（输出内阻）项，再按【▲】或【▼】键选择“100Ω”或“30Ω”，一般测试选择100Ω，按【ENT】键确认数据输入，返回测试界面。通过左右按键选择“CABLE”（电缆长度）项，再按【▲】或【▼】键选择“0m”、“1m”或“CUST”，根据测量时使用的输出测试夹具进行选择。按【ENT】键确认数据输入，返回测试界面。通过按左右键选择“ZERO”（清零开关）项，再按【▲】或【▼】键选择“ON”（打开）或“OFF”（关闭）方式。选择“ON”开，按【ENT】键确认数据输入，返回测试界面。 3.2.8按上档键，再按开路键进入开路清零菜单。开路清零功能能够消除测试线，测试夹具与被测元件并联的杂散电容的影响。通过按【▲】或【▼】键来选择执行“SPOT”或 “SWEEP”清零，即对当前频率点或所有的频率点进行清零，一般选”SWEEP”。 3.2.9按上档键，再按短路键进入短路清零菜单。短路清零能够消除测试线与测试夹具与被测元件串联的剩余阻抗如引线电阻或引线电感的影响。通过按【▲】或【▼】键来选择执行 “SPOT”或“SWEEP”清零，即对当前频率点或所有的频率点进行清零，一般选”SWEEP”。 3.2.10按上档再按显示键，仪器可在直读显示（DIR）——实际测量值；绝对偏差显示（⊿） ——测量值与称值的绝对偏差；百分比偏差显示（%）——测量值与标称值的百分比偏差几

检测仪使用说明书

检测仪使用说明书一．概述核酸蛋白检测仪、紫外检测仪是液湘色谱仪中的一种紫外检测装置，核酸蛋白检测仪、紫外检测仪是根据生命科学的发展对于现代色谱仪器的要求而改进设计的一种新型紫外检测仪。该仪器在创新方面的主要特点为： 1.该仪器除配有输出10ｍV记录仪信号外，还配有输出适合计算机积分仪的输口，这样很方便构成色谱工作站系统。（可同时进行计算机和记录仪信号输出，亦可省去记录仪） 2.该仪器的数字显示设计为固定光吸收，A显示计算机用和可变量程光吸收Ａ显示记录仪用两种可选模式，这样可方便于规范化读数（特别是可应用于药品生产的GMP 工艺规范化管理），同时亦可根据科研需要进行可变量程的高灵敏度读数，这样可方便于对低浓度样品检测。 3.该仪器采用新型进口IP28光电倍增管和改进型电路结构，使仪器工作更为稳定可靠。该仪器配有上层析柱、恒流泵、部分收集器等等，即组成一套完整的液色湘色谱分离分析系统。它可应用于现代生物学研究，药物测定、农业科研、化工、食品及医疗单位对具有紫外吸收的样品作定量分析。本仪器主要元器件均采用进口，仪器全部采用LED数字显示，使用方便。二．主要技术性能（１）核酸蛋白检测仪提供波长：254nm、280nm。（２）紫外检测仪提供波长：220nm、254nm、280nm、340nm。（３）量程范围：0～100％Ｔ、0～2Ａ、0～1Ａ、0～0.5Ａ、0～0.2Ａ、0～0.1Ａ、0～0.05Ａ。（４）流式样品池：容积100微升、光程３毫米。微量样品池：容积30微升、光程10毫米。（５）记录仪输出：10ｍV （６）积分仪输出：0.1Ａ/ｍV （７）数显模式：固定Ａ量程读数（0～2.0Ａ）；可变Ａ量程读数（0～2.0Ａ、0～1.0Ａ、0～0.5Ａ、0～0.2Ａ、0～0.1Ａ、0～0.05Ａ）。（８）量程在0.05Ａ档时：噪音≦0.002Ａ。（９）工作环境温度：0℃～35℃。（10）仪器可连续工作。（11）电源：220ＶＡＣ±10％５０ＨＺ。（12）单体外形尺寸：280×180×158（mm）。（13）主机重量：5㎏。三．工作原理从光源发出的光经狭缝，滤色器聚焦到样品池上，此单色光通过样品池射到光电倍增管的光阴极面上，使光束由于样品浓度不同所引起透光强度的变化转换成光电流变化，此光电流经放大器放大，并输入到对数转换器、使透光率Ｔ转换成光吸收Ａ输出即Ａ=lgＴ/1=ε·ＣＬ式中ε为待测样品的摩尔消光系数，Ｃ为样品浓度，采用摩尔/升单位，Ｌ为光程，用厘米作单位。根据上式只要测出了Ａ、Ｌ和ε就可求出样品浓度Ｃ。若从放大器直接输入到记录仪，则在记录仪上绘出的是样品透光率Ｔ变化的图谱，若从对数转换器输入到记录仪上，在记录仪上绘出的是样品光吸收变化的图谱。四．仪器结构核酸蛋白检测仪、紫外检测仪是单光路结构，由紫外检测器、和记录仪部分组成现将其构造分别说明如下：１．紫外检测仪：它由光源、干涉滤色片、样品池、光电倍增管、放大和对数板、低压板和高压板等组成。面板上有四氟塑料管的进样口和出样口，Ａ调零以及调节“光量”大小旋（光

四探针一体机使用说明书

SZT-2A四探针测试仪使用说明书一概述 SZT-2A型数字式四探针测试仪是运用四线法测量原理的多用途综合测量装置，配上专用的四探针测试架，即可以测量片状，块状或柱状半导体材料的径向和轴向电阻率，测量扩散层的薄层电阻（亦称方块电阻）。四探针测试架有电动，手动，手持三种可以选配，另外还配有四个夹子的四线输入插头用来作为测量线状或片状电阻的中，低阻阻值。仪器由主机，测试架等部份组成，测试结果由液晶显示器显示，同时，液晶显示器还显示测量类型（电阻率，方块电阻和电阻）以及探头修正系数，主机由开关电源，DC/DC变换器，高灵敏度电压测量部份，高稳定度恒流源，和微电脑控制系统组成。由於采用大规模集成电路，所以仪器可靠性高，测量稳定性好。测试探头采用宝石导向轴套和高硬度钢针，定位准确，游移率小，使用寿命长。仪器适用於半导体材料厂，半导体器件厂，科研单位，高等院校对半导体材料电阻性能的测试。本仪器工作条件为：温度：23℃±3℃ 相对湿度：50%~70%

工作室内应无强磁场干扰，不与高频设备共用电源。二，技术参数 1，测量范围电阻率： 10??-105?-cm 方块电阻 10??- 105?/□ 电阻 10-?- 105? 2，可测半导体材尺寸直径：Ф15-100mm 长（或高）度：≤400mm 3，测量方位轴向，径向均可 4，数字电压表：（1）量程：20mV,200mV,2V （2）误差：±0.5%读数±2字（3）输入阻抗:>10?? （4）最大分辨率:10μV （5）点阵液晶显示，过载显示。 5，恒流源：（1）电流输出：共分10μA,100uA,1mA,10mA,100mA五挡可通过按键选择，各挡均为定值不可调节，电阻率探头修正系和扩散层方块电阻修正系数均由机内CPU运算后，直接显示修正后的结果。

TH2811D数字电桥使用说明

TH2811D数字电桥使用说明书第1章准备使用1-4 1、1开箱检查1-4 1、2电源要求1-4 1、3电源与保险丝选择1-4 1、4周围环境1-5 1、5使用测试夹具1-5 1、6预热与连续工作时间1-5 1、7仪器的其它特性1-5 第2章面板说明2-6 2、1前面板说明2-6 2、2后面板说明2-7 2、3显示区域定义2-8 第3章操作说明3-11 3、1开机3-11 3、2参数设定3-11 3、3频率设定3-12 3、4测试信号电压选择3-12 3、5信号源内阻选择3-12 3、6测量速度选择3-13 3、7等效电路方式3-13

3、7、1设置串联与并联3-13 3、7、2选择串联或并联方式3-13 3、8量程设定3-14 3、9开路清零3-15 3、10短路清零3-16 第4章基本性能指标4-17 4、1测量参数4-17 4、2等效方式4-17 4、3量程4-18 4、4测试端方式4-18 4、5测试速度4-19 4、6基本精度4-19 4、6、1影响准确度的测量参数最大值、最小值4-19 4、6、2测量速度误差因子KS4-19 4、6、3测试电平误差因子KV4-19 4、6、4测试频率误差因子KF4-20 4、7测试信号频率4-20 4、8测试信号电平4-20 4、9输出阻抗4-20 4、10测量显示范围4-20 4、11清零功能4-20 4、12量程保持4-21

本说明书所描述的可能并非仪器所有内容,深圳中仪通公司有权对本产品的性能、功能、内部结构、外观、附件、包装物等进行改进与提高而不作另行说明！由此引起的说明书与仪器不一致的困惑,可我公司进行联系3 。

KEITHLEY四探针操作手册

南开大学硅光电子学与储能实验室四探针操作手册 Four-Point Probe Operation | 2011

四探针操作说明书 Four-Point Probe Operation 第1章引言................................................错误!未定义书签。 1. 目的..................................................错误!未定义书签。 2. 应用范围..............................................错误!未定义书签。 3. 测试设备..............................................错误!未定义书签。四探针............................................错误!未定义书签。数字电压源表......................................错误!未定义书签。第2章原理简述............................................错误!未定义书签。 1. 薄膜(厚度≤4mm)电阻率：...............................错误!未定义书签。 2. 薄膜方块电阻..........................................错误!未定义书签。第3章操作方法............................................错误!未定义书签。 1. 引言..................................................错误!未定义书签。 2. 测试线连接方式........................................错误!未定义书签。 3. KEITHLEY 2400高压源表设置指南........................错误!未定义书签。 4. 探针接触方式..........................................错误!未定义书签。 5. 数据测试指南..........................................错误!未定义书签。第4章注意事项............................................错误!未定义书签。附表 .........................................................错误!未定义书签。

电容电桥说明书

电容电桥说明书目录一、概述 (1) 二、技术参数 (1) 三、仪器面板及说明 (3) 四、接线方法 (4) 五、仪器操作方法 (5)

一、概述全自动电容电感测试仪是针对变电站现场测量电容器的电容值时存在的问题而专门研制的，它着重解决了以下问题： (1) 现场测量电容器需拆除连接线，不仅工作量大而且易损坏电容器； (2) 电容表输出电压低而导致故障检出率低。该仪器具有测量工作量小、快捷简便、性能稳定、测量准确、故障检出率高等特点。 (3)测量电抗器电感量。二、技术参数 1、仪器测量范围及精度： a.电容测量（1）可测电容范围：0.01μF ～2,000μF; （2）可测容量范围：5 ～20,000kvar; （3）测量精度：±1.0%；（4）分辨率：0 ～1.999μF ±1.0%rdg; 0 ～19.99μF ±1.0%rdg; 0 ～199.9μF ±1.0%rdg; 0 ～1999μF ±1.0%rdg;

b.电流测量（1）电流测量范围：0～199.9mA; 0～1.999A; 0～19.99A; 0～199.9A 0～1000A; （2）测量精度：±1.0%； c．电感测量 1mH～10H 2、工作电源： a.额定电压：工频220V±10%； b.额定频率：50Hz； c.额定输出：25V/500V A； 3、仪器的正常工作条件： a.环境温度：0℃～+40℃ b.相对湿度：≤90% 4、显示打印方式：液晶显示屏全汉字显示面板式高速打印机 5、外形/ 重量：400×320×220 mm / 8 kg 6、工作原理（如图1）

继电保护测试仪说明书

微机继电保护测试仪使用说明书

目录目录 (1) 第一部分微机继电保护测试仪使用说明 (3) 第一章装置特点与技术参数 (4) 第二章装置硬件结构 (6) 第三章单机操作模块功能说明 (8) 第四章外接PC机操作说明 (21) 第二部分继保软件操作说明 (21) 第五章软件操作方法简介 (22) 第六章交流试验 (24) 第七章直流试验 (32) 第八章状态系列 (34) 第九章谐波叠加试验 (38) 第十章频率及高低周试验 (41) 第十一章功率方向及阻抗试验 (45) 第十二章同期试验 (49) 第十三章整组试验Ⅰ和Ⅱ (54) 第十四章距离和零序保护 (59) 第十五章线路保护 (64) 第十六章阻抗特性 (70) 第十七章差动保护 (73) 第十八章 6-35KV微机线路保护综合测试 (80) 附录1：外接电脑串行通信口的设置 (85) 附录2：插接U盘等设备时设备驱动安装方法 (87) 附录3：各种继电器的试验方法 (87)

第一部分继保使用说明

第一章装置特点与技术参数第一节主要特点 ◆标准的4相电压3相电流输出具有4相电压3相电流输出，可方便地进行各种组合输出进行各种类型保护试验。每相电压可输出120V，电流三并可输出120A，第4相电压Ux为多功能电压项，可设为4种3U0或检同期电压，或任意某一电压值的情况输出。 ◆单机操作方便单机由方便灵活的旋转鼠标通过大屏幕液晶显示屏进行操作，全部中文显示。可完成现场大多数试验检定工作，可对各种继电器及微机保护进行检定，并可模拟各种复杂的瞬时性、永久性、转换性故障进行整组试验。开机即可使用，操作方便快捷。 ◆双操作方式，联接电脑运行通过Windows平台上的全套中文操作软件，可进行各种大型复杂及自动化程度更高的校验工作，可方便地测试及扫描各种保护定值，可实时存贮测试数据，显示矢量图，绘制故障波形，联机打印报表等。 ◆软件功能强大可完成各种自动化程度高的大型复杂校验工作，如三相差动试验、厂用电快切、备自投试验、线路保护检同期重合闸等，能方便地测试及扫描各种保护定值，进行故障回放，实时存储测试数据，显示矢量图，联机打印报告等。 ◆开关量接点丰富7路接点输入和2对空接点输出。输入接点为空接点和0～250V电位接点兼容，可智能自动识别。输入、输出接点可根据用户需要扩展。 ◆大屏幕LCD显示屏本机采用320×240点阵大屏幕高分辨率图形液晶显示屏，全部操作过程均在显示屏上设定，操作界面和试验结果均汉化显示，显示直观清晰。 ◆自我保护采用合理设计的散热结构，并具有可靠完善的多种保护措施及电源软启动，和一定的故障自诊断及闭锁功能。 ◆具有独立专用直流电源输出装置设有一路110V 及220V专用可调直流电源输出。 ◆性价比高属于跨专业联合设计产品，综合了多专业的先进科技成果。兼具大型测试仪的性能，和小型测试仪的价位，具有很高的性能价格比。

XXX软件用户手册

XXX软件用户手册 (软件版本：FMS2.1)

目录用户手册 (3) 概述 (3) 功能特点 (3) 系统要求 (3) 软件安装 (3) 硬件安装 (4) 请用户在阅读本手册及操作本软件前先详读《RTS-8型四探针测试仪》

用户手册因有的概念跟理论要了解后,阅读此手册和使用本软件时更容易理解、操作。概述 RTS-8型四探针软件测试系统是一个运行在计算机上拥有友好测试界面的用户程序，程序操作直观易用。测试程序在计算机与RTS-8型四探针测试仪连接的状态下，通过计算机的并口实现通讯。测试程序控制四探针测试仪进行测量并采集测试数据，把采集到的数据在计算机中加以分析，然后把测试数据以表格，图形直观地记录、显示出来。用户可对采集到的数据在计算机中保存或者打印以备日后参考和查看，还可以把采集到的数据输出到Excel中，让用户对数据进行各种数据分析。功能特点可以选择进行手动测量或者是自动测量；对可疑测量点的数据进行重测；详细记录被测试材料各种参数，结合测试数据进行数据统计分析；以直方图形式统计分析数据；打开、保存、打印测试数据；把测试数据导出到Excel中进行更详细的数据统计分析；系统要求请确定你的电脑是IBM PC兼容型并具备以下最低的系统要求： Intel兼容586DX-500MHz中央处理器或者更高；一个IEEE-1284标准并行通讯端口；显示卡分辨率支持1024*768模式；软件安装本软件可安装在Win98、Win2000、XP操作系统上。请按以下步骤进行安装。 1.将四探针软件测试系统的安装光盘放入光驱中，执行光盘目录下的【Setup.exe】进行安

LCR数字电桥-说明书

L C R 数字电桥 LW2812C/LW2811C 使用说明 INSTRUCTIONMANUAL LW香港龙威仪器仪表有限公司香港龙威仪器仪表有限公司使用说明书 LW2812C/LW2811C LCR数字电桥一、概述 LW2812C/LW2811C型LCR数字电桥是以微处理技术为基础的自动测量电感量L、电容量C、电阻R、品质因数Q、损耗角正切值D、品质因素Q的智能化参数测量仪器。本仪器将实用的功能，良好的性能，及便利的操作融为一体，可广泛用于工、院校等各类用户对元件参数进行精确测量。本仪器采用了先进的测量原理和五端测量技术，可以长时间精确测量而无需专门调校。为保证仪器的精确测量，可通过仪器的清“0”功能将由于测试夹所引起的杂散电容和引线电阻予以清除。二．使用前的注意事项 2.1 检查电源电压 LW2812C/LW2811C由220V±10%的交流电压（交流频率为50Hz）供电，电源插座于仪器后面板，保险丝也位于电源插座内。如果跟换保险丝清依照以下步骤进行：·使用一字型起子来撬开保险座外盖(外盖上有一小凹槽） ·装上慢融式，1A,250V保险丝。 ·再把保险座外盖装上即可。警告：为避免雷击，请使用接地交流电源插座。

警告：为避免人员伤害，在装卸保险丝时把电源线先拔除。 2.2 操作环境 LW2812C/LW2811C可正常工作的室温范围是0℃到40℃。如果超出此范围可能会使仪器出现故障。不要将仪器置在有强烈磁场或是强电场的环境下测量，因为测量的结果可能会受到影响而失去精确度。 2.3 仪器的安装和操作请放置LW2812C/LW2811C在通风良好的工作场所，以免仪器因过热而损坏。 2.4 仪器测试夹具或测试电缆应保持清洁，以保证测试件接触良好。图一LW2812C/LW2811C前面板图 (1) 电源开关控制仪器电源开或关 (2) 功能指示四年制LED指示灯，用于指示当前测量参数，L、C、R。 (3) 主参数显示五位LED数码管，用于显示L、C、R参数值。 (4) 主参数但未必指示三只LED指示灯，用于指示当前显示主参数的单位。 (5) 副参数显示四位LED数码管，用于显示D或Q值。 (6) 功能指示二只LED指示灯，用于指示当前测量副参数，D、Q。 (7) 参数键按键进行主参数选择，L、C或R。 (8) 频率键按键选择设定施加于被测元件上的测试信号频率，由三只LED指示灯进行指示。(9) 等效键按键选择仪器测量时的等效电路，有串联和并联两种。

IXIA测试仪使用手册

IXIA测试仪使用手册一、设备开机、关机（一）开机打开IXIA测试仪电源，等待设备启动完成，需将测试客户端IP设置为192.168.1.200，测试仪IP地址为192.168.1.100，开IxNetwork或IxLoad可连接测试仪表明设备完成开机。（二）关机在运行中输入mstsc进入远程桌面，连接到计算机192.168.1.100，在运行中输入shutdown.exe -s -t 3让设备在3秒内关闭，让系统自动关闭。二、二三层测试配置（IxNetwork）使用IxNetwork配置测试基本流程如下图所示。（一）添加测试端口点击标题栏中的或Overview表页中的

连接192.168.1.100测试板卡添加测试用端口

然后点击OK键，完成测试端口添加。（二）配置端口、协议启用测试端口Ping及ARP，如下图所示。添加测试端口IP地址、网关，并使能端口，如下图所示，添加的网关地址需是实际存在的，可以是交换机的网关地址或测试端口对端IP地址。

（三）配置流量选择配置流量。 Type of Traffic选项可选择Raw、Ethernet/vlan、IPV4分别对应原始报文流（需手动编辑，用来打广播包流）、二层流、三层流（需配置IP地址及网关），Bi-Directional表示流是双向流。 1、IPV4（三层流）

在设置好Type of Traffic、Traffic Mesh以及选择好端口后，点击添加Endpoint。点击NEXT，在Packet/QoS、Flow Group Setup、Frame Setup、Rate Setup保持默认配置。点击NEXT，进入Flow Tracking，选择Traffic Item选项。点击NEXT，在后续Protocol Behaviors、 Preview以及Validate中保持默认选项，同时检查配置的有效性。

塑料熔融指数测试仪操作说明书

塑料熔融指数测试仪操作说明书熔体流动速率仪目录 1概述. 4 2主要技术参数及工作条件. 4 主要技术参数. 4 挤压出料部分. 4 试验负荷. 4 温度控制. 4 外形尺寸. 5 工作条件. 5 3原理与结构. 5 主要原理. 5 仪器结构. 5 测试系统. 5 控制系统. 6 自动切割装置. 6 负荷装置. 6 4前期准备与参数选择. 6 仪器放置. 6 试样准备. 7 试验条件选择. 7

切割时间选择. 8 5按键功能. 8 【升温】键. 8 【试验】键. 8 【切割】键. 9 【设定】键. 9 【计算】键. 9 【查阅】键. 9 【删除】键. 9 【打印】键. 9 【增加/上移】键. 9 【减小/下移】键. 9 【停止/返回】键. 9 【确认】键. 10 6仪器使用方法. 10 试验准备. 10 开机. 10 设定试验参数. 10 测试方法. 11 升温. 11 试验. 11 称重计算. 11 试验结果查询和打印. 12 7仪器校正. 12 8注意事项. 13

1 概述 QL-400B型熔体流动速率仪是按照《GB/T 3682-2000 热塑性塑料熔体质量流动速率和熔体体积流动速率的测定》、《ISO1133-2005 Plastics-Determination of the melt mass-flow rate(MFR) and the meltvolume-flow rate(MVR)》等标准设计制造的用于测定热塑性塑料熔体流动速率的仪器。具有测量熔体质量流动速率功能；具有自动切料装置；带有微型打印机打印输出熔体质量流动速率测试结果；带有FLASH存储器，可存储20份质量法测试结果并可随时查阅和打印。该仪器结构简单、使用方便、测量准确、性能稳定可靠。此仪器不仅适用于熔融温度较高的聚碳酸脂、氟塑料、尼龙等工程塑料的测试，也适用于聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯、ABS树脂等熔融温度较低的塑料测试，因此被广泛用于塑料生产、塑料制品、石油化工等行业以及有关的大专院校、科研单位、商检部门。 2 主要技术参数及工作条件主要技术参数:KW-400B 挤压出料部分 ?出料口直径：Φ±毫米 ?出料口长度：±毫米

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