四探针操作手册

南开大学 硅光电子学与储能实验室

Four-Point Probe Operation | 2011

四探针操作手册

四探针操作说明书

Four-Point Probe Operation 第1章引言 (1)

1. 目的 (1)

2. 应用范围 (1)

3. 测试设备 (1)

四探针 (1)

数字电压源表 (2)

第2章原理简述 (3)

1. 薄膜(厚度≤4mm)电阻率： (3)

2. 薄膜方块电阻 (3)

第3章操作方法 (5)

1. 引言 (5)

2. 测试线连接方式 (5)

3. KEITHLEY 2400高压源表设置指南 (6)

4. 探针接触方式 (8)

5. 数据测试指南 (8)

第4章注意事项 (10)

附表.................................................................................................................................. I

第1章引言

1.目的

本说明书主要介绍用四探针法测试薄膜方块电阻及电阻率的原理及具体操作方法。

2.应用范围

测量参数：方块电阻，电阻率

测量样品：均匀薄膜，均匀薄片

方块电阻测试范围：0.01?～500M?

电阻率测试范围：10-5??cm～103??cm

样品大小：直径>1cm

精度：<±5%

3.测试设备

四探针

生产厂商：

广州四探针有限公司RTS-2型

基本指标：

间距：1±0.01mm；

针间绝缘电阻: ≥1000MΩ；

机械游移率: ≤0.3％；

探针：碳化钨或高速钢材质，探针直径Ф0.5mm；

探针压力：5～16 牛顿(总力)；

使用环境：

温度:：23±2℃；

相对湿度：≤65％；

无高频干扰；

无强光直射；

基本参数：

Fsp=0.1

探针间距：1.0mm

数字电压源表

生产厂商：

KEITHLEY 2400高压源表

技术参数：

准确度：0.012％

功率：20w

型号：2400

品牌：吉时利

测量范围：可选高电压（1100V）或大电流（3A）源/测量（A）

KEITHLEY2400通用型源表,最大可测量200V的电流和1A的电流，输出功率20W.

主要特点及优点:

设计用于高速直流参数测度

2400系列提供宽动态范围：10pA to 10A, 1μV to

1100V, 20W to 1000W

四象限工作

0.012%的精确度，51/2 的分辨率

可程控电流驱动和电压测量钳位的6位线电阻测量

在4 1/2 数位时通过GPIB达1700读数/秒

内置快速失败/通过测试比较器

可选接触式检查功能

数字I/O提供快速分选与机械手连接

GPIB, RS-232, 和触发式连接面板

TestPoint and LabVIEW驱动

第2章原理简述

将四根排成一条直线的探针以一定的压力垂直地压在被测样品表面上，在1、4 探针间通以电流I(mA)，2、3 探针间就产生一定的电压V(mV)(如图1)。测量此电压并根据测量方式和样品的尺寸不同，可分别按以下公式计算样品的电阻率、方块电阻、电阻：

1.薄膜(厚度≤4mm)电阻率：

ρ=R×F D/S×F W/S×W×FspΩ?cm

其中：D—样品直径，单位：cm或mm，注意与探针间距S单位一致；

S—平均探针间距，单位：cm或mm，注意与样品直径D单位一致(四探针头合格证上的S值)；

W—样品厚度，单位：cm，在F(W/S)中注意与S单位一致；

Fsp—探针间距修正系数(四探针头合格证上的F值)；

F(D/S)—样品直径修正因子。当D→∞时，F(D/S)=4.532，有限直径下的F(D/S)由附表1查出：

F(W/S)—样品厚度修正因子。W/S<0.4时，F(W/S)=1；W/S>0.4时，F(W/S)值由附表2查出；

R—源表测量电阻值，单位?；

2.薄膜方块电阻

R□=R×F D/S×F W/S×FspΩ/□

其中：D—样品直径，单位：cm或mm，注意与探针间距S单位一致；

S—平均探针间距，单位：cm或mm，注意与样品直径D单位一致(四探针头合格证上的S值)；

W—样品厚度，单位：cm，在F(W/S)中注意与S单位一致；

Fsp—探针间距修正系数(四探针头合格证上的F值)；

F(D/S)—样品直径修正因子。当D→∞时，F(D/S)=4.532，有限直径下的F(D/S)由附表1查出：

F(W/S)—样品厚度修正因子。W/S<0.4时，F(W/S)=1；W/S>0.4时，F(W/S)值由附表2查出；

R—源表测量电阻值，单位?；

第3章操作方法

1.引言

电阻测量采用KEITHLEY 2400高压源表测量，参照4探针测试原理，源表设置应采用4线感应模式（4W AUTO）。具体设置参看KEITHLEY 2400高压源表设置指南。

2.测试线连接方式

测试线采用4线连接方式。

Figure 3-1测试线连接方式

3.KEITHLEY 2400高压源表设置指南

●连接设备数据线，电源，开关。

●设备显示如错误！未找到引用源。所示。

Figure 3-2按CONFIG 键

●按CONFIG 键，设备显示如Figure 3-3所示。

●按?键，设备显示如Figure 3-4所示。

●先按?键，选中SENSE-MODE 模式，按ENTER 键，设备显示如Figure 3-5所示。

Figure 3-3按?键

Figure 3-4先按?键，选中SENSE-MODE 模式，按ENTER 键。

●先按?键，选中4-WIRE 模式，按ENTER 键，再按EXIT 键，退出到测量窗口。

●如Figure 3-6所示，可看见上方4W AUTO字样，设置完成。

Figure 3-5先按?键，选中4-WIRE 模式，按ENTER 键。

Figure 3-6设备最后显示模式，可看见上方4W AUTO。

●如有问题可以查看KEITHLEY 2400高压源表使用说明书i。

4.探针接触方式

探针接触应保持一定的压力，但不同材料的性质不同，有些材料的电阻率会随外加压力变化而改变，因而测试前要依据具体的测试材料而适当的改变探针压力。

首先用粗调键旋转探针至样品表面，略有压力后停止。再细调一定距离，保证测量时表面读数稳定后即可。

5.数据测试指南

待测试线连接无误，源表设置完成，探针加到样品表面后，可以开始测量电阻。

●首先调节电阻测量量程。依据样品电阻率选择量程范围，如Table 1源表电阻测量量程

选择所示。

ii

●按下源表右下方的ON/OFF 键，按键变蓝，测量开始。记录测量电阻值。

i设备说明书下载。

ii孙以材，半导体测试技术，冶金工业出版社，1984。

●半导体材料电阻率会随电流改变而变化，因此要结合具体情况选择合适的量程。

●根据修正公式算出方块电阻和电阻率，测试完成。

将测试得到的电阻，膜厚代入以下公式即可算出电阻率和方块电阻。

ρ=R×F D/S×F W/S×W×FspΩ?cm

R□=R×F D/S×F W/S×FspΩ/□

各修正系数可从附表查出，Fsp=0.01.

实例1.

测量薄膜电阻为29.97?（1mA档），膜厚为187.165nm。探针间距为1.0mm，样品直径为100mm（圆中心测量），Fsp为1.0。

D/S=100，

F(D/S)=4.528。

W/S=1.87?10-4，

F(W/S)=1;

所以ρ=2.54?10-3。

第4章注意事项

附表

附表1直径修正系数F(D/S)与D/S值的关系

附表2厚度修正系数F(W/S)与W/S值的关系

考古学作业

教性的活动，并有一定的遗迹和遗物。因此，宗教考古学这一分支，也应被包含在史前考古学的领域内。 古钱考古学 以古钱为研究对象的考古学，称为古钱学。由于古钱的铸造年代明确，它便成为考古学断代的最通常的依据之一。但是，作为考古学的一个分支，古钱学的研究有着更为广泛和重要的意义。古钱学的目标，不仅要判别各种古钱的铸造年代，而且还要通过对钱的形状、质料、重量、铭文、图纹和铸造技术的考察，辨别它们的发行者和发行地点,确定它们的价值,研究铭文、图纹的意义和风格，从而为经济史、文化史乃至美术史的研究提供材料。通过对出土古钱在地域上的分布情形的考察，还可以研究世界各个地区在经济贸易和文化交流方面的情况，并为判断当时的交通路线提供线索。由于古钱是历史时代的产物，古钱学属于历史考古学的范围。 古文字学和铭刻学 作为考古学的分支，古文字学和铭刻学的研究对象必须是铸、刻或书写于遗迹和遗物上的文辞，与一般的书籍文献不同。含有文辞的遗迹和遗物，大体上可分两类。一类如墓志、碑碣、印章、甲骨、简牍、泥板、帛书和纸书等，文辞是器物的主要内容；另一类如纪念性建筑物、雕刻品、绘画、货币、度量衡器、镜鉴、工具、武器和各种容器等，铭文处于附属的地位。古文字学和铭刻学的任务在于识别铭辞的文字,判读辞句的意义,区别不同时代、不同地区的字体，后者在使用拼音字母的国家里称为“古字体学”。就已经发现的古文字而言，古印度文字、契丹文字和玛雅文字等，虽然已有不少单字能够识别，但还不能顺利判读文辞。但是，埃及古文字、苏美尔文字、迈锡尼文字（线型文字 B）和商周甲骨文字等,则已能详细解读,从而对究明古埃及文明、苏美尔文明、迈锡尼时代的希腊文明和中国的殷商文明起了很大的作用。此外，对铭文的研究还可以判明遗迹和遗物的年代、制作者、所有主、所在地、用途和制造目的等。由于铭辞存在于遗迹和遗物上，其可靠程度大大超过文献的记载，不仅可补文献记载的不足，有时还可纠正其错误。因此古文字学和铭刻学对原史考古学和历史考古学的研究有着很重要的意义。 航空考古学 航空考古学。是指使用飞机从空中向地面摄影,通过对所得照片的观察、分析，判定遗迹和遗物的形状、种类及它们的分布情形。航空考古学开始于第一次世界大战的末期。当时英国、法国和德国的考古学者利用空军侦察地形时所摄的航空照片，探寻地面上的古迹。战争结束后，此项工作进一步开展，尤以英国考古学者的工作为出色，奠定了航空考古学的基础。数十年来，航空考古学的技术不断改进，特别是人造卫星的发明和摄影技术的发展，使得航空考古学的效果大大提高。通过航空摄影和航天摄影显示和判别出来的遗迹，大体上可分3 类。①由阳光斜射时产生的阴影显示出来的，如堤坝、城墙和坟丘等遗迹；②利用因土质不同而产生的土色明暗判别出来的，如坑穴、壕沟和道路等遗迹；③从谷物、野草等植物的绿色深浅差异而判明的，如村落、都市、农田、道路、运河等遗址。此外，没入海中的遗迹有时也可通过空中摄影而发现；腓尼基的两个海港──推罗和西顿延续到罗马时期的港市之被发现，便是著名的例子。航空考古学成效甚大，可以看成是田野考古学中的一支生力军。 水底考古学 水底考古学。的萌芽可上溯到16世纪意大利人在海底探寻沉船。到了20世纪初期，水底的考古调查在世界各地进行，最有名的是在墨西哥奇琴伊察玛雅文化遗址的“圣池”中寻找牺牲人和祭品，在突尼斯马赫迪耶港的海上探寻满载古希腊美术品的罗马沉船。但由于潜水条件的限制，调查时不能做精细的操作和记录。1943年发明了潜水肺，第二次世界大战后又改进了各方面的设备和条件，这才使真正的水底考古学得以成立。从60年代起,先是法国人在马赛附近海底发掘沉船,接着美国考古队在土耳其附近海底发掘希腊罗马时代和青铜时代晚期的沉船,不仅获得船中许多古物,而且还为研究古代造船术、航海术、海上交通和贸易提供了重要的新资料。水底考古学的对象从沉没物、沉船扩大到淹没于湖底、海中的都市和港市等的遗址，而勘察、发掘及摄影记录等的手段和方法也大为改善，使水底考古学以显著的速度不断取得成果。可以认为，水底考古学是田野考古学在水域的延伸。 编辑本段其他考古学分支 除了以上所述各种主要的分支以外，考古学还可以按地区的不同而分为“欧洲考古学”、“埃及考古学”、“中国考古学”和“日本考古学”等各分支，而各地区的考古学则又可按时代等的不同而分为“古典考古学”（希腊罗马考古学）、“商周考古学”等等许多分支。

四探针测电阻率实验指导书及SZT-2A四探针测试仪使用说明书

实验七四探针法测量材料的电阻率 一、实验目的 （1）熟悉四探针法测量半导体或金属材料电阻率的原理 （2）掌握四探针法测量半导体或金属材料电阻率的方法 二、实验原理 半导体材料是现代高新技术中的重要材料之一，已在微电子器件和光电子器件中得到了广泛应用。半导体材料的电阻率是半导体材料的的一个重要特性，是研究开发与实际生产应用中经常需要测量的物理参数之一，对半导体或金属材料电阻率的测量具有重要的实际意义。 直流四探针法主要用于半导体材料或金属材料等低电阻率的测量。所用的仪器示意图以及与样品的接线图如图1所示。由图1(a)可见，测试过程中四根金属探针与样品表面接触，外侧1和4两根为通电流探针，内侧2和3两根是测电压探针。由恒流源经1和4两根探针输入小电流使样品内部产生压降，同时用高阻抗的静电计、电子毫伏计或数字电压表测出其它两根探针（探针2和探针3）之间的电压V23。 a b 图1 四探针法电阻率测量原理示意图 若一块电阻率为 的均匀半导体样品，其几何尺寸相对探针间距来说可以看

作半无限大。当探针引入的点电流源的电流为I ，由于均匀导体内恒定电场的等位面为球面，则在半径为r 处等位面的面积为22r π，电流密度为 2/2j I r π= （1） 根据电流密度与电导率的关系j E σ=可得 22 22j I I E r r ρ σ πσπ= = = （2） 距离点电荷r 处的电势为 2I V r ρ π= （3） 半导体内各点的电势应为四个探针在该点所形成电势的矢量和。通过数学推导，四探针法测量电阻率的公式可表示为 123 231224133411112( )V V C r r r r I I ρπ-=--+?=? （4） 式中，1 12241334 11112( )C r r r r π-=--+为探针系数，与探针间距有关，单位为cm 。 若四探针在同一直线上，如图1(a)所示，当其探针间距均为S 时，则被测样品的电阻率为 123 2311112()222V V S S S S S I I ρππ-=- -+?=? （5） 此即常见的直流等间距四探针法测电阻率的公式。 有时为了缩小测量区域，以观察不同区域电阻率的变化，即电阻率的不均匀性，四根探针不一定都排成一直线，而可排成正方形或矩形，如图1(b)所示，此时只需改变电阻率计算公式中的探针系数C 即可。 四探针法的优点是探针与半导体样品之间不要求制备接触电极，极大地方便了对样品电阻率的测量。四探针法可测量样品沿径向分布的断面电阻率，从而可以观察电阻率的不均匀性。由于这种方法允许快速、方便、无损地测试任意形状样品的电阻率，适合于实际生产中的大批量样品测试。但由于该方法受到探针间距的限制，很难区别间距小于0.5mm 两点间电阻率的变化。 根据样品在不同电流（I ）下的电压值（V 23），还可以计算出所测样品的电阻率。

蓝牙无线温度测试仪手册

八通道炉温测试仪 TTrack 用户手册 ◎2014版◎

目录 前言 (1) 重要事项和安全说明 (1) 商标和有限责任 (1) 测温仪主机接线端口说明 (2) 一、安装TTrack软件与USB驱动程序 (3) 1.1建议PC配置: (3) 1.2软件安装方法: (3) 1.3USB驱动程序的安装: (4) 1.3.1XP系统USB安装步骤 (4) 1.3.2Win7系统USB安装步骤 (6) 1.4蓝牙适配器的安装与配置 (10) 1.4.1蓝牙适配器的安装 (10) 1.4.2蓝牙适配器的配置 (11) 1.4.3软件通过蓝牙与设备的连接步骤 (15) 二、TTrack软件介绍 (16) 2.1工具栏 (16) 2.2软件界面功能 (17) 2.2.1主机设置 (19) 2.2.2设置面板 (20) 2.2.3分析设置 (21) 2.2.4热电偶设置 (24) 2.2.5炉区设置 (25) 2.2.6制程设置 (27) 2.2.7其他设置 (31) 三、炉温测试仪操作步骤 (33) 3.1采样间隔设置 (33) 3.2进行温度数据测量步骤 (33) 3.3数据下载 (34) 3.3.1通讯端口选择 (34) 3.3.1.1使用USB进行通讯操作 (34) 3.3.1.2使用蓝牙进行通讯操作 (34) 3.3.2数据下载步骤 (34) 3.4打印报表 (34) 3.5USB充电 (36) 3.6注意事项 (36) 3.7蓝牙下载数据注意事项： (37) 3.8测温仪初始化步骤 (37) 3.9温度校正方法 (40) 3.10波峰焊测量规定 (43) 四、常见故障 (45) 4.1电脑识别不了WT-USB (45) 4.2测温结果有偏差 (45) 4.3无法进行数据下载或测温曲线严重偏差 (45) 4.4电脑识别不了蓝牙 (46)

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四探针操作说明书 Four-Point Probe Operation 第1章引言 (1) 1. 目的 (1) 2. 应用范围 (1) 3. 测试设备 (1) 四探针 (1) 数字电压源表 (2) 第2章原理简述 (3) 1. 薄膜(厚度≤4mm)电阻率： (3) 2. 薄膜方块电阻 (3) 第3章操作方法 (5) 1. 引言 (5) 2. 测试线连接方式 (5) 3. KEITHLEY 2400高压源表设置指南 (6) 4. 探针接触方式 (8) 5. 数据测试指南 (8) 第4章注意事项 (10) 附表 ................................................................................................................................................... I

第1章引言 1.目的 本说明书主要介绍用四探针法测试薄膜方块电阻及电阻率的原理及具体操作方法。 2.应用范围 测量参数：方块电阻，电阻率 测量样品：均匀薄膜，均匀薄片 方块电阻测试范围：0.01?～500M? 电阻率测试范围：10-5??cm～103??cm 样品大小：直径>1cm 精度：<±5% 3.测试设备 四探针 生产厂商： 广州四探针有限公司RTS-2型 基本指标： 间距：1±0.01mm； 针间绝缘电阻: ≥1000MΩ； 机械游移率: ≤0.3％； 探针：碳化钨或高速钢材质，探针直径Ф0.5mm； 探针压力：5～16 牛顿(总力)； 使用环境： 温度:：23±2℃； 相对湿度：≤65％； 无高频干扰； 无强光直射； 基本参数： Fsp=0.1 探针间距：1.0mm

第十三章 民间文学的田野作业和科学写定

第十四章民间文学的田野作业和科学写定 田野作业，又称野外作业或田野调查，作为一种可操作的科学调查研究方法，是与案头作业相应的到被调查对象所在地收集实际资料的方法，是一种直接进入自然生态环境或社会文化环境采集调查的方法。 民间文学是或在人民口头、直接参与人民生活的一种特殊的文学，它不仅是一种文学现象，而且是与整个人民生活密切相关的文化现象。民间文学的这种特性决定了田野作业在这门学科中的必要性和重要性。对民间文学的学习和研究不能仅仅坐在书斋里进行，还必须深入实地进行调查研究。因此，我们应该学习民间文学田野作业的基础知识，掌握田野作业的基本技能。 第一节田野作业的形式和规则 一、民间文学田野作业的形式 民间文学田野作业按其调查的内容大致可分为全面普查、专项调查、专题调查、专访调查等形式；按其采录的方式又可分为随机采录、定居采录和采风队采录等形式。 1、全面普查 全面普查是一种以特定区域内的民间文学为对象进行的全面综合调查，如对某一国家、某一民族、某一城市、某一乡镇、某一村庄等区域内的民间文学活动作全面的调查。 2、专项调查 专项调查是一种以民间文学中某一种体裁的作品为对象进行的特别调查，如神话专项调查、传说专项调查、故事专项调查、史诗专项调查、歌谣专项调查等。 3、专题调查 专题调查是指为研究的需要在一定时间内对对某一民间文学类型和母题、某种结构形式等进行较为全面、深入的调查，如女娲神话、蛇郎故事、民间故事叙事的三段式结构、民歌的五句子结构等。 4、专访调查 专访调查是对民间文学领域中具有一定影响或代表性的人物进行全面采访调查。例如对民间故事家、民歌手、民间文艺理论家、采录家等人物进行专门采访调查。 5、随机采录 随机采录就是在事先没有拟定采录计划、没有预约采录时间和地点，更没有预约具体的采录对象的情况下，在从事其他活动时（如外出旅行、吃饭或娱乐）抓住机会，即兴进行的民间文学采录活动。 6、定居采录 定居采录是指采录者长期定居在某个地区，对所在地区的民间文学进行全面深入的采录工作。这种采录方式由于长期置身被采录对象之中，有利于深入扎实地开展采录工作。 7、采风队采录

M2型手持式数字式四探针测试仪简介

M-2型手持式数字式四探针测试仪简介 一、M-2型手持式数字式四探针测试仪 二、概述 M-2型手持式数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理测试电阻率/方阻的多用途综合测量仪器。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国标准。 仪器成套组成：由主机、选配的四探针探头等二部分组成，也可加配测试台。 主机主要由数控恒流源，高分辨率ADC、嵌入式单片机系统组成，自动转换量程。仪器所有参数设定、功能转换全部采用一旋钮输入；具有零位、满度自校功能；全自动转换量程；测试结果由数字表头直接显示。本测试仪采用可充电电池供电，适合手持式变动场合操作使用！ 探头选配：根据不同材料特性需要，探头可有多款选配。有高耐磨碳化钨探针探头，以测试硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻；也有球形镀金铜合金探针探头，可测柔性材料导电薄膜、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜（ITO膜）或纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻。换上四端子测试夹具，还可

对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。配专用探头，也可测试电池极片等箔上涂层电阻率方阻。 仪器具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、智能化程度高、结构紧凑、使用简便等特点。 仪器适用于半导体材料厂器件厂、科研单位、高等院校对导体、半导体、类半导体材料的导电性能的测试。 三、基本技术参数 1. 测量范围、分辨率 电阻：0.010 ～9999Ω, 分辨率0.001 ～1 Ω 电阻率：0.010～2000Ω-cm，分辨率0.001 ～1 Ω-cm 方块电阻：0.050～2000Ω/□分辨率0.001 ～1 Ω/□ 2. 材料尺寸 手持方式不限材料尺寸，但加配测试台则由选配测试台和测试方式决定 直径：SZT-A圆测试台直接测试方式Φ15～130mm。 SZT-C方测试台直接测试方式180mm×180mm。 长(高)度：测试台直接测试方式H≤100mm。. 测量方位: 轴向、径向均可. 3. 量程划分及误差等级

KEITHLEY四探针操作手册

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四探针操作说明书 Four-Point Probe Operation 第1章引言................................................错误!未定义书签。 1. 目的..................................................错误!未定义书签。 2. 应用范围..............................................错误!未定义书签。 3. 测试设备..............................................错误!未定义书签。 四探针............................................错误!未定义书签。 数字电压源表......................................错误!未定义书签。第2章原理简述............................................错误!未定义书签。 1. 薄膜(厚度≤4mm)电阻率：...............................错误!未定义书签。 2. 薄膜方块电阻..........................................错误!未定义书签。第3章操作方法............................................错误!未定义书签。 1. 引言..................................................错误!未定义书签。 2. 测试线连接方式........................................错误!未定义书签。 3. KEITHLEY 2400高压源表设置指南........................错误!未定义书签。 4. 探针接触方式..........................................错误!未定义书签。 5. 数据测试指南..........................................错误!未定义书签。第4章注意事项............................................错误!未定义书签。附表 .........................................................错误!未定义书签。

田野考古工作规程

《田野考古工作规程》的修订、推广与培训 【保护视力色】【打印】【字号大中小】作者：赵辉 2012-06-25 1、修订《田野考古工作规程》的原委 和1984年颁布施行的《田野考古工作规程》（试行）相比，2009年10月重新修订和颁布的《田野考古工作规程》最主要的变化是补充了将聚落考古的理念转化为具有可操作性的概念和与之配套的技术标准。之所以有这方面的改变，原因是自原《规程》颁布以来中国考古学的迅速发展变化。 直到上个世纪八十年代，中国考古学的主要任务是构建全国范围内的考古学物质文化年代框架，大多数田野考古项目的目的是获得可供此种研究的资料，田野技术方法是针对获得这类资料设计的。1984年国家文物局制定和颁布的《田野考古工作规程》（试行），主要也是规范这类田野考古活动。 中国考古学中，聚落考古早已有之。自西安半坡遗址的发掘以来，聚落考古项目虽然不多，却也不绝如缕。但很长时间里，中国考古学的主要精力不在这个方面，对聚落考古方法的认真探讨也始终没有展开。 上个世纪八十、九十年代以来，学术环境发生重大变化，中国学术界开始了解国外主要是西方考古学的动态，其中也包括西方的聚落考古。另一方面，中国考古学经过数十年的积累，达成建设考古学文化区系类型体系的任务目标已可预期，学科开始思考如何进一步发展的问题。结论其实颇为明了，即需要通过聚落形态研究复原古代社会，从而深化发展中国考古学。随着学术界在这个方面逐渐取得共识，聚落考古工作逐年增多。与此同时，大规模基本建设中的考古发掘往往面积很大，工作中就需要有对聚落全局的思

考和把握。而为了更好地进行遗址保护规划，也需要通过田野工作提供聚落结构的相关信息。总之，当聚落形态的田野考古渐成主流之际，就需要一部与之相应的《田野考古工作规程》规范这类田野工作。这引起国家文物局的重视。 北京大学在1980年山东长岛北庄遗址的发掘中提出了聚落研究方向。此后，围绕这一方向上的探讨在湖北天门石家河、河南邓州八里岗、广东银州、浙江普安桥、山西襄汾曲村、陕西扶风和岐山的周原、周公庙等遗址的工作中持续至今，逐渐积累起一些经验、心得，也收获了许多研究成果。 2003年，国家文物局委托北大举办全国田野考古人员培训班。在山东省考古研究所全力协作下，培训班在临淄桐林遗址开办。鉴于以上对学科发展趋势的理解，我们将聚落考古的理念、技术方法作为了这次培训的重点。这次培训取得了最好效果，国家文物局给予了肯定。国家文物局在2005年再次将举办培训班的任务委托北大的同时，把修订田野考古工作规程的任务也交给了我们。 2008年北大向国家文物局交出修订稿。因其是学术语言和格式，国家文物局组织专业人员将其修改成行政法规的文字表述，并利用将近一年的时间广泛征求业内意见，最终形成目前看到的《规程》文本，于2009年10月正式颁布。 2、主要修订内容 新《规程》在原《规程》基础上充实了聚落考古的理念和相关方法、技术的内容，比原《规程》有一定程度的提高。但这是建立在中国考古学整体水平业已提高的基础之上的，是针对当前各地考古人员中上水准制定的技术规范。这也是我们修订工作中把握的总原则。 概括而言，新《规程》新增或修订的主要内容有如下几点：

四探针一体机使用说明书

SZT-2A四探针测试仪 使用说明书 一概述 SZT-2A型数字式四探针测试仪是运用四线法测量原理的多用途综合测量装置，配上专用的四探针测试架，即可以测量片状，块状或柱状半导体材料的径向和轴向电阻率，测量扩散层的薄层电阻（亦称方块电阻）。四探针测试架有电动，手动，手持三种可以选配，另外还配有四个夹子的四线输入插头用来作为测量线状或片状电阻的中，低阻阻值。 仪器由主机，测试架等部份组成，测试结果由液晶显示器显示，同时，液晶显示器还显示测量类型（电阻率，方块电阻和电阻）以及探头修正系数， 主机由开关电源，DC/DC变换器，高灵敏度电压测量部份，高稳定度恒流源，和微电脑控制系统组成。由於采用大规模集成电路，所以仪器可靠性高，测量稳定性好。 测试探头采用宝石导向轴套和高硬度钢针，定位准确，游移率小，使用寿命长。 仪器适用於半导体材料厂，半导体器件厂，科研单位，高等院校对半导体材料电阻性能的测试。 本仪器工作条件为： 温度：23℃±3℃ 相对湿度：50%~70%

工作室内应无强磁场干扰，不与高频设备共用电源。 二，技术参数 1，测量范围 电阻率： 10??-105?-cm 方块电阻 10??- 105?/□ 电阻 10-?- 105? 2，可测半导体材尺寸 直径：Ф15-100mm 长（或高）度：≤400mm 3，测量方位 轴向，径向均可 4，数字电压表： （1）量程：20mV,200mV,2V （2）误差：±0.5%读数±2字 （3）输入阻抗:>10?? （4）最大分辨率:10μV （5）点阵液晶显示，过载显示。 5，恒流源： （1）电流输出：共分10μA,100uA,1mA,10mA,100mA五挡可通过按键选择，各挡均为定值不可调节，电阻率探头 修正系和扩散层方块电阻修正系数均由机内CPU运算 后，直接显示修正后的结果。

XXX软件用户手册

XXX软件用户手册 (软件版本：FMS2.1)

目录 用户手册 (3) 概述 (3) 功能特点 (3) 系统要求 (3) 软件安装 (3) 硬件安装 (4) 请用户在阅读本手册及操作本软件前先详读《RTS-8型四探针测试仪》

用户手册 因有的概念跟理论要了解后,阅读此手册和使用本软件时更容易理解、操作。 概述 RTS-8型四探针软件测试系统是一个运行在计算机上拥有友好测试界面的用户程序，程序操作直观易用。测试程序在计算机与RTS-8型四探针测试仪连接的状态下，通过计算机的并口实现通讯。 测试程序控制四探针测试仪进行测量并采集测试数据，把采集到的数据在计算机中加以分析，然后把测试数据以表格，图形直观地记录、显示出来。用户可对采集到的数据在计算机中保存或者打印以备日后参考和查看，还可以把采集到的数据输出到Excel中，让用户对数据进行各种数据分析。 功能特点 可以选择进行手动测量或者是自动测量； 对可疑测量点的数据进行重测； 详细记录被测试材料各种参数，结合测试数据进行数据统计分析； 以直方图形式统计分析数据； 打开、保存、打印测试数据； 把测试数据导出到Excel中进行更详细的数据统计分析； 系统要求 请确定你的电脑是IBM PC兼容型并具备以下最低的系统要求： Intel兼容586DX-500MHz中央处理器或者更高； 一个IEEE-1284标准并行通讯端口； 显示卡分辨率支持1024*768模式； 软件安装 本软件可安装在Win98、Win2000、XP操作系统上。请按以下步骤进行安装。 1.将四探针软件测试系统的安装光盘放入光驱中，执行光盘目录下的【Setup.exe】进行安

农作物种质资源调查收集的工作方法

农作物种质资源调查收集是一项非常重要的基础性工作。良好的调查收集可以为后续保护、管理工作提供可靠的物质和信息基础；反之，会使得整个工作陷入混乱无序，甚至需要花费更多时间，做更多的工作去修正。同时，因其工作繁琐，过程漫长，内容零散，无法集中进行，且对工作条件、工作人员的热情和专业水平都具有一定的挑战性。笔者结合多年实践，谈谈有关调查收集工作的方法。 1 调查收集的地点 除了当下还具有一定种植规模的品种，大多数的地方品种都处于零散分布的状态。正因如此，很多品种都会在难以预知的环境中存在。 1.1 田野 田野是最理想的调查地点，笔者收集到的品种中，60%以上是直接在田野发现的。田野包括大田和小地块，由于大田种植的品种往往是时下推广的大宗品种，有时候小地块可能会有出乎意料的收获。田野调查的好处是一目了然，不易产生误判，缺陷是调查范围过大，它要求调查人员时常到田头寻找，因工作量过大，人力上难以满足。 1.2 农贸市场 农贸市场是农产品的集散地，自然会有一些地方品种出现。大大小小的农贸市场是良好的品种调查场所；但经销户很难提供可靠的品种信息和种子，同时也容易出现误判。因此对调查人员的专业水平要求较高，同时要求调查人员对地方品种有一定的了解，后续工作需要特别重视品种真实性的核实。1.3 居住地 村落、生活小区、工厂、暂住地，凡有人活动的地方，均有可能出现地方品种。现在很多人喜欢在房前屋后、庭院、花坛种植蔬菜及杂粮作物，因个人喜好而选择地方品种的情况也不少。近年来，下山移民群体越来越大，很多偏远山村保留的品种也随之大量“移民”。 2 调查收集的工具 种质资源调查最离不开的是记录。多年的实践经验表明，调查人员不应过于相信记忆，而要更依赖“烂笔头”。 2.1 相机 图片采集是调查收集工作非常重要的一 农作物种质资源调查收 的工作方法 黄丽梅1 吴金水2 （1浙江省松阳县种子管理站，323400；2 浙江省松阳县农业局，323400） 环，随身携带相机绝对是一个良好习惯。这样做的好处是可以随时获取作物的图像资料，无论是在田间、菜场、生活小区，都可以拍到大量的图片。如果是较连续地关注种植在某个地方的作物，借着图片属性中显示的拍摄时间，还可以大致计算出它的生育期。在工作中，很多品种往往不会特意安排种植观察，而直接拍摄可以省去大量的投入。 2.2 手机 智能手机为调查人员提供了良好的信息录入平台。借助QQ 日志、微信等手段，可以直接拍摄上传图片资料，同时可以保存文字信息，至少没有必要随身带纸笔记录。要注意的是手机作相机使用的话像素要足够高，一般手机拍摄的图像大都不如相机。2.3 纸、笔、尺子 对很多人来说，还是更习惯于用纸（或笔记本）、笔等传统工具记录。本质上说，顺手的就是对的。软皮尺或卷尺主要用于测量作物部位的长度、宽度、株行距等，携带方便，以体型小而实用为佳。2.4 瓶子 药瓶、矿泉水瓶可以用来贮存种子，最好有标签贴纸，把品种名、来源、编号之类贴在瓶子上。需要妥善保存种子的情况有：（1）收集来的种子因数量不足、质量达不到要求需要再繁殖，需要贮存到下一季种植；（2）为省去每年繁殖的麻烦，需要保存濒危品种时，种子充分干燥后熏蒸处理，再放入瓶子密封，可以大大延长贮存时间，置于冷藏设备中效果更好。当然，条件具备的话可以用更专业的容器和包装。 3 调查收集的技巧 练就“鹰眼” 调查工作其实没有捷径，都要靠踏踏实实的工作，要说有诀窍，就是不断地观察、学习，练就一双“鹰眼”。调查人员的素质决定了工作的效率，有专业基础又有经验的调查人员可以一眼发现目标。 聊天的艺术 时常与农户及各方面人士聊天，获取有价值的信息。要以老农户为重点走访对象，因为他们比年轻人更注重传统，更怀旧，也不容易随风潮而改变。即使找不到种质实物，这样的聊天也很有意义。因为种质资源与其他东西不同，它往往需要“故事”来支撑，要有可追溯性，否则无法区别是当地老品种，还是新近引入的品种。聊天时应像朋友似的对待调查对

最新四探针法测电阻率

四探针法测电阻率

实验四探针法测电阻率 1．实验目的： 学习用四探针法测量半导体材料的体电阻率和扩散薄层的电阻率及方块电阻。 2．实验内容 ①硅单晶片电阻率的测量：选不同电阻率及不同厚度的大单晶圆片，改变 条件（光照与否），对测量结果进行比较。 ②薄层电阻率的测量：对不同尺寸的单面扩散片和双面扩散片的薄层电阻 率进行测量。改变条件进行测量（与①相同），对结果进行比较。 3．实验原理：

在半导体器件的研制和生产过程中常常要对半导体单晶材料的原始电阻率和经过扩散、外延等工艺处理后的薄层电阻进行测量。测量电阻率的方法很多，有两探针法，四探针法，单探针扩展电阻法，范德堡法等，我们这里介绍的是四探针法。因为这种方法简便可行，适于批量生产，所以目前得到了广泛应用。 所谓四探针法，就是用针间距约1毫米的四根金属探针同时压在被测样品的平整表面上如图1a 所示。利用恒流源给1、4两个探针通以小电流，然后在2、3两个探针上用高输入阻抗的静电计、电位差计、电子毫伏计或数字电压表测量电压，最后根 据理论公式计算出样品的电阻率［１］ I V C 23 =ρ 式中，C 为四探针的修正系数，单位为厘米，C 的大小取决于四探针的排列方法和针距，探针的位置和间距确定以后，探针系数C 就是一个常数；V 23为2、3两探针之间的电压，单位为伏特；I 为通过样品的电流，单位为安培。 半导体材料的体电阻率和薄层电阻率的测量结果往往与式样的形状和尺寸密切相关，下面我们分两种情况来进行讨论。 ⑴ 半无限大样品情形 图1给出了四探针法测半无穷大样品电阻率的原理图，图中(a)为四探针测量电阻率的装置；(b)为半无穷大样品上探针电流的分布及等势面图形；(c)和(d)分别为正方形排列及直线排列的四探针图形。因为四探针对半导体表面的接触均为点接触，所以，对图１（b ）所示的半无穷大样品，电流I 是以探针尖为圆心呈径向放射状流入体内的。因而电流在体内所形成的等位面为图中虚线所示的半球面。于是，样品电阻率为ρ，半径为r ，间距为dr 的两个半球等位面间的电阻为 dr r dR 2 2πρ = ， 它们之间的电位差为 dr r I IdR dV 2 2πρ= =。

田野调查操作手册(1)

田野调查操作手册(1) 来源：西南民族教育与心理研究中心作者：蒋立松 第一部分田野调查概述 一、什么是田野调查 田野调查又称为田野工作，是指研究者亲自进入某一社区，在一个相对较长的时段内通过参与观察与居住体验等方式获取第一手资料的研究工作。 田野调查特别强调的是调查者本人“亲临现场”的调查，这是人类学研究方法的重要特征。它不仅是一种基本的研究方法，也是田野调查的基本态度。“亲临现场”的目的在于从整体上把握某个文化的结构及其特点，这是文化研究的出发点。只有在对于文化有了一个整体性把握的前提下，研究者才可能进而理解该文化，从中发现问题和研究问题。因此，这种“亲临现场”并不能简单地理解为一般意义的调研工作。到一个地方搜集一些文献（例如各种政府报告、统计数据等）、发放问卷，这是田野调查重要的辅助手段，但并不是田野调查的全部工作内容。 田野调查的基本方法是参与观察、访谈。 参与观察是指人类学者长时段参与研究对象的日常和非日常的活动，以获取第一手资料的过程。 参与观察的优点在于：通过参与到当地文化和日常生活中，可以得到别的途径所无法获得的对于该文化的体验与深刻理解、把握。因此，参与观察对于提高田野工作中所收集资料的质量以及提高对该文化的解释力度，都有很重要的作用。 访谈主要是指在田野调查中通过向研究对象提问或与之交谈的方式来获取资料。访谈通常可分为非结构性访谈何结构性访谈两种基本类型。非结构性访谈是指人类学者提供一个开放型的主题或问题，由报告人自由阐述。常见的非结构性访谈包括收集生活史、神话、传说故事、宗教和公共活动等方面的资料。结构性访谈是指人类学者根据研究主题事先设计好具体问题，系统地访谈研究对象。结构性访谈的提问应该具有明确的针对性，提问的方式也应当简明扼要，避免因问题冗长而让人难以回

RTS8型四探针测试仪用户手册1

文档来源为:从网络收集整理.word版本可编辑.欢迎下载支持. 目录 1.概述 (1) 2.技术指标 (1) 3.测量原理简介 (2) 4.仪器面板说明 (4) 5.使用方法 (6) 6.关于低阻测量 (8) 7.关于高阻测量 (8) 8.附录A：脱机测量样品基本操作流程 (9) 9.附表B：直径修正系数F(D/S)与D/S值的关系 (10) 10.附表C：厚度修正系数F(W/S)与W/S值的关系 (11) 11.附录D：S-2A探针台探头更换指导 (12) 感谢您使用我们的产品！ 如您是首次使用本仪器，请先详读本说明书，并妥善保留之以备查阅之用。 如有问题，欢迎致电：或登陆:http//

1.概述 RTS-8型数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国标准而设计的，专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器。 仪器由主机、探针测试台、四探针探头、计算机等部分组成，测量数据既可由四探针测试仪主机直接显示，亦可与计算机相连接通过四探针软件测试系统控制四探针测试仪进行测量并采集测试数据，把采集到的数据在计算机中加以分析，然后把测试数据以表格，图形直观地记录、显示出来。用户可对采集到的数据在电脑中保存或者打印以备日后参考和查看，还可以把采集到的数据输出到Excel中，让用户对数据进行各种数据分析。 仪器采用了最新电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。 本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。 2. 技术指标 2.1 测量范围 电阻率：10-4～105Ω.cm； 方块电阻：10-3～106Ω/□； 电阻：10-4～105Ω； 电导率：10-5～104s/cm； 可测晶片直径：140mmX150mm (配S-2A型测试台)； 200mmX200mm (配S-2B型测试台)； 400mmX500mm (配S-2C型测试台)； 2.2 恒流源 电流量程分为 1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA 六档，各档电流连续可调； 2.3 数字电压表 量程及表示形式：000.00～199.99mV； 分辨力：10μV； 输入阻抗：＞1000MΩ； 精度：±0.1%； 显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示； 2.4 四探针探头基本指标 间距：1±0.01mm； 针间绝缘电阻: ≥1000MΩ； 机械游移率: ≤0.3％； 探针：碳化钨或高速钢材质，探针直径Ф0.5mm； 探针压力：5～16 牛顿(总力)； 2.5 四探针探头应用参数 见探头附带的合格证，合格证含三参数项： C：探针系数； F：探针间距修正因子； S：探针平均间距； 2.6 模拟电阻测量相对误差（按 JJG508-87 进行）

人类学田野工作及方法-提纲

：专业训练过的人类学者，进入社区，参与观察、访谈、居处等方式获取研究资 多元性：人类学遇到的课题往往很大、很复杂，因此要多元化，同其他学科进行交流合作。 文化性：人类学研究的内容就是文化，田野里有主流文化、非主流文化、官方文化、大众文化，生活性：我们就是研究吃喝拉撒睡，但是我们还探寻你为什么这样吃喝拉撒睡。文化模式、文化 探索性：进入田野前，我提出的所有假设，都可能在进入田野后被打破、被推翻，无所谓，这就变化性：时代在变，研究对象在变，研究内容在变，研究方法和手段也在变，我们不能固守，要 宏观角度：大区域的或跨区域的研究，就是宏观的角度来研究；

社区角度：社区本就是人类学田野工作的一个单位，社区调查是为了揭示民族社会某一层面的文 家庭，通过个体发现整体， ，借自化学，定性就是确定性质，定量就是确定数量，定量可专题角度：选择某个方面的具体内容，进行深入全面的比较调查研究，可以借此看到前人没有进 从研究对象的姓氏和名称、亲属称谓、血亲姻亲的基础，上溯到不能记忆为止

文化是一个意义系统，强调我们应该致力于发掘当地人的意义系统，因此就指导出了DRS 穿插有各种分析的系列民族志访谈，不断验证、反复询问、分析，最终发现文化主题，得出2.1~2.4：从宽广的范围开始，逐渐缩小，到2.2时专注于少量的经过选择的领域深入考察，再到2.4时再次将范围扩大；

④他有兴趣、有时间：如果没时间，我就找多个差不多背景的报道人来接班； ⑤他叙述的非分析性：当然，我们鼓励他用自己的话解释自己的文化，如果不 表达文 假设处境 ①语言辨别：对田野笔记里面的语言分开，什么是报道人的、什么是我的、或是向报道人问民族志问题并对其回答作出分析，提出问题是为了做分析，而分析则是验证问题及对问题的回答，最后发现文化主题和整个文化的意义系统，从而撰写民族志。

MyCode炉温测试仪用户手册

诚信敬业用心回报客户 MyCode-6 炉温测试仪用户手册 新一代炉温测试仪：功能最强、精度最高、稳定性最好MPC Elektronik GmbH ＆ Co. KG Wol fener fener Strasse 32/34 D-12681 Ber lin

诚信敬业用心回报客户操作面板： 1．正常情况下，三个LED不亮，记录仪处于睡眠状态。 2．按住按钮三秒钟，三个LED全亮，记录仪处于唤醒状态。 3．在唤醒状态下，按一下按钮，采样LED闪烁，通信LED灭，记录仪进入采样状态。 4．在唤醒状态下，按三秒钟按钮，通信LED闪烁，采样LED灭，记录仪进入通信状态。 5．在采样/通信状态下，按一下按钮，记录仪进入睡眠状态 注意：只有在采样状态下，才可将记录仪放入隔热盒中，采集温度数据。 连接USB，只有在通信状态下，才可读记录仪的内部温度，或下传采样方案。 软件操作： 1．数据导入：就是把记录仪内部的温度数据读入电脑 新一代炉温测试仪：功能最强、精度最高、稳定性最好MPC Elektronik GmbH ＆ Co. KG Wol fener fener Strasse 32/34 D-12681 Ber lin

诚信敬业 用心回报客户 新一代炉温测试仪：功能最强、精度最高、稳定性最好 MPC Elektronik GmbH ＆ Co. KG Wol fener fener Strasse 32/34 D-12681 Ber lin 1．右上角就是“数据导入“模块 2． 进入“数据导入”模块后，选择好1工 作清单，2产品清单。数据导入后，就直接以什么炉子，炉子的温度设定，什么产品等与之匹配，就可以进行工艺分析了。 3． 如果仪器与电脑连好了，3的LED 亮， 否则灭。 4． 在3的LED 灭的情况下，4“上传数据 “是打不开的 1 2 3 4

田野调查的步骤、方法与技巧

田野调查的步骤、方法与技巧 一、田野调查方案的设计 （一）设定调查主题 调查主题是整个田野工作的核心与灵魂。主题的确定是否科学合理，在很大程度上决定着田野调查的质量与价值。 （二）选择调查对象 调查对象包括调查地点和被调查人群两个方面。选择的地点有两个最基本的要求，一是选择的调查点必须有特色，即该地区的社会或文化形态较为特殊，与其他民族地区相比，具有明显的个性。二是选择的调查点必须具有典型性。至于被调查人群，则要考虑被调查者的民间身份、年龄结构、文化水平、生活状况等。其中，民间身份主要指被调查者是不是民间艺人？在当地群众之间有没有一定影响？表演的情况如何？等等。 （三）拟定调查提纲 调查提纲包括调查目的、初步的调查内容、步骤和实施措施等内容。这些内容的表述要尽可能做到全面细致，具有可操作性。将工作目标、人员分工、行走路线、工作时间、采访设备、交通联络、保障措施、成果形式等梳理清楚。 二、田野调查的前期准备 （一）心理准备 （二）信息准备 根据选题和调查提纲做好文献检索和信息搜集。文献检索可以采用图书馆现有资料检索和计算机在线检索系统。如果调查前不了解已有的文献资料和调查情况，对该民族和该地区一无所知或一知半解，就会在具体操作中处于被动，

不仅会浪费大量的时间，而且还有可能会把别人早已调查的结论当作新发现。如果对该民族和该地区有了较好的信息储备，被采访者就会觉得对他们有一种无形的尊重，容易引发话题的共鸣，便于把问题不断推向深入。此外，还需要掌握与民俗文化相关的一些基础理论知识。 （三）物资准备 包括（1）调研材料、文物资料、地形图、域情简介、工作手册等文字性资料；（2）录音设备、照相录像设备、信息储存设备、计算机、定位仪等资料搜集与处理设备；（3）笔、尺、记录本、记录表格等常用文具；（4）餐具、运动鞋、遮阳帽、水壶、感冒药、肠胃药、创可贴等简单的生活与医疗物品；（5）为被采访者准备一定数量的小礼物；（6）钱卡、身份证、介绍信等出差必备资料与物品。 三、田野调查的方法与技巧 （一）虚心学习的态度 （二）访谈注意方法与技巧 访谈常见的有两种类型，一种是问卷访谈；另一种是非问卷访谈，调查者在现场与受访人就某些问题自由灵活地交谈。技巧包括提出问题的技巧、沟通感情的技巧、启发诱导的技巧、扑捉信息的技巧、发现问题的技巧，等等。 （三）努力做好现场记录 现场记录包括笔记、录音、录像等形式，这些手段的综合使用对以后还原田野场景很有帮助。

四探针测试仪作业指导书

SDY-4型四探针测试仪作业指导书1.0 版本Rev. 编写人 Prepared by 编写日期 Prepared Date 审核人 Checked by 审核时间 Checked Date 批准人 Approved by 批准日期 Approved Date

目录 一. 目的 (003) 二. 范围 (003) 三. 职责 (003) 四. 名词定义 (003) 五. 内容 (003) 六. 安全 (005) 七．设备材料 (005) 八. 相关文件 (005) 九. 记录 (005)

1. 目的：规范四探针测试仪的操作与维修保养工作。 2. 范围：适用于车间内四探针测试仪的操作与维修保养工作。 3. 职责： 3.1 负责扩散后方块电阻的测试。 3.2 规范操作，为测试数据规范化提供依据。 3.3 负责发现扩散后硅片质量、工艺异常状况时的反映。 4名词定义： 4.1 SDY-4型四探针测试仪 5.内容: 5.1 仪器介绍： SDY-4型四探针测试仪是根据单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国A.S.T.M标准设计的半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)测试专用仪器.仪器以大规模集成电路为核心部件,采用平面轻触式开关控制,及各种工作状态LED指示.应用微计算机技术，利用HQ－710E型测量数据处理器，使得测量读数更加直观、快速，整套仪器体积小、功耗低、测量精度高、测试速度快、稳定性好、易操作。 本仪器可满足半导体材料、器件的研究生产单位对材料(棒材、片材)电阻率及扩散层、离子注入层、异型外延层和导电薄膜方块电阻测量的需要。 5.2 仪器电气原理如图（1）所示： 220V电滤波恒流电流选档样品 A/D 显示源滤波稳压换相控制测试转换 图(1)仪器电气原理框图