KEITHLEY四探针操作手册
南开大学硅光电子学与储能实验室四探针操作手册
Four-Point Probe Operation | 2011
四探针操作说明书
Four-Point Probe Operation
第1章引言................................................错误!未定义书签。
1. 目的..................................................错误!未定义书签。
2. 应用范围..............................................错误!未定义书签。
3. 测试设备..............................................错误!未定义书签。
四探针............................................错误!未定义书签。
数字电压源表......................................错误!未定义书签。第2章原理简述............................................错误!未定义书签。
1. 薄膜(厚度≤4mm)电阻率：...............................错误!未定义书签。
2. 薄膜方块电阻..........................................错误!未定义书签。第3章操作方法............................................错误!未定义书签。
1. 引言..................................................错误!未定义书签。
2. 测试线连接方式........................................错误!未定义书签。
3. KEITHLEY 2400高压源表设置指南........................错误!未定义书签。
4. 探针接触方式..........................................错误!未定义书签。
5. 数据测试指南..........................................错误!未定义书签。第4章注意事项............................................错误!未定义书签。附表 .........................................................错误!未定义书签。
第1章引言
1.目的
本说明书主要介绍用四探针法测试薄膜方块电阻及电阻率的原理及具体操作方法。
2.应用范围
测量参数：方块电阻，电阻率
测量样品：均匀薄膜，均匀薄片
方块电阻测试范围：?～500M?
电阻率测试范围：10-5??cm～103??cm
样品大小：直径>1cm
精度：<±5%
3.测试设备
四探针
生产厂商：
广州四探针有限公司RTS-2型
基本指标：
间距：1±；
针间绝缘电阻: ≥1000MΩ；
机械游移率: ≤％；
探针：碳化钨或高速钢材质，探针直径Ф；
探针压力：5～16 牛顿(总力)；
使用环境：
温度:：23±2℃；
相对湿度：≤65％；
无高频干扰；
无强光直射；
基本参数：
Fsp=
探针间距：
数字电压源表
生产厂商：
KEITHLEY 2400高压源表
技术参数：
准确度：％
功率：20w
型号：2400
品牌：吉时利
测量范围：可选高电压（1100V）或大电流（3A）源/测量（A）
KEITHLEY2400通用型源表,最大可测量200V的电流和1A的电流，输出功率20W.主要特点及优点:
设计用于高速直流参数测度
2400系列提供宽动态范围：10pA to 10A, 1μV to 1100V, 20W to 1000W 四象限工作
%的精确度，5 1/2 的分辨率
可程控电流驱动和电压测量钳位的6位线电阻测量
在4 1/2 数位时通过GPIB达1700读数/秒
内置快速失败/通过测试比较器
可选接触式检查功能
数字I/O提供快速分选与机械手连接
GPIB, RS-232, 和触发式连接面板
TestPoint and LabVIEW驱动
第2章 原理简述
将四根排成一条直线的探针以一定的压力垂直地压在被测样品表面上，在 1、4 探针间通以电流 I(mA)，2、3 探针间就产生一定的电压 V(mV)(如图1)。测量此电压并根据测量方式和样品的尺寸不同，可分别按以下公式计算样品的电阻率、方块电阻、电阻：
1. 薄膜(厚度≤4mm)电阻率：
其中：D —样品直径，单位：cm 或mm ，注意与探针间距S 单位一致；
S —平均探针间距，单位：cm 或mm ，注意与样品直径D 单位一致(四探针头合格证上的S 值)；
W —样品厚度，单位：cm ，在F(W/S)中注意与S 单位一致； Fsp —探针间距修正系数(四探针头合格证上的F 值)；
F(D/S)—样品直径修正因子。当D →∞时，F(D/S)=，有限直径下的F(D/S)由错误!未找到引用源。查出：
F(W/S)—样品厚度修正因子。W/S<时，F(W/S)=1；W/S>时，F(W/S)值由错误!未找到引用源。查出；
R —源表测量电阻值，单位?；
2. 薄膜方块电阻
其中：D —样品直径，单位：cm 或mm ，注意与探针间距S 单位一致；
S —平均探针间距，单位：cm 或mm ，注意与样品直径D 单位一致(四探针头合格证上的S 值)；
W —样品厚度，单位：cm ，在F(W/S)中注意与S 单位一致； Fsp —探针间距修正系数(四探针头合格证上的F 值)；
V
1
2 3 4
↑
↓
Figure 2-1直线四探针法测试原理图
F(D/S)—样品直径修正因子。当D→∞时，F(D/S)=，有限直径下的F(D/S)由错误!未找到引用源。查出：
F(W/S)—样品厚度修正因子。W/S<时，F(W/S)=1；W/S>时，F(W/S)值由错误!未找到引用源。查出；
R—源表测量电阻值，单位?；
第3章操作方法
1.引言
电阻测量采用KEITHLEY 2400高压源表测量，参照4探针测试原理，源表设置应采用4线感应模式（4W AUTO）。具体设置参看错误!未找到引用源。。
2.测试线连接方式
测试线采用4线连接方式。
Figure 3-1 测试线连接方式
3.KEITHLEY 2400高压源表设置指南
连接设备数据线，电源，开关。
设备显示如错误!未找到引用源。所示。
Figure 3-2 按 CONFIG 键
按 CONFIG 键，设备显示如错误!未找到引用源。所示。
按?键，设备显示如错误!未找到引用源。所示。
先按?键，选中 SENSE-MODE 模式，按 ENTER 键，设备显示如错误!未找到引用源。
所示。
Figure 3-3 按?键
Figure 3-4 先按?键，选中 SENSE-MODE 模式，按 ENTER 键。
先按?键，选中 4-WIRE 模式，按 ENTER 键，再按 EXIT 键，退出到测量窗口。
如错误!未找到引用源。所示，可看见上方4W AUTO字样，设置完成。
Figure 3-5先按?键，选中 4-WIRE 模式，按 ENTER 键。
Figure 3-6 设备最后显示模式，可看见上方4W AUTO。
如有问题可以查看KEITHLEY 2400高压源表使用说明书i。
i设备说明书下载。
4.探针接触方式
探针接触应保持一定的压力，但不同材料的性质不同，有些材料的电阻率会随外加压力变化而改变，因而测试前要依据具体的测试材料而适当的改变探针压力。
首先用粗调键旋转探针至样品表面，略有压力后停止。再细调一定距离，保证测量时表面读数稳定后即可。
5.数据测试指南
待测试线连接无误，源表设置完成，探针加到样品表面后，可以开始测量电阻。
首先调节电阻测量量程。依据样品电阻率选择量程范围，如错误!未找到引用源。所示。
Table 1 源表电阻测量量程选择ii
样品电阻率范围
通过样品电流
（??cm）
<<100 mA
<10 mA
1-30<1mA
30-1000<100μA
1000-3000<10μA
按下源表右下方的 ON/OFF 键，按键变蓝，测量开始。记录测量电阻值。
半导体材料电阻率会随电流改变而变化，因此要结合具体情况选择合适的量程。
根据修正公式算出方块电阻和电阻率，测试完成。
将测试得到的电阻，膜厚代入以下公式即可算出电阻率和方块电阻。
各修正系数可从附表查出，Fsp=.
实例1.
测量薄膜电阻为?（1mA档），膜厚为。探针间距为，样品直径为100mm（圆中心测量），Fsp为。
D/S=100，
F(D/S)=。
W/S=10-4，
F(W/S)=1;
所以=10-3。
ii孙以材，半导体测试技术，冶金工业出版社，1984。
第4章注意事项
附表
附表 1直径修正系数F(D/S)与D/S值的关系
附表 2厚度修正系数F(W/S)与W/S值的关系
四探针测电阻率实验指导书及SZT-2A四探针测试仪使用说明书
实验七四探针法测量材料的电阻率 一、实验目的 （1）熟悉四探针法测量半导体或金属材料电阻率的原理 （2）掌握四探针法测量半导体或金属材料电阻率的方法 二、实验原理 半导体材料是现代高新技术中的重要材料之一，已在微电子器件和光电子器件中得到了广泛应用。半导体材料的电阻率是半导体材料的的一个重要特性，是研究开发与实际生产应用中经常需要测量的物理参数之一，对半导体或金属材料电阻率的测量具有重要的实际意义。 直流四探针法主要用于半导体材料或金属材料等低电阻率的测量。所用的仪器示意图以及与样品的接线图如图1所示。由图1(a)可见，测试过程中四根金属探针与样品表面接触，外侧1和4两根为通电流探针，内侧2和3两根是测电压探针。由恒流源经1和4两根探针输入小电流使样品内部产生压降，同时用高阻抗的静电计、电子毫伏计或数字电压表测出其它两根探针（探针2和探针3）之间的电压V23。 a b 图1 四探针法电阻率测量原理示意图 若一块电阻率为 的均匀半导体样品，其几何尺寸相对探针间距来说可以看
作半无限大。当探针引入的点电流源的电流为I ，由于均匀导体内恒定电场的等位面为球面，则在半径为r 处等位面的面积为22r π，电流密度为 2/2j I r π= （1） 根据电流密度与电导率的关系j E σ=可得 22 22j I I E r r ρ σ πσπ= = = （2） 距离点电荷r 处的电势为 2I V r ρ π= （3） 半导体内各点的电势应为四个探针在该点所形成电势的矢量和。通过数学推导，四探针法测量电阻率的公式可表示为 123 231224133411112( )V V C r r r r I I ρπ-=--+?=? （4） 式中，1 12241334 11112( )C r r r r π-=--+为探针系数，与探针间距有关，单位为cm 。 若四探针在同一直线上，如图1(a)所示，当其探针间距均为S 时，则被测样品的电阻率为 123 2311112()222V V S S S S S I I ρππ-=- -+?=? （5） 此即常见的直流等间距四探针法测电阻率的公式。 有时为了缩小测量区域，以观察不同区域电阻率的变化，即电阻率的不均匀性，四根探针不一定都排成一直线，而可排成正方形或矩形，如图1(b)所示，此时只需改变电阻率计算公式中的探针系数C 即可。 四探针法的优点是探针与半导体样品之间不要求制备接触电极，极大地方便了对样品电阻率的测量。四探针法可测量样品沿径向分布的断面电阻率，从而可以观察电阻率的不均匀性。由于这种方法允许快速、方便、无损地测试任意形状样品的电阻率，适合于实际生产中的大批量样品测试。但由于该方法受到探针间距的限制，很难区别间距小于0.5mm 两点间电阻率的变化。 根据样品在不同电流（I ）下的电压值（V 23），还可以计算出所测样品的电阻率。
蓝牙无线温度测试仪手册
八通道炉温测试仪 TTrack 用户手册 ◎2014版◎
目录 前言 (1) 重要事项和安全说明 (1) 商标和有限责任 (1) 测温仪主机接线端口说明 (2) 一、安装TTrack软件与USB驱动程序 (3) 1.1建议PC配置: (3) 1.2软件安装方法: (3) 1.3USB驱动程序的安装: (4) 1.3.1XP系统USB安装步骤 (4) 1.3.2Win7系统USB安装步骤 (6) 1.4蓝牙适配器的安装与配置 (10) 1.4.1蓝牙适配器的安装 (10) 1.4.2蓝牙适配器的配置 (11) 1.4.3软件通过蓝牙与设备的连接步骤 (15) 二、TTrack软件介绍 (16) 2.1工具栏 (16) 2.2软件界面功能 (17) 2.2.1主机设置 (19) 2.2.2设置面板 (20) 2.2.3分析设置 (21) 2.2.4热电偶设置 (24) 2.2.5炉区设置 (25) 2.2.6制程设置 (27) 2.2.7其他设置 (31) 三、炉温测试仪操作步骤 (33) 3.1采样间隔设置 (33) 3.2进行温度数据测量步骤 (33) 3.3数据下载 (34) 3.3.1通讯端口选择 (34) 3.3.1.1使用USB进行通讯操作 (34) 3.3.1.2使用蓝牙进行通讯操作 (34) 3.3.2数据下载步骤 (34) 3.4打印报表 (34) 3.5USB充电 (36) 3.6注意事项 (36) 3.7蓝牙下载数据注意事项： (37) 3.8测温仪初始化步骤 (37) 3.9温度校正方法 (40) 3.10波峰焊测量规定 (43) 四、常见故障 (45) 4.1电脑识别不了WT-USB (45) 4.2测温结果有偏差 (45) 4.3无法进行数据下载或测温曲线严重偏差 (45) 4.4电脑识别不了蓝牙 (46)
四探针操作手册
南开大学 硅光电子学与储能实验室 Four-Point Probe Operation | 2011 四探针操作手册
四探针操作说明书 Four-Point Probe Operation 第1章引言 (1) 1. 目的 (1) 2. 应用范围 (1) 3. 测试设备 (1) 四探针 (1) 数字电压源表 (2) 第2章原理简述 (3) 1. 薄膜(厚度≤4mm)电阻率： (3) 2. 薄膜方块电阻 (3) 第3章操作方法 (5) 1. 引言 (5) 2. 测试线连接方式 (5) 3. KEITHLEY 2400高压源表设置指南 (6) 4. 探针接触方式 (8) 5. 数据测试指南 (8) 第4章注意事项 (10) 附表 ................................................................................................................................................... I
第1章引言 1.目的 本说明书主要介绍用四探针法测试薄膜方块电阻及电阻率的原理及具体操作方法。 2.应用范围 测量参数：方块电阻，电阻率 测量样品：均匀薄膜，均匀薄片 方块电阻测试范围：0.01?～500M? 电阻率测试范围：10-5??cm～103??cm 样品大小：直径>1cm 精度：<±5% 3.测试设备 四探针 生产厂商： 广州四探针有限公司RTS-2型 基本指标： 间距：1±0.01mm； 针间绝缘电阻: ≥1000MΩ； 机械游移率: ≤0.3％； 探针：碳化钨或高速钢材质，探针直径Ф0.5mm； 探针压力：5～16 牛顿(总力)； 使用环境： 温度:：23±2℃； 相对湿度：≤65％； 无高频干扰； 无强光直射； 基本参数： Fsp=0.1 探针间距：1.0mm
M2型手持式数字式四探针测试仪简介
M-2型手持式数字式四探针测试仪简介 一、M-2型手持式数字式四探针测试仪 二、概述 M-2型手持式数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理测试电阻率/方阻的多用途综合测量仪器。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国标准。 仪器成套组成：由主机、选配的四探针探头等二部分组成，也可加配测试台。 主机主要由数控恒流源，高分辨率ADC、嵌入式单片机系统组成，自动转换量程。仪器所有参数设定、功能转换全部采用一旋钮输入；具有零位、满度自校功能；全自动转换量程；测试结果由数字表头直接显示。本测试仪采用可充电电池供电，适合手持式变动场合操作使用！ 探头选配：根据不同材料特性需要，探头可有多款选配。有高耐磨碳化钨探针探头，以测试硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻；也有球形镀金铜合金探针探头，可测柔性材料导电薄膜、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜（ITO膜）或纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻。换上四端子测试夹具，还可
对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。配专用探头，也可测试电池极片等箔上涂层电阻率方阻。 仪器具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、智能化程度高、结构紧凑、使用简便等特点。 仪器适用于半导体材料厂器件厂、科研单位、高等院校对导体、半导体、类半导体材料的导电性能的测试。 三、基本技术参数 1. 测量范围、分辨率 电阻：0.010 ～9999Ω, 分辨率0.001 ～1 Ω 电阻率：0.010～2000Ω-cm，分辨率0.001 ～1 Ω-cm 方块电阻：0.050～2000Ω/□分辨率0.001 ～1 Ω/□ 2. 材料尺寸 手持方式不限材料尺寸，但加配测试台则由选配测试台和测试方式决定 直径：SZT-A圆测试台直接测试方式Φ15～130mm。 SZT-C方测试台直接测试方式180mm×180mm。 长(高)度：测试台直接测试方式H≤100mm。. 测量方位: 轴向、径向均可. 3. 量程划分及误差等级
KEITHLEY四探针操作手册
南开大学硅光电子学与储能实验室四探针操作手册 Four-Point Probe Operation | 2011
四探针操作说明书 Four-Point Probe Operation 第1章引言................................................错误!未定义书签。 1. 目的..................................................错误!未定义书签。 2. 应用范围..............................................错误!未定义书签。 3. 测试设备..............................................错误!未定义书签。 四探针............................................错误!未定义书签。 数字电压源表......................................错误!未定义书签。第2章原理简述............................................错误!未定义书签。 1. 薄膜(厚度≤4mm)电阻率：...............................错误!未定义书签。 2. 薄膜方块电阻..........................................错误!未定义书签。第3章操作方法............................................错误!未定义书签。 1. 引言..................................................错误!未定义书签。 2. 测试线连接方式........................................错误!未定义书签。 3. KEITHLEY 2400高压源表设置指南........................错误!未定义书签。 4. 探针接触方式..........................................错误!未定义书签。 5. 数据测试指南..........................................错误!未定义书签。第4章注意事项............................................错误!未定义书签。附表 .........................................................错误!未定义书签。
四探针一体机使用说明书
SZT-2A四探针测试仪 使用说明书 一概述 SZT-2A型数字式四探针测试仪是运用四线法测量原理的多用途综合测量装置，配上专用的四探针测试架，即可以测量片状，块状或柱状半导体材料的径向和轴向电阻率，测量扩散层的薄层电阻（亦称方块电阻）。四探针测试架有电动，手动，手持三种可以选配，另外还配有四个夹子的四线输入插头用来作为测量线状或片状电阻的中，低阻阻值。 仪器由主机，测试架等部份组成，测试结果由液晶显示器显示，同时，液晶显示器还显示测量类型（电阻率，方块电阻和电阻）以及探头修正系数， 主机由开关电源，DC/DC变换器，高灵敏度电压测量部份，高稳定度恒流源，和微电脑控制系统组成。由於采用大规模集成电路，所以仪器可靠性高，测量稳定性好。 测试探头采用宝石导向轴套和高硬度钢针，定位准确，游移率小，使用寿命长。 仪器适用於半导体材料厂，半导体器件厂，科研单位，高等院校对半导体材料电阻性能的测试。 本仪器工作条件为： 温度：23℃±3℃ 相对湿度：50%~70%
工作室内应无强磁场干扰，不与高频设备共用电源。 二，技术参数 1，测量范围 电阻率： 10??-105?-cm 方块电阻 10??- 105?/□ 电阻 10-?- 105? 2，可测半导体材尺寸 直径：Ф15-100mm 长（或高）度：≤400mm 3，测量方位 轴向，径向均可 4，数字电压表： （1）量程：20mV,200mV,2V （2）误差：±0.5%读数±2字 （3）输入阻抗:>10?? （4）最大分辨率:10μV （5）点阵液晶显示，过载显示。 5，恒流源： （1）电流输出：共分10μA,100uA,1mA,10mA,100mA五挡可通过按键选择，各挡均为定值不可调节，电阻率探头 修正系和扩散层方块电阻修正系数均由机内CPU运算 后，直接显示修正后的结果。
2M误码仪实用操作及保养说明
2M误码仪实用操作及保养说明 一、规格说明 1.前面板、状态告警指示灯 2.液晶显示器
液晶显示器分为三个部分，如上图所示。
3.按键
二、常见技术指标 比特率:2048Kb/s ± 50ppm 接口：标配75ohm, 高阻，选配：120ohm 输入灵敏度：0 ~ - 43dB 线路编码：HDB3 帧型：无帧，P31,P31C,P30,P30C 内部测试序列：伪随机序列: 2^11-1(PR11), 2^15-1(PR15) 固定码: 0000(SPACE),1111(MARK),1010(ALT) 告警检测和插入：LOS, AIS,LOF, RA 误码插入：Single, 10E-3, 10E-6 测试标准：G.821，G.826,M.2100 单时隙监听：除Ts0外任意单个时隙 时钟源选择：内部时钟(Internal)，接收回复时钟(Receive) 存储:99条 电源：4节5号电池或外接电源 尺寸：200mm(L) * 100mm(W) * 44mm(H) 三、操作说明 1.初步操作 利用快捷键可以从任何界面直接进入到另一个界面；利用快捷键还可以完成屏幕打印、结果打印、键盘锁定等功能。 任何界面中，当功能扩展键 显示时，按键，液晶显示器的左下角会弹出快捷菜单，如图3.2所示，再按键快捷菜单自动利用光标移动键把光标移到所需选项，按ENTER键或F1键选择键盘锁定或直接进入测试设置、当前结果、设置存取、结果存取或仪表设置界面。 2.端口设置
界面说明 工作方式 发送 接收 接口方式 接口方式 信号形式 信号形式 数据端口 数据端口 时钟方式 信号端口 测试图案 测试图案 ① ② 信号码型 信号码型 时隙选择 时隙选择 ①图案极性 ②图案极性 界面说明 工作方式 接口方式 接口方式 发送 接收 模拟方式 速率 速率 时钟方式 时钟方式 测试图案 测试图案 控制信号 ① ② ③ ④ ①时钟极性 ②图案极性 ③时钟极性 ④图案极性 2.1 Tx/Rx1/DATA 端口设置 是接口方式为2Mbit/s 和同向64kbit/s （接口方式为同向64kbit/s 时，相应选项自动无效）时的界面，左边表示发送端口的设置， 右边表示接收端口的设置，各栏代表的含义如图2.1所示。 图2.1 Tx/Rx1端口设置说明 图2.2是接口方式为V.35、V.24同步、X.21、RS449时的界面，左边表示发送端口的设置，右边表示接收端口的设置，各栏代表的含义 如图2.3所示。 图2.2 DATA 端 口设置
XXX软件用户手册
XXX软件用户手册 (软件版本：FMS2.1)
目录 用户手册 (3) 概述 (3) 功能特点 (3) 系统要求 (3) 软件安装 (3) 硬件安装 (4) 请用户在阅读本手册及操作本软件前先详读《RTS-8型四探针测试仪》
用户手册 因有的概念跟理论要了解后,阅读此手册和使用本软件时更容易理解、操作。 概述 RTS-8型四探针软件测试系统是一个运行在计算机上拥有友好测试界面的用户程序，程序操作直观易用。测试程序在计算机与RTS-8型四探针测试仪连接的状态下，通过计算机的并口实现通讯。 测试程序控制四探针测试仪进行测量并采集测试数据，把采集到的数据在计算机中加以分析，然后把测试数据以表格，图形直观地记录、显示出来。用户可对采集到的数据在计算机中保存或者打印以备日后参考和查看，还可以把采集到的数据输出到Excel中，让用户对数据进行各种数据分析。 功能特点 可以选择进行手动测量或者是自动测量； 对可疑测量点的数据进行重测； 详细记录被测试材料各种参数，结合测试数据进行数据统计分析； 以直方图形式统计分析数据； 打开、保存、打印测试数据； 把测试数据导出到Excel中进行更详细的数据统计分析； 系统要求 请确定你的电脑是IBM PC兼容型并具备以下最低的系统要求： Intel兼容586DX-500MHz中央处理器或者更高； 一个IEEE-1284标准并行通讯端口； 显示卡分辨率支持1024*768模式； 软件安装 本软件可安装在Win98、Win2000、XP操作系统上。请按以下步骤进行安装。 1.将四探针软件测试系统的安装光盘放入光驱中，执行光盘目录下的【Setup.exe】进行安
测试误码比说明
HFTA-010.0：物理层性能：测试误码比(BER) 本文最早发表于2004年9月的Lightwave Magazine, “Explaining those BER testing mysteries”。 所有数字通信系统物理层的根本功能是以最快的速度，在介质(例如，铜缆、光纤，以及自由空间等)上尽可能正确无误地传送数据。因此，对物理层性能的两类基本测量包括数据被传送的速率(数据速率)，以及数据到达信宿时的完整性。数据完整性的主要测量标准是误码比，即BER。 本文回顾电信和数据通信协议最普遍的BER要求，简要介绍用于测试BER性能的设备，以及怎样在测试时间和BER置信度上达到平衡。 1. BER规范 数字通信系统的BER可以定义为任意比特通过系统传输后，接收时出现错误的概率，例如，发送“1”，接收到的却是“0”，反之亦然。在实际测试中，系统传输一定数量的比特，对接收到的错误比特进行计数，从而测量BER。接收到的错误比特数与传输的比特总数之比便是BER。随着传输比特总数的增加，BER估算精度也随之提高。极限情况下，发送的比特数接近无限时，BER 是对真实误码概率的最佳估算。 在某些材料中，BER是指误码率，而不是误码比。真实系统中出现的大部分错误比特主要来自随机噪声，因此，它是随机出现的，而不是均匀分布的概率。BER是通过对错误比特和传送比特之比进行估算而得到的。出于这些原因，使用“比”来代替“率”更准确一些。 系统中被传输比特的不同排列顺序(例如，数据码型)，会导致出现不同的误码数量。例如，含有长串连续同样数字(CID)的码型低频分量很大，可能会超出系统通带范围，导致信号出现确定性抖动和其他失真。这些与码型有关的效应会增大或者减小误码出现的概率。这意味着当使用不同的数据码型来测试BER时，有可能获得不同的结果。码型相关效应的详细分析已经超出了本文的讨论范围，但是应对BER规范和测试结果与数据码型有关这一现象有足够的重视。 大部分数字通信协议要求BER性能要达到两个级别之一。SONET等电信协议使用较长的伪随机码，一般要求BER是每1010个比特出现一个误码(即，BER = 1/1010 = 10-10)。而光纤通道和以太网等数据通信协议通常使用较短的码型，要求BER优于10-12。在某些情况下，系统规范要求BER 达到10-16，甚至更低。 需要指出的是，BER实际上是统计平均值，因此，它在足够多的比特情况下才有意义。例如，在一组1010比特之内可能会出现一个以上的误码，但是当传送的比特总数远远大于1010时，仍然会满足10-10 BER规范。在后续的比特流中，如果每1010个比特误码数少于1个，就可能出现这种情况。或者，在一组1010比特中没有误码，而在后续比特流中误码较多，仍有可能达不到10-10标准。考虑到这些例子，很明显，规定BER优于10-10的系统必须传送远远多于1010比特的数据来进行测试，才能得到精确、可重复的测量结果。一个自然而又常见的问题是“我需要在系统中传送多少比特才能说明BER是可信的？”第三节给出了这一问题的答案。 2. 设备和过程 BER测试的传统方法使用码型发生器和误码探测仪(图1)。
误码仪校准指导书
1目的 根据误码仪在生产工艺中的重要性，通过定期对误码仪进行检定和校准，保证其在使用过程中的准确性和有效性，特制定此文件。 2范围 本规范适用于N4903，81250设备。 3校准条件 温度：20℃～25℃ 湿度：45％～75％RH 电压：220V 4校准所使用的的计量标准器具及辅助器具 4.1标准设备 设备名称：误码仪 设备型号：MP1570A 出厂编号：6100149757 器具要求：具有法定校准合格证书，且在有效期内。 4.2辅助设备 4.3其他辅助 模块测试板：一块 同轴线：4根 光纤跳线：4根（FC、SC视使用情况而定） 5校准周期 根据《测量设备校准检定周期确定标准》规定其校准周期为一年。 6校准程序 7.1检查主机 7.1.1打开Setup菜单，将光标移到Mapping,按Set键确认，选择Self test菜单。 7.1.2移动光标至“Type”并按下Set键。 7.1.3屏幕出现选择项窗口，选择“Maiframe test”，按下Set键确认，按屏幕提示（见图1） 连接所有连线。 7.1.4按下Start/Stop键开始测试。 7.1.5所有测试完成后系统将自动停止测试, 蜂鸣器响。
PASS 指示自检正常。 FAIL 指示自检不正常。 图1 7.1.7如果自检不通过，将显示错误代码，代码指示信息请参照本手册 英文版的附录Appendix G。 7.1.8当On/Off灯亮时，内置打印机将自动打印测试结果。 7.2检查接口单元 7.2.1打开Setup菜单，将光标移到Mapping,按Set键确认，选择Self test菜单。 7.2.2移动光标至“Type”并按下Set键。 7.2.3屏幕出现选择项窗口，选择“MPxxxx Interface test”，按下Set键确认，按 屏幕提示连接所有连线, 当对MP0111A，MP0112A，MP0113A进行自检时，用单模光纤直接连 接输入和输出。 7.2.4按下Start/Stop键开始测试。 7.2.5所有测试完成后系统将自动停止测试, 蜂鸣器响。 7.2.6检查测试结果: PASS 指示自检正常。 FAIL 指示自检不正常。 7.2.7 如果自检不通过，将显示错误代码，代码指示信息请参照本手册 英文版的附录Appendix G。 7.2.8 当On/Off灯亮时，内置打印机将自动打印测试结果。 7.3 灵敏度比对校准 7.3.1选择一个模块作为标准件。 7.3.2按图2完成灵敏度测试系统的连接。
最新四探针法测电阻率
四探针法测电阻率
实验四探针法测电阻率 1．实验目的： 学习用四探针法测量半导体材料的体电阻率和扩散薄层的电阻率及方块电阻。 2．实验内容 ①硅单晶片电阻率的测量：选不同电阻率及不同厚度的大单晶圆片，改变 条件（光照与否），对测量结果进行比较。 ②薄层电阻率的测量：对不同尺寸的单面扩散片和双面扩散片的薄层电阻 率进行测量。改变条件进行测量（与①相同），对结果进行比较。 3．实验原理：
在半导体器件的研制和生产过程中常常要对半导体单晶材料的原始电阻率和经过扩散、外延等工艺处理后的薄层电阻进行测量。测量电阻率的方法很多，有两探针法，四探针法，单探针扩展电阻法，范德堡法等，我们这里介绍的是四探针法。因为这种方法简便可行，适于批量生产，所以目前得到了广泛应用。 所谓四探针法，就是用针间距约1毫米的四根金属探针同时压在被测样品的平整表面上如图1a 所示。利用恒流源给1、4两个探针通以小电流，然后在2、3两个探针上用高输入阻抗的静电计、电位差计、电子毫伏计或数字电压表测量电压，最后根 据理论公式计算出样品的电阻率［１］ I V C 23 =ρ 式中，C 为四探针的修正系数，单位为厘米，C 的大小取决于四探针的排列方法和针距，探针的位置和间距确定以后，探针系数C 就是一个常数；V 23为2、3两探针之间的电压，单位为伏特；I 为通过样品的电流，单位为安培。 半导体材料的体电阻率和薄层电阻率的测量结果往往与式样的形状和尺寸密切相关，下面我们分两种情况来进行讨论。 ⑴ 半无限大样品情形 图1给出了四探针法测半无穷大样品电阻率的原理图，图中(a)为四探针测量电阻率的装置；(b)为半无穷大样品上探针电流的分布及等势面图形；(c)和(d)分别为正方形排列及直线排列的四探针图形。因为四探针对半导体表面的接触均为点接触，所以，对图１（b ）所示的半无穷大样品，电流I 是以探针尖为圆心呈径向放射状流入体内的。因而电流在体内所形成的等位面为图中虚线所示的半球面。于是，样品电阻率为ρ，半径为r ，间距为dr 的两个半球等位面间的电阻为 dr r dR 2 2πρ = ， 它们之间的电位差为 dr r I IdR dV 2 2πρ= =。
RTS8型四探针测试仪用户手册1
文档来源为:从网络收集整理.word版本可编辑.欢迎下载支持. 目录 1.概述 (1) 2.技术指标 (1) 3.测量原理简介 (2) 4.仪器面板说明 (4) 5.使用方法 (6) 6.关于低阻测量 (8) 7.关于高阻测量 (8) 8.附录A：脱机测量样品基本操作流程 (9) 9.附表B：直径修正系数F(D/S)与D/S值的关系 (10) 10.附表C：厚度修正系数F(W/S)与W/S值的关系 (11) 11.附录D：S-2A探针台探头更换指导 (12) 感谢您使用我们的产品！ 如您是首次使用本仪器，请先详读本说明书，并妥善保留之以备查阅之用。 如有问题，欢迎致电：或登陆:http//
1.概述 RTS-8型数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国标准而设计的，专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器。 仪器由主机、探针测试台、四探针探头、计算机等部分组成，测量数据既可由四探针测试仪主机直接显示，亦可与计算机相连接通过四探针软件测试系统控制四探针测试仪进行测量并采集测试数据，把采集到的数据在计算机中加以分析，然后把测试数据以表格，图形直观地记录、显示出来。用户可对采集到的数据在电脑中保存或者打印以备日后参考和查看，还可以把采集到的数据输出到Excel中，让用户对数据进行各种数据分析。 仪器采用了最新电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。 本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。 2. 技术指标 2.1 测量范围 电阻率：10-4～105Ω.cm； 方块电阻：10-3～106Ω/□； 电阻：10-4～105Ω； 电导率：10-5～104s/cm； 可测晶片直径：140mmX150mm (配S-2A型测试台)； 200mmX200mm (配S-2B型测试台)； 400mmX500mm (配S-2C型测试台)； 2.2 恒流源 电流量程分为 1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA 六档，各档电流连续可调； 2.3 数字电压表 量程及表示形式：000.00～199.99mV； 分辨力：10μV； 输入阻抗：＞1000MΩ； 精度：±0.1%； 显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示； 2.4 四探针探头基本指标 间距：1±0.01mm； 针间绝缘电阻: ≥1000MΩ； 机械游移率: ≤0.3％； 探针：碳化钨或高速钢材质，探针直径Ф0.5mm； 探针压力：5～16 牛顿(总力)； 2.5 四探针探头应用参数 见探头附带的合格证，合格证含三参数项： C：探针系数； F：探针间距修正因子； S：探针平均间距； 2.6 模拟电阻测量相对误差（按 JJG508-87 进行）
2M测试仪说明书
目录 1. 概述...................................... 错误!未定义书签。 2. 主菜单.................................... 错误!未定义书签。 菜单选择................................. 错误!未定义书签。 3. 测试设置.................................. 错误!未定义书签。 Tx/Rx1/DATA端口设置 ..................... 错误!未定义书签。 CLK/RX2端口设置........................... 错误!未定义书签。 其它设置................................. 错误!未定义书签。 4. 专业设置.................................. 错误!未定义书签。 帧信息设置............................... 错误!未定义书签。 同步信息设置............................. 错误!未定义书签。 ABCD设置................................. 错误!未定义书签。 5. 测试结果.................................. 错误!未定义书签。 常规测试结果............................. 错误!未定义书签。 直方图.................................... 错误!未定义书签。 时隙分析结果............................. 错误!未定义书签。 6. 档案管理.................................. 错误!未定义书签。 测试设置存取............................. 错误!未定义书签。 测试结果存取............................. 错误! 未定义书签。 7. 仪表设置.................................. 错误!未定义书签。 显示设置................................. 错误!未定义书签。 打印设置................................. 错误!未定义书签。 时间设置................................. 错误!未定义书签。 8. 应用举例.................................. 错误!未定义书签。 2Mbit/s 通道停业务误码测试。............... 错误!未定义书签。 2M/s 通道开业务误码测试.................. 错误!未定义书签。9. 主要技术指标.............................. 错误!未定义书签。
MyCode炉温测试仪用户手册
诚信敬业用心回报客户 MyCode-6 炉温测试仪用户手册 新一代炉温测试仪：功能最强、精度最高、稳定性最好MPC Elektronik GmbH ＆ Co. KG Wol fener fener Strasse 32/34 D-12681 Ber lin
诚信敬业用心回报客户操作面板： 1．正常情况下，三个LED不亮，记录仪处于睡眠状态。 2．按住按钮三秒钟，三个LED全亮，记录仪处于唤醒状态。 3．在唤醒状态下，按一下按钮，采样LED闪烁，通信LED灭，记录仪进入采样状态。 4．在唤醒状态下，按三秒钟按钮，通信LED闪烁，采样LED灭，记录仪进入通信状态。 5．在采样/通信状态下，按一下按钮，记录仪进入睡眠状态 注意：只有在采样状态下，才可将记录仪放入隔热盒中，采集温度数据。 连接USB，只有在通信状态下，才可读记录仪的内部温度，或下传采样方案。 软件操作： 1．数据导入：就是把记录仪内部的温度数据读入电脑 新一代炉温测试仪：功能最强、精度最高、稳定性最好MPC Elektronik GmbH ＆ Co. KG Wol fener fener Strasse 32/34 D-12681 Ber lin
诚信敬业 用心回报客户 新一代炉温测试仪：功能最强、精度最高、稳定性最好 MPC Elektronik GmbH ＆ Co. KG Wol fener fener Strasse 32/34 D-12681 Ber lin 1．右上角就是“数据导入“模块 2． 进入“数据导入”模块后，选择好1工 作清单，2产品清单。数据导入后，就直接以什么炉子，炉子的温度设定，什么产品等与之匹配，就可以进行工艺分析了。 3． 如果仪器与电脑连好了，3的LED 亮， 否则灭。 4． 在3的LED 灭的情况下，4“上传数据 “是打不开的 1 2 3 4
四探针测试仪作业指导书
SDY-4型四探针测试仪作业指导书1.0 版本Rev. 编写人 Prepared by 编写日期 Prepared Date 审核人 Checked by 审核时间 Checked Date 批准人 Approved by 批准日期 Approved Date
目录 一. 目的 (003) 二. 范围 (003) 三. 职责 (003) 四. 名词定义 (003) 五. 内容 (003) 六. 安全 (005) 七．设备材料 (005) 八. 相关文件 (005) 九. 记录 (005)
1. 目的：规范四探针测试仪的操作与维修保养工作。 2. 范围：适用于车间内四探针测试仪的操作与维修保养工作。 3. 职责： 3.1 负责扩散后方块电阻的测试。 3.2 规范操作，为测试数据规范化提供依据。 3.3 负责发现扩散后硅片质量、工艺异常状况时的反映。 4名词定义： 4.1 SDY-4型四探针测试仪 5.内容: 5.1 仪器介绍： SDY-4型四探针测试仪是根据单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国A.S.T.M标准设计的半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)测试专用仪器.仪器以大规模集成电路为核心部件,采用平面轻触式开关控制,及各种工作状态LED指示.应用微计算机技术，利用HQ－710E型测量数据处理器，使得测量读数更加直观、快速，整套仪器体积小、功耗低、测量精度高、测试速度快、稳定性好、易操作。 本仪器可满足半导体材料、器件的研究生产单位对材料(棒材、片材)电阻率及扩散层、离子注入层、异型外延层和导电薄膜方块电阻测量的需要。 5.2 仪器电气原理如图（1）所示： 220V电滤波恒流电流选档样品 A/D 显示源滤波稳压换相控制测试转换 图(1)仪器电气原理框图
探针说明书
SZT-2C四探针测试仪 使用说明书 一概述 SZT-2C型数字式四探针测试仪是运用四线法测量原理的多用途综合测量装置，配上专用的四探针测试架，即可以测量片状，块状或柱状半导体材料的径向和轴向电阻率，测量扩散层的薄层电阻（亦称方块电阻）。四探针测试架有电动，手动，手持三种可以选配，另外还配有四个夹子的四线输入插头用来作为测量线状或片状电阻的中，低阻阻值。 仪器由主机，测试架等部份组成，测试结果由液晶显示器显示，同时，液晶显示器还显示测量类型（电阻率，方块电阻和电阻）;探头修正系数和温度值，用来监测仪器使用时的环境温度。 主机由开关电源，DC/DC变换器，高灵敏度电压测量部份，高稳定度恒流源，和微电脑控制系统组成。由於采用大规模集成电路，所以仪器可靠性高，测量稳定性好。 测试探头采用宝石导向轴套和高硬度钢针，定位准确，游移率小，使用寿命长。 仪器适用於半导体材料厂，半导体器件厂，科研单位，高等院校对半导体材料电阻性能的测试。 本仪器工作条件为： 使用温度：23℃±3℃ 相对湿度：50%~70%
工作室内应无强磁场干扰，不与高频设备共用电源， 二，技术参数 1，测量范围 电阻率： 10??-106?-cm 方块电阻 10??- 106?/□ 电阻 10-?- 106? 2，可测半导体材尺寸 直径：Ф5-250mm 长（或高）度：≤400mm（如配探笔可以测量任意长度）3，测量方位 轴向，径向均可 4，数字电压表： （1）量程：20mV,200mV,2V （2）误差：±%读数±2字 （3）输入阻抗:>10?? （4）最大分辨率:10μV （5）点阵液晶显示，过载显示。 5，恒流源： （1）电流输出：共分10μA,100uA,1mA,10mA,100mA六挡可通过按键选择，各挡均为定值不可调节，电阻率探头 修正系和扩散层方块电阻修正系数均由机内CPU运算 后，直接显示修正后的结果。
误码仪(Anritsu MP2101A)操作指导书
操 作 指 导 书 标题: 误码仪(Anritsu MP2101A)操作指导书 版 本：1.0 页 码：第 1 页 共7页 误码仪(Anritsu MP2101A )操作指导书 目录 一、版本控制............................................................................................. 2 二、目的 ..................................................................................................... 3 三、范围 ..................................................................................................... 3 四、内容 ..................................................................................................... 3 4.1、 接口介绍 .................................................................................. 3 4.2、操作界面介绍 ............................................................................. 4 4.2.1、开关机 ................................................................................ 4 4.2.2、设置PPG ............................................................................ 4 4.2.3、设置ED .............................................................................. 5 4.2.4、测试 .................................................................................... 6 五、注意事项 (7)
四探针说明书
SZT-2C 四探针测试仪 使用说明书 一概述 SZT-2C 型数字式四探针测试仪是运用四线法测量原理的多用途综合测量装置，配上专用的四探针测试架，即可以测量片状，块状或柱状半导体材料的径向和轴向电阻率，测量扩散层的薄层电阻（亦称方块电阻）。四探针测试架有电动，手动，手持三种可以选配，另外还配有四个夹子的四线输入插头用来作为测量线状或片状电阻的中，低阻阻值。 仪器由主机，测试架等部份组成，测试结果由液晶显示器显示，同时，液晶显示器还显示测量类型（电阻率，方块电阻和电阻）; 探头修正系数和温度值，用来监测仪器使用时的环境温度。 主机由开关电源，DC/DC变换器，高灵敏度电压测量部份，高稳定度恒流源，和微电脑控制系统组成。由於采用大规模集成电路，所以仪器可靠性高，测量稳定性好。 测试探头采用宝石导向轴套和高硬度钢针，定位准确，游移率小，使用寿命长。 仪器适用於半导体材料厂，半导体器件厂，科研单位，高等院校对半导体材料电阻性能的测试。 本仪器工作条件为： 使用温度：23C 士3C 相对湿度：50%~70% 工作室内应无强磁场干扰，不与高频设备共用电源，二，技术参数 1，测量范围
6 电阻率：10 ??-10 6? -cm 方块电阻10 ??- 10 6?/ □ 电阻10 -? - 10 6 ? 2 ，可测半导体材尺寸 直径：①5-250mm 长（或高）度：< 400mm如配探笔可以测量任意长度） 3，测量方位 轴向，径向均可 4，数字电压表： （1）量程：20mV,200mV,2V （2）误差：±0.1%读数±2字 （3）输入阻抗:>10 ?? （4）最大分辨率:10卩V （5）点阵液晶显示，过载显示。 5，恒流源： （1）电流输出：共分10卩A,100uA,1mA,10mA,100m>六挡可通过按键选择，各挡均为定值不可调节，电阻率探头修正系和 扩散层方块电阻修正系数均由机内CPU运算 后，直接显示修正后的结果。 (2)误差：士0.5%士2字，在使用1卩A恒流电流输 出时为± 0.5%± 5字 6, 四探针测试头; (1) 探针间距: 1mm
误码仪连接方法
******光电股份有限公司 SHENZHEN ****** CO.，LTD 新仪器设备操作规程 OPERATING RULE OF NEW INSTRUMENT & FACILITY 项目名称/产品型号： SUBJCT（MODEL）：BERT V8误码仪 项目阶段： SUBJCT PHASE： 拟制/日期： PREPARED BY/DATE：2008-7-28 审核/日期： CHECKED BY/DATE： 批准/日期： APPROVED BY/DATE：
第一部分BERT V8误码仪特性及功能介绍 1.1 介绍 该系统用于模块性能测试，由程控光衰减器、光功率计、示波器、测试板搭建的测试系统，可以测试模块灵敏度、突发时间、突发眼图、时钟眼图测试。 1.2 设备工作条件 采用交流220V供电，USB接口或者串口连接PC控制使用。 第二部分BERT V8误码仪测试系统操作规程 2.1目的 提高测试效率,降低生产成本 2.5开机前检查 1）检查电源是否连接正确，USB线是否连接PC。 2）按照测试功能检查误码仪与示波器、测试板的连接。 2.6开机程序 无特殊要求,设备开机稳定1分钟后,再启动软件 2.7操作顺序 1）开机完毕后，运行测试软件。 2）选择测试内容。灵敏度测试、突发。 3）按软件提示进行测试。 2.8关机程序 1）先退出软件程序。 2）然后关机和各仪器 1、光发电收IN+灵敏度（内/外时钟） OUT-输出电眼图 O I
2、光发电收IN-灵敏度（内/外时钟）（时钟是否要换极性？换掉）OUT+输出电眼图 O I 3、电发电收灵敏度（内外时钟;怎么方便怎么用） 光眼图 O I