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半导体简介

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《晶柱成长制程》

硅晶柱的长成,首先需要将纯度相当高的硅矿放入熔炉中,并加入预先设定好的金属物质,使产生出来的硅晶柱拥有要求的电性特质,接着需要将所有物质融化后再长成单晶的硅晶柱,以下将对所有晶柱长成制程做介绍。

长晶主要程序︰

融化(MeltDown)

此过程是将置放于石英坩锅内的块状复晶硅加热制高于摄氏1420度的融化温度之上,此阶段中最重要的参数为坩锅的位置与热量的供应,若使用较大的功率来融化复晶硅,石英坩锅的寿命会降低,反之功率太低则融化的过程费时太久,影响整体的产能。

颈部成长(Neck Growth)

当硅融浆的温度稳定之后,将<1.0.0>方向的晶种渐渐注入液中,接着将晶种往上拉升,并使直径缩小到一定(约6mm),维持此直径并拉长10-20cm,以消除晶种内的排差(dislocation),此种零排差(dislocation-free)的控制主要为将排差局限在颈部的成长。

晶冠成长(Crown Growth)

长完颈部后,慢慢地降低拉速与温度,使颈部的直径逐渐增加到所需的大小。

晶体成长(Body Growth)

利用拉速与温度变化的调整来迟维持固定的晶棒直径,所以坩锅必须不断的上升来维持固定的液面高度,于是由坩锅传到晶棒及液面的辐射热会逐渐增加,此辐射热源将致使固业界面的温度梯度逐渐变小,所以在晶棒成长阶段的拉速必须逐渐地降低,以避免晶棒扭曲的现象产生。

尾部成长(Tail Growth)

当晶体成长到固定(需要)的长度后,晶棒的直径必须逐渐地缩小,直到与液面分开,此乃避免因热应力造成排差与滑移面现象。

《晶柱切片后处理》

硅晶柱长成后,整个晶圆的制作才到了一半,接下必须将晶柱做裁切与检测,裁切掉头尾的晶棒将会进行外径研磨、切片等一连串的处理,最后才能成为一片片价值非凡的晶圆,以下将对晶柱的后处理制程做介绍。

切片(Slicing)

长久以来经援切片都是采用内径锯,其锯片是一环状薄叶片,内径边缘镶有钻石颗粒,晶棒在切片前预先黏贴一石墨板,不仅有利于切片的夹持,更可以避免在最后切断阶段时锯片离开晶棒所造的破裂。切片晶圆的厚度、弓形度(bow)及挠屈度(warp)等特性为制程管制要点。影响晶圆质量的因素除了切割机台本身的稳定度与设计外,锯片的张力状况及钻石锐利度的保持都有很大的影响。

圆边(Edge Polishing)

刚切好的晶圆,其边缘垂直于切割平面为锐利的直角,由于硅单晶硬脆的材料特性,此角极易崩裂,不但影响晶圆强度,更为制程中污染微粒的来源,且在后续的半导体制成中,未经处理的晶圆边缘也为影响光组与磊晶层之厚度,固须以计算机数值化机台自动修整切片晶圆的边缘形状与外径尺寸。

研磨(Lapping)

研磨的目的在于除去切割或轮磨所造成的锯痕或表面破坏层,同时使晶圆表面达到可进行抛光处理的平坦度。

蚀刻(Etching)

晶圆经前述加工制程后,表面因加工应力而形成一层损伤层(damaged layer),在抛光之前必须以化学蚀刻的方式予以去除,蚀刻液可分为酸性与碱性两种。

去疵(Gettering)

利用喷砂法将晶圆上的瑕疵与缺陷感到下半层,以利往后的.. IC制程。

抛光(Polishing)

晶圆的抛光,依制程可区分为边缘抛光与表面抛光两种

. 边缘抛光(Edge Polishing)

边缘抛光的主要目的在于降低微粒(particle)附着于晶圆的可能性,并使晶圆具备较佳的机械强度,但需要的设备昂贵且技术层面较高,除非各户要求,否则不进行本制程。..

. 表面抛光(Surface Polishing)

表面抛光是晶圆加工处理的最后一道步骤,移除晶圆表面厚度约10-20微米,其目的在改善前述制程中遗留下的微缺陷,并取得局部平坦度的极佳化,以满足IC制程的要求基本上本制程为化学-机械的反应机制,由研磨剂中的NaOH , KOH , NH4OH腐蚀晶圆的最表层,由机械摩擦作用提供腐蚀的动力来源。

《晶圆处理制程介绍》

基本晶圆处理步骤通常是晶圆先经过适当的清洗(Cleaning)之后,送到热炉管(Furnace)内,在含氧的环境中,以加热氧化(Oxidation)的方式在晶圆的表面形成一层厚约数百个的二氧化硅(SiO2)层,紧接着厚约1000到2000的氮化硅(Si3N4)层将以化学气相沈积(Chemical Vapor Deposition;CVP)的方式沈积(Deposition)在刚刚长成的二氧化硅上,然后整个晶圆将进行微影(Lithography)的制程,先在晶圆上上一层光阻(Photoresist),再将光罩上的图案移转到光阻上面。

接着利用蚀刻(Etching)技术,将部份未被光阻保护的氮化硅层加以除去,留下的就是所需要的线路图部份。接着以磷为离子源(Ion Source),对整片晶圆进行磷原子的植入(Ion Implantation),然后再把光阻剂去除(Photoresist Scrip)。制程进行至此,我们已将构成集成电路所需的晶体管及部份的字符线(Word Lines),依光罩所提供的设计图案,依次的在晶圆上建立完成,接着进行金属化制程(Metallization),制作金属导线,以便将各个晶体管与组件加以连接,而在每一道步骤加工完后都必须进行一些电性、或是物理特性量测,以检验加工结果是否在规格内(Inspection and Measurement);如此重复步骤制作第一层、第二层的电路部份,以在硅晶圆上制造晶体管等其他电子组件;最后所加工完成的产品会被送到电性测试区作电性量测。

根据上述制程之需要,FAB厂内通常可分为四大区:

1)黄光

本区的作用在于利用照相显微缩小的技术,定义出每一层次所需要的电路图,因为采用感光剂易曝光,得在黄色灯光照明区域内工作,所以叫做「黄光区」。..

2)蚀刻

经过黄光定义出我们所需要的电路图,把不要的部份去除掉,此去除的步骤就称之为蚀刻,因为它好像雕刻,一刀一刀的削去不必要不必要的木屑,完成作品,期间又利用酸液来腐蚀的,所以叫做「蚀刻区」。..

3)扩散

本区的制造过程都在高温中进行,又称为「高温区」,利用高温给予物质能量而产生运动,因为本区的机台大都为一根根的炉管,所以也有人称为「炉管区」,每一根炉管都有不同的作用。..

4)真空

本区机器操作时,机器中都需要抽成真空,所以称之为真空区,真空区的机器多用来作沈积暨离子植入,也就是在.. Wafer上覆盖一层薄薄的薄膜,所以又称之为「薄膜区」。在真空区中有一站称为晶圆允收区,可接受芯片的测试,针对我们所制造的芯片,其过程是否有缺陷,电性的流通上是否有问题,由工程师根据其经验与电子学上知识做一全程的检测,由某一电性量测值的变异判断某一道相关制程是否发生任何异常。此检测不同于测试区.. (Wafer Probe)的检测,前者是细部的电子特性测试与物理特性测试,后者所做的测试是针对产品的电性功能作检测。

《构装制程介绍》

随着IC产品需求量的日益提升,推动了电子构装产业的蓬勃发展。而电子制造技术的不断发展演进,在IC芯片「轻、薄、短、小、高功能」的要求下,亦使得构装技术不断推陈出新,以符合电子产品之需要并进而充分发挥其功能。构装之目的主要有下列四种:

(1)电力传送

(2)讯号输送

(3)热的去除

(4)电路保护

所有电子产品皆以「电」为能源,然而电力之传送必须经过线路之连接方可达成,IC构装即可达到此一功能。而线路连接之后,各电子组件间的讯号传递自然可经由这些电路加以输送。电子构装的另一功能则是藉由构装材料之导热功能将电子于线路间传递产生之热量去除,以避免IC芯片因过热而毁损。最后,IC构装除对易碎的芯片提供了足够的机械强度及适当的保护,亦避免了精细的集成电路受到污染的可能性。IC构装除能提供上述之主要功能之外,额外亦使.. IC产品具有优雅美观的外表并为使用者提供了安全的使用及简便的操作环境。

IC构装依使用材料可分为陶瓷(ceramic)及塑料(plastic)两种,而目前商业应用上则以塑料构装为主。以塑料构装中打线接合为例,其步骤依序为晶片切割(die saw)、黏晶(die mount / die bond)、焊线(wirebond)、封胶(mold)、剪切/成形(trim / form)、印字(mark)、电镀(plating)及检验(inspection)等。

以下依序对构装制程之各个步骤做一说明:

芯片切割(Die Saw)

芯片切割之目的为将前制程加工完成之晶圆上一颗颗之晶粒(die)切割分离。欲进

行芯片切割,首先必须进行晶圆黏片,而后再送至芯片切割机上进行切割。切割完后之晶粒井然有序排列于胶带上,而框架的支撑避免了胶带的皱折与晶粒之相互碰撞。

黏晶(Die Dond)

黏晶之目的乃将一颗颗之晶粒置于导线架上并以银胶(epoxy)黏着固定。黏晶完成后之导线架则经由传输设备送至弹匣(magazine)内,以送至下一制程进行焊线。

焊线(Wire Bond)

焊线乃是将晶粒上的接点以极细的金线(18~50μm)连接到导线架之内引脚,进而藉此将IC晶粒之电路讯号传输至外界。

封胶(Mold)

封胶之主要目的为防止湿气由外部侵入、以机械方式支持导线、内部产生热量之去除及提供能够手持之形体。其过程为将导线架置于框架上并预热,再将框架置于压模机上的构装模上,再以树脂充填并待硬化。

剪切/成形(Trim /Form)

剪切之目的为将导线架上构装完成之晶粒独立分开,并把不需要的连接用材料及部份凸出之树脂切除(dejunk)。成形之目的则是将外引脚压成各种预先设计好之形状,以便于装置于电路版上使用。剪切与成形主要由一部冲压机配上多套不同制程之模具,加上进料及出料机构所组成。

印字(Mark)

印字乃将字体印于构装完的胶体之上,其目的在于注明商品之规格及制造者等资讯。

检验(Inspection)

芯片切割之目的为将前制程加工完成之晶圆上一颗颗之检验之目的为确定构装完成之产品是否合于使用。其中项目包括诸如:外引脚之平整性、共面度、脚距、印字是否清晰及胶体是否有损伤等的外观检验。

《电子构装制造技术》..

IC芯片必须依照设计与外界之电路连接,才可正常发挥应有之功能。用于封装之材料主要可分为塑料(plastic)及陶瓷(ceramic)两种。其中塑料构装因成本低廉,适合大量生产且能够满足表面黏着技术之需求,目前以成为最主要的IC封装方式。而陶瓷构装之发展已有三十多年历史,亦为早期主要之构装方式。

由于陶瓷构装成本高,组装不易自动化,且在塑料构装质量及技术不断提升之情形下,大部份业者皆已尽量避免使用陶瓷构装。然而,陶瓷构装具有塑料构装无法比拟之极佳散热能力、可靠度及气密性,并可提供高输出/入接脚数,因此要求高功率及高可靠度之产品,如CPU、航天、军事等产品仍有使用陶瓷构装之必要性。

目前用于构装之技术,大概有以下数种。分别为「打线接合」、「卷带式自动接合」、「覆晶接合」等技术,分述如下:

打线接合(Wire Bonding)

打线接合是最早亦为目前应用最广的技术,此技术首先将芯片固定于导线架上,再以细金属线将芯片上的电路和导线架上的引脚相连接。而随着近年来其他技术的兴,打线接合技术正受到挑战,其市场占有比例亦正逐渐减少当中。但由于打线接合技术之简易性及便捷性,加上长久以来与之相配合之机具、设备及相关技术皆以十分成熟,因此短期内打线接合技术似乎仍不大容易为其他技术所淘汰。

卷带式自动接合(Tape Automated Bonding, TAB)

卷带式自动接合技术首先于1960年代由通用电子(GE)提出。卷带式自动接合制程,即是将芯片与在高分子卷带上的金属电路相连接。而高分子卷带之材料则以polyimide为主,卷带上之金属层则以铜箔使用最多。卷带式自动接合具有厚度薄、接脚间距小且能提供高输出/入接脚数等优点,十分适用于需要重量轻、体积小之IC产品上。

覆晶接合(Flip Chip)

覆晶式接合为IBM于1960年代中首先开发而成。其技术乃于晶粒之金属垫上生成焊料凸块,而于基版上生成与晶粒焊料凸块相对应之接点,接着将翻转之晶粒对准基版上之接点将所有点接合。覆晶接合具有最短连接长度、最佳电器特性、最高输出/入接点密度,且能缩小IC尺寸,增加单位晶圆产能,已被看好为未来极具潜力之构装方式。

《电子构装型态介绍》

构装型态构装名称常见应用产品..

Single In-Line

Package(SIP).. Power Transistor

Dual In-Line

Package(DIP).. SRAM, ROM, EPROM, EEPROM, FLASH, Microcontroller

Zig-Zag In-Line

Package(ZIP).. DRAM, SRAM

Small Outline

Package(SOP).. Linear, Logic, DRAM, SRAM

Plastic Leaded Chip

Carrier(PLCC).. 256K DRAM, ROM, SRAM, EPROM, EEPROM, FLASH, Microcontroller Small Outline

Package(SOJ).. DRAM, SRAM, EPROM, EEPROM, FLASH

Quad Flat

Package(QFP).. Microprocessor

Pin Grid

Array(PGA).. Microprocessor

各构装型态叙述如下:

(1) DIP(Dual In-Line Package)

它的引脚是长在IC的两边,而且是利用插件方式让.. IC与印刷电路板结合,有别于另一种适用于表面黏着技术的构装方式,这种构装的材料可以是塑料(Plastic)或陶瓷(Ceramic),因而有PDIP及CDIP之分,大部份64只脚以下的电子组件是利用这种构装型态包装的。

(2) SOP(Small Outline Package)

也有人称之为SOIC(Small Outline Integrated Circuit),跟.. DIP一样,大部分所使用的脚数仍被局限在64只脚以下,而大于44只脚以上的电子组件则是转往LCC或是QFP 等。SO系列型态包括有TSOP(Thin Small Outline Package)、TSSOP(Thin-Shrink Small Outline Package)、SSOP(Shrink Small Outline Package)、SOJ(Small Outline J-Lead)、QSOP(Quarter-Size Small Outline Package)以及MSOP(Miniature Small Outline Package)等。

(3) LCC(Leaded/Leadless Chip Carrier)

它的引脚不像前面的DIP或SO,脚是长在IC的两边,而是长在IC的四边周围,因此它的脚数要比前两者来的稍微多些,常用的脚数可以从20 ~96只脚不等,引脚的外观也有两种,一种是缩在里面,从外面看不到,另一种则是J型引脚(J-Lead),其被称之为QFJ(Quat Flat J-Lead Package)。

(4) PGA(Pin Grid Array)

其引脚的外观是针状的,因此它跟DIP一样也是用插件的方式与电路板结合,由于连接方式较不方便,因此随着QFP的进步,有些原本用 PGA构装的IC已经转往QFP发展。

(5) QFP(Quad Flat Package)..

QFP是一种高脚数、四边引脚的包装,它主导了大部份ASIC、逻辑 IC以及中低阶的微组件的主要包装型态,常见的QFP变化型还包括有 MQFP(Metric QFP)、MQUAD(Metal QFP)、TQFP(Thin QFP)等。

事实上,不同的IC产品,应其功能I/O数的需求及散热、按装等考虑,也会有其常用搭配的包装型式。

《半导体测试制程介绍》

测试制程乃是于IC构装后测试构装完成的产品之电性功能以保证出厂IC 功能上的完整性,并对已测试的产品依其电性功能作分类(即分Bin),作为 IC不同等级产品的评价依据;最后并对产品作外观检验(Inspect)作业。

电性功能测试乃针对产品之各种电性参数进行测试以确定产品能正常运作,用于测试之机台将根据产品不同之测试项目而加载不同之测试程序;而外观检验之项目繁多,且视不同之构装型态而有所不同,包含了引脚之各项性质、印字(mark)之清晰度及胶体(mold)是否损伤等项目。而随表面黏着技术的发展,为确保构装成品与基版间的准确定位及完整密合,构装成品接脚之诸项性质之检验由是重要。以下将对测试流程做一介绍

上图为半导体产品测试之流程图,其流程包括下面几道作业:

1.上线备料

上线备料的用意是将预备要上线测试的待测品,从上游厂商送来的包箱内拆封,并一颗颗的放在一个标准容器(几十颗放一盘,每一盘可以放的数量及其容器规格,依待测品的外形而有不同)内,以利在上测试机台(Tester)时,待测品在分类机(Handler)内可以将待测品定位,而使其内的自动化机械机构可以自动的上下料。..

2.测试机台测试(FT1、FT2、FT3)

待测品在入库后,经过入库检验及上线备料后,再来就是上测试机台去测试;如前述,测试机台依测试产品的电性功能种类可以分为逻辑IC测试机、内存IC测试机及混合式IC(即同时包含逻辑线路及模拟线)测试机三种,测试机的主要功能在于发出待测品所需的电性讯号并接受待测品因此讯号后所响应的电性讯号并作出产品电性测试结果的判断当然这些在测

试机台内的控制细节,均是由针对此一待测品所写之测试(,) 程序(Test Program)来控制。即使是同一类的测试机,因每种待测品其产品的电性特性及测试机台测试能力限制而有所不同。一般来说,待测品在一家测试厂中,会有许多适合此种产品电性特性的测试机台可供其选择;除了测试机台外,待测品要完成电性测试还需要一些测试配件:

1)分类机(Handler)

承载待测品进行测试的自动化机械结构,其内有机械机构将待测品一颗颗从标准容器内自动的送到测试机台的测试头(Test Head)上接受测试,测试的结果会从测试机台内传到分类机内,分类机会依其每颗待测品的电性测试结果来作分类(此即产品分Bin)的过程;此外分类机内有升温装置,以提供待测品在测试时所需测试温度的测试环境,而分类机的降温则一般是靠氮气,以达到快速降温的目的。

不同的Handler、测试机台及待测品的搭配下,其测试效果会有所同,因此对测试产品而言,对可适用的Handler与Tester就会有喜好的选择现象存在。测试机台一般会有很多个测试头(Test Head),个数视测试机台的机型规格而定,而每个测试头同时可以上一部分类机或针测机,因此一部测试机台可以同时的与多台的分类机及针测机相连,而依连接的方式又可分为平行处理,及乒乓处理,前者指的是在同一测试机台上多台分类机以相同的测试程试测试同一批待测品,而后者是在同一测试机台上多台分类机以不同的测试程序同时进行不同批待测品的测试。..

2)测试程序(Test Program)

每批待测产品都有在每个不同的测试阶段(FT1、FT2、FT3),如果要上测试机台测试,都需要不同的测试程序,不同品牌的测试机台,其测试程序的语法并不相同,因此即使此测试机台有能力测试某待测品,但却缺少测试程序,还是没有用;一般而言,因为测试程序的内容与待测品的电性特性息息相关,所以大多是客户提供的。..

3)测试机台接口

这是一个要将待测品接脚上的讯号连接上测试机台的测试头上的讯号传送接点的一个转换介,此转换接口,依待测品的电性特性及外形接脚数的不同而有很多种类,如:Hi-Fix (内存类产品)、Fixture Board(逻辑类产品)、Load Board(逻辑类产品)、Adopt Board + DUT Board(逻辑类产品)、Socket(接脚器,依待测品其接脚的分布位置及脚数而有所不同)。每批待测品在测试机台的测试次数并不相同,这完全要看客户的要求,一般而言逻辑性的产品,只需上测试机台一次(即FT2)而不用.. FT1 、FT3,如果为内存.. IC则会经过二至三次的测试,而每次的测试环境温度要求会有些不同,测试环境的温度选择,有三种选择,即高温、常温及低温,温度的度数有时客户也会要求,升温比降温耗时许多,而即于那一道要用什么温度,这也视不同客户的不同待测品而有所不同。

每次测试完,都会有测试结果报告,若测试结果不佳,则可能会产生Hold住本批待测品的现象产生。..

3.预烧炉(Burn-In Oven)(测试内存.. IC才有此程序)

在测试内存性产品时,在FT1之后,待测品都会上预烧炉里去Burn In,其目的在于提供待测品一个高温、高电压、高电流的环境,使生命周期较短的待测品在Burn In的过程中提早的显现出来,在Burn In后必需在96个小时内待测品Burn In物理特性未消退之前完成后续测试机台测试的流程,否则就要将待测品种回预烧炉去重新Burn In。在此会用到的配件包括Burn-In Board及Burn In Socket..等。

4.电性抽测

在每一道机台测试后,都会有一个电性抽测的动作(俗称.. QC或.. Q货),此作业的目的在将此完成测试机台测试的待测品抽出一定数量,重回测试机台在测试程序、测试机台、测试温度都不变下,看其测试结果是否与之前上测试机台的测试结果相一致,若不一致,则有可能是测试机台故障、测试程序有问题、测试配件损坏、测试过程有瑕疵..等原因,原因小者,则需回测试机台重测,原因大者,将能将此批待测品Hold住,等待工程师、生管人员与客户协调后再作决策。

5.卷标扫描(Mark Scan)

利用机械视觉设备对待测品的产品上的产品Mark作检测,内容包括Mark的位置歪斜度及内容的清晰度等。

6.人工检脚或机器检脚

检验待测品IC的接脚的对称性、平整性及共面度等,这部份作业有时会利用雷射扫描的方式来进行,也会有些利用人力来作检验。..

7.检脚抽检与弯脚修整

对于弯脚品,会进行弯脚品的修复作业,然后再利用人工进行检脚的抽验。..

8.加温烘烤(Baking)

在所有测试及检验流程之后,产品必需进烘烤炉中进行烘烤,将待测品上水气烘干,使产品在送至客户手中之前不会因水气的腐蚀而影响待测品的质量。..

9.包装(Packing)

将待测品依其客户的指示,将原来在标准容器内的待测品的分类包装成客户所指定的包装容器内,并作必要的包装容器上之商标粘贴等。..

10.出货的运送作业

由于最终测试是半导体IC制程的最后一站,所以许多客户就把测试厂当作他们的成品仓库,以避免自身工厂的成品存放的管理,另一方面也减少不必要的成品搬运成本,因此针

对客户的要求,测试厂也提供所谓的「Door to Door」的服务,即帮助客户将测试完成品送至客户指定的地方(包括客户的产品买家),有些客户指的地点在海外者,便需要考虑船期的安排,如果在国内者,则要考虑货运的安排事宜。

《晶圆针测制程介绍》

晶圆针测(Chip Probing;CP)之目的在于针对芯片作电性功能上的测试(Test),使 IC 在进入构装前先行过滤出电性功能不良的芯片,以避免对不良品增加制造成本。

半导体制程中,针测制程只要换上不同的测试配件,便可与测试制程共享相同的测试机台(Tester)。所以一般测试厂为提高测试机台的使用率,除了提供最终测试的服务亦接受芯片测试的订单。以下将此针测制程作一描述。

上图为晶圆针测之流程图,其流程包括下面几道作业:

(1)晶圆针测并作产品分类(Sorting)

晶圆针测的主要目的是测试晶圆中每一颗晶粒的电气特性,线路的连接,检查其是否为不良品,若为不良品,则点上一点红墨水,作为识别之用。除此之外,另一个目的是测试产品的良率,依良率的高低来判断晶圆制造的过程是否有误。良品率高时表示晶圆制造过程一切正常,若良品率过低,表示在晶圆制造的过程中,有某些步骤出现问题,必须尽快通知工程师检查。

(2)雷射修补(Laser Repairing)

雷射修补的目的是修补那些尚可被修复的不良品(有设计备份电路在其中者),提高产品的良品率。当晶圆针测完成后,拥有备份电路的产品会与其在晶圆针测时所产生的测试结果数据一同送往雷射修补机中,这些数据报括不良品的位置,线路的配置等。雷射修补机的控制计算机可依这些资料,尝试将晶圆中的不良品修复。

(3)加温烘烤(Baking)

加温烘烤是针测流程中的最后一项作业,加温烘烤的目的有二:

(一)将点在晶粒上的红墨水烤干。

(二)清理晶圆表面。经过加温烘烤的产品,只要有需求便可以出货。

《半导体测试生产管理特性》

我国半导产业为一个垂直分工十分细腻且资本密集、技术密集的特殊产业,而IC测试厂则属于这整个垂直分工体系的下游产业。正由于这种环环相扣的分工体系,使半导体产业对外在环境的变动影响十分敏感。例如某个晶圆制造厂的短时间意外跳电,影响晶圆产出,这便会在两三天后造成下游产业的剧烈变动,因此在这个产业中,无论是上游厂家或下游厂家,都有着「不要把所有鸡蛋放于同一篮」的风险分散心态,以测试厂本身的心态来说,其服务对象绝不仅限于几家固定的客户上。为了分散货源,避免上游主要客户临时发生问题(如一些天灾、人祸所造成产品无法如期出货)使测试厂无货可测的危机,都会积极的争取任何一张可能的订单,不错失任何增加新客户的机会。

测试厂因为位于整个IC产业中的下游,其接单比较类似于买方市场导向型式,即对上游厂家并没有太大的约束力,测试厂只能随时等待上游厂商将待测品送来,而无法更进一步要求上游厂商何时送来。

下面是将IC测试厂的共通的生产管理特性经汇总后,列点描述。

一、没有属于自己产品的制造服务业

测试厂本身并不生产制造东西,它并没有自己的产品,而是以接订单的方式来贩卖工厂产能,它的系统行为主要是对上游厂商送来的待测产品进行「电性功能上的测试」(前段测试流程)及「外观上的检验」(后段测试流程),本质上是属于服务业的,有着服务业里顾客要求至上的营业精神在其中,上游厂商的待测品来到时点并无限制,24小时都可以入库,而测试厂现场也是采取四二轮的工作方式,24小时的在进行测试作业。

由于本产业并无自己的产品,在厂中流动的产品也都是顾客提供的,其机台服务产能无法以「半成品」型态保存。因此传统以物料需求计划(MRP)为核心的生产规划方式无法直接应用于本产业。

二、以接订单的方式进行测试服务

测试厂是以接订单的方式来进服务,在厂内的测试流程中,物流的移动也是以测试批为单位,而测试批的大小并不一致。但出货时却有两种不同的作法,一是以测试批为单位来出货,一是以待测品良品数来发货;后者发生的主因在于测试厂是位于整个IC制造流程里最后一站,因而有些客户便它视为发货中心(仓库),当客户有任何发货的需求时,便通知测试厂,要求在何时何地要什么产品多少颗,此时测试厂出货时便要以产品的良品颗数为出货单位处理,在生管排程的处理上,此时在进行测试批测试时,便要可量此测试批的历史良率值当作「投料数量」的参考,以确保完测的良品IC数达到所需要求。

三、注重客户多样化的服务

IC测试是一个以满足客户要求为主的买方市场产业,而为使测试厂能实时的满足各个客户不同的需求(包括各式的出货包装、出货运送型式、测试流程调整变动等),又要同时顾及本身营运的效率为竞争力,必须在厂内包括测试流程、管理体制、产能及人力调度都要保持高度的弹性,当然这对于测试的生产管理是一大挑战。

四、测试批测试流程的多样性

测试批的测试流程,随着测试品的.. IC产品特性不同,其测试时所需要的测试机台、测试程序、测试配件(Handler/Loadboard)等及所需的测试作业项目都不尽相同,这些测试流程,随着客户的需求而调整,因此各个测试批虽属同一个测试产品,但可能会拥有不同的测试流程。因此在测试厂内,以测试批为单位,每个测试批均会拥有一张「流程卡」,说明此测试批的所有测试流程作业,此卡会随着测试批在厂内移动,在其上会记载着此测试批测试的所有过程及测试结果,它在现厂为一个重要的物流移动通行证,而对管理者及工程师为言,也反应出此测试批的测试过,为诊断测试批测试结果有异常现象时,提供很好的判断讯息。

五、待测品Lot的大小,在客户同意前,不能任意分割或合并

待测品Lot的大小,取快于客户对于此批待测品是否看重测试品测试结果的认证,因为如要准确的收集同一个Lot生产IC的良率,需使此批在测试时的各种测试环境(包括使用同一台测试机台、同一台Handler等),也因此客户会很清楚的告诉厂方不可任意的分割他们送来的测试批大小(国外客户一般均会作此要求)。但如果客户只是专注于挑出Lot中的不同电性的IC,则便会同意分批的动作,也就是一个很大的Lot可以任由生管人员视现场状况,分解成数小批,同时在现场进行测试,

当然比较下,分批后,原Lot测试结果的质量认证较为困难,但相对的,因为Lot比小,因此在生产排程时,有着较大的弹性,可使测试批的完测时间缩短。

六、测试批有Hold的现象存在,而造成测试批流程相依于测试结果

测试批的流程并非在流程卡定出后,便一成不变的,测试厂实际上便是在帮客户作IC

品管把关的工作,当一批产品在测试完后,其良率不及预期设定的标准时,为确认此测试结果的发生原因,便须将此测试批Hold住,集结各个相关单位及客户,共同商议及确认其测试结果。当现场有测试批被Hold住后,一般会被滞留在原处等候管理单位与客户接洽,决定其处置方式。当产品被Hold住且经过相关单位的工程分析及与客户之间的互动评估之后,原来测试批的测试流程会被改变,其改变一般会有三种可能:

(一)如果是在测试机台(Tester)处被Hold住,则可能换测试软件,然后重新进入测试机台内进行测试。

(二)待测品不再继续原本预定的测试流程,而直接出货回到客户处。

(三)待测品继续后面的测试,不过原本的测试流程已被更动成新的测试流程。

产品被Hold住之后,无法预估会被Hold住多久,在逻辑IC测试厂的最终测试流程中,大部分的Hold的现象发生在测试机台在对待测品进行电性测试之后。由于测试流程相依于测试结果,因此在前段流程结束前,厂方和客户是用待测品在正常状态下(不被Hold住)完成测试流程的时间(即Cycle Time)来决定订单的交期时间,其Cycle Time愈短,竞争力愈好。

七、在测试厂中的最终测试流程中,可将流程分成前段测试流程及后段测试流程

如果把测试流程从测试机台处区分成前段流程与后段流程的话,可以发现:

(一)前段测试流程是属于利用测试机台来测试产品的电子功能特性的正常与否,而后段则属于产品外观上的检测部分。

(二)前段测试流程为有回流现象的Job-Shop模式,而后段测试流程则属于不纯粹(Unpure)的 Flow-Shop模式。

(三)在前段测试流程,测试产品被Hold住的情况比较多而发现机会也比较大。

(四)前段测试流程的测试机台非常的贵(一台通常要上亿台币)相较之下,后段测试流程的机台就便宜很多。

(五)在前段测试流程里,存在设定程序相依问题。

八、测试厂的生管人员负责订单的接洽、排程及跟催,责任繁重

目前在这个产业中,生管人员一般都充当销售人员,直接与客户接洽、接订单并且以类似项目管理的方式,一位生管人员负责几家客户,这几家客户的待测品就由此位生管人员全权负责(这其中包括了待测品上线测试的排程安排,拿测试结果与客户讨论,敲定出货日期、跟催等)。而在测试品现场派工方面,生管人员则要在在满足与客户协议的交期前提下,尽量提高机台使用率、缩短测试流动时间为排程目标。

常用半导体器件复习题

第1章常用半导体器件 一、判断题(正确打“√”,错误打“×”,每题1分) 1.在N型半导体中,如果掺入足够量的三价元素,可将其改型成为P型半导体。()2.在N型半导体中,由于多数载流子是自由电子,所以N型半导体带负电。()3.本征半导体就是纯净的晶体结构的半导体。() 4.PN结在无光照、无外加电压时,结电流为零。() 5.使晶体管工作在放大状态的外部条件是发射结正偏,且集电结也是正偏。()6.晶体三极管的β值,在任何电路中都是越大越好。( ) 7.模拟电路是对模拟信号进行处理的电路。( ) 8.稳压二极管正常工作时,应为正向导体状态。( ) 9.发光二极管不论外加正向电压或反向电压均可发光。( ) 10.光电二极管外加合适的正向电压时,可以正常发光。( ) 一、判断题答案:(每题1分) 1.√; 2.×; 3.√; 4.√; 5.×; 6.×; 7.√; 8.×; 9.×; 10.×。

二、填空题(每题1分) 1.N型半导体中的多数载流子是电子,P型半导体中的多数载流子是。2.由于浓度不同而产生的电荷运动称为。 3.晶体二极管的核心部件是一个,它具有单向导电性。 4.二极管的单向导电性表现为:外加正向电压时,外加反向电压时截止。5.三极管具有放大作用的外部条件是发射结正向偏置,集电结偏置。6.场效应管与晶体三极管各电极的对应关系是:场效应管的栅极G对应晶体三极管的基极b,源极S对应晶体三极管,漏极D对应晶体三极管的集电极c。7.PN结加正向电压时,空间电荷区将。 8.稳压二极管正常工作时,在稳压管两端加上一定的电压,并且在其电路中串联一支限流电阻,在一定电流围表现出稳压特性,且能保证其正常可靠地工作。 9.晶体三极管三个电极的电流I E 、I B 、I C 的关系为:。 10.发光二极管的发光颜色决定于所用的,目前有红、绿、蓝、黄、橙等颜色。 二、填空题答案:(每题1分) 1.空穴 2.扩散运动 3.PN结 4.导通 5.反向 6.发射机e 7.变薄 8.反向 9.I E =I B +I C 10.材料 三、单项选择题(将正确的答案题号及容一起填入横线上,每题1分)

中科大半导体器件原理考试重点

《半导体器件原理》课程复习提纲 2017.12 基础:半导体物理、半导体器件的基本概念、物理效应。 重点:PN结、金半结、双极型晶体管、JFET、MESFET、MOSFET。根据物理效应、物理方程、实验修正等,理解半导体器件的工作原理和特性曲线,掌握器件的工作方程和各种修正效应,了解器件的参数意义,能够进行器件设计、优化、应用、仿真与建模等。 第一章:半导体物理基础 主要内容包括半导体材料、半导体能带、本征载流子浓度、非本征载流子、本征与掺杂半导体、施主与受主、漂移扩散模型、载流子输运现象、平衡与非平衡载流子。 半导体物理有关的基本概念,质量作用定律,热平衡与非平衡、漂移、扩散,载流子的注入、产生和复合过程,描述载流子输 运现象的连续性方程和泊松方程。(不作考试要求) 第二章:p-n结 主要内容包括热平衡下的p-n结,空间电荷区、耗尽区(耗尽层)、内建电场等概念,p-n结的瞬态特性,结击穿,异质结与高低结。 耗尽近似条件,空间电荷区、耗尽区(耗尽层)、内建电势等概念,讨论pn结主要以突变结(包括单边突变结)和线性缓变结为例,电荷分布和电场分布,耗尽区宽度,势垒电容和扩散电容的概念、定义,直流特性:理想二极管IV方程的推导;

对于考虑产生复合效应、大注入效应、温度效应对直流伏安特性的简单修正。PN的瞬态特性,利用电荷控制模型近似计算瞬变时间。结击穿机制主要包括热电击穿、隧道击穿和雪崩击穿。要求掌握隧道效应和碰撞电离雪崩倍增的概念,雪崩击穿条件,雪崩击穿电压、临界击穿电场及穿通电压的概念,异质结的结构及概念,异质结的输运电流模型。高低结的特性。 第三章:双极型晶体管 主要内容包括基本原理,直流特性,频率响应,开关特性,异质结晶体管。 晶体管放大原理,端电流的组成,电流增益的概念以及提高电流增益的原则和方法。理性晶体管的伏安特性,工作状态的判定,输入输出特性曲线分析,对理想特性的简单修正,缓变基区的少子分布计算,基区扩展电阻和发射极电流集边效应,基区宽度调制,基区展宽效应,雪崩倍增效应,基区穿通效应,产生复合电流和大注入效应,晶体管的物理模型E-M模型和电路模型G-P 模型。跨导和输入电导参数,低频小信号等效电路和高频等效电路,频率参数,包括共基极截止频率fα和共射极截止频率fβ的定义,特征频率f T的定义,频率功率的限制,其中少子渡越基区时间,提高频率特性的主要措施。开关特性的参数定义,开关时间的定义和开关过程的描述,利用电荷控制方程简单计算开关时间。 开关晶体管中最重要的参数是少子寿命。异质结双极型晶体管的结构及优点。

半导体产业介绍

半导体整个生态链 主要分为:前端设计(design),后端制造(mfg)、封装测试(package),最后投向消费市场。 不同的厂商负责不同的阶段,环环相扣,最终将芯片集成到产品里,销售到用户手中。半导体厂商也分为2大类,一类是IDM (Integrated Design and Manufacture),包含设计、制造、封测全流程,如Intel、TI、Samsung这类公司;另外一类是Fabless,只负责设计,芯片加工制造、封测委托给专业的Foundry,如华为海思、展讯、高通、MTK(台湾联发科)等。 前端设计是整个芯片流程的“魂”,从承接客户需求开始,到规格、系统架构设计、方案设计,再到Coding、UT/IT/ST(软件测试UT:unit testing 单元测试IT: integration testing 集成测试ST:system testing 系统测试),提交网表(netlist或称连线表,是指用基础的逻辑门来描述数字电路连接情况的描述方式)做Floorplan,最终输出GDS(Graphics Dispaly System)交给Foundry做加工。由于不同的工艺Foundry提供的工艺lib库不同,负责前端设计的工程师要提前差不多半年,开始熟悉工艺库,尝试不同的Floorplan设计,才能输出Foundry想要的GDS。 后端制造是整个芯片流程的“本”,拿到GDS以后,像台积电,就是Foundry 厂商,开始光刻流程,一层层mask光刻,最终加工厂芯片裸Die。 封装测试是整个芯片流程的“尾”,台积电加工好的芯片是一颗颗裸Die,外面没有任何包装。从晶圆图片,就可以看到一个圆圆的金光闪闪的东西,上面横七竖八的划了很多线,切出了很多小方块,那个就是裸Die。裸Die是不能集成到手机里的,需要外面加封装,用金线把芯片和PCB板连接起来,这样芯片才能真正的工作。 台积电是目前Foundry中的老大,华为麒麟系列芯片一直与台积电合作,如麒麟950就是16nm FF+工艺第一波量产的SoC芯片。 半导体行业的公司具主要分为四类: 集成器件制造商IDM (Integrated Design and Manufacture):指不仅设计和销售微芯片,也运营自己的晶圆生产线。Intel,SAMSUNG(三星),东芝,ST(意法半导体),Infineon(英飞凌)和NXP(恩智浦半导体)。 无晶圆厂供应商Fabless:公司自己开发和销售半导体器件,但把芯片转包给独立的晶圆代工厂生产。例如:Altera(FPL),爱特(FPL),博通(网路器件),CirrusLogicCrystal(音频,视频芯片),莱迪思(FPL),英伟达(FPL),

半导体工艺主要设备大全

清洗机超音波清洗机是现代工厂工业零件表面清洗的新技术,目前已广泛应用于半导体硅 片的清洗。超声波清洗机“声音也可以清洗污垢”——超声波清洗机又名超声波清洗器,以其洁净的清洗效果给清洗界带来了一股强劲的清洗风暴。超声波清洗机(超声波清洗器)利用空化效应,短时间内将传统清洗方式难以洗到的狭缝、空隙、盲孔彻底清洗干净,超声波清洗机对清洗器件的养护,提高寿命起到了重要作用。CSQ 系列超声波清洗机采用内置式加热系统、温控系统,有效提高了清洗效率;设置时间控制装置,清洗方便;具有频率自动跟踪功能,清洗效果稳定;多种机型、结构设计,适应不同清洗要求。CSQ 系列超声波清洗机适用于珠宝首饰、眼镜、钟表零部件、汽车零部件,医疗设备、精密偶件、化纤行业(喷丝板过滤芯)等的清洗;对除油、除锈、除研磨膏、除焊渣、除蜡,涂装前、电镀前的清洗有传统清洗方式难以达到的效果。恒威公司生产CSQ 系列超声波清洗机具有以下特点:不锈钢加强结构,耐酸耐碱;特种胶工艺连接,运行安全;使用IGBT 模块,性能稳定;专业电源设计,性价比高。反渗透纯水机去离子水生产设备之一,通过反渗透原理来实现净水。 纯水机清洗半导体硅片用的去离子水生产设备,去离子水有毒,不可食用。 净化设备主要产品:水处理设备、灌装设备、空气净化设备、净化工程、反渗透、超滤、电渗析设备、EDI 装置、离子交换设备、机械过滤器、精密过滤器、UV 紫外线杀菌器、臭氧发生器、装配式洁净室、空气吹淋室、传递窗、工作台、高校送风口、空气自净室、亚高、高效过滤器等及各种配件。 风淋室:运用国外先进技术和进口电器控制系统, 组装成的一种使用新型的自动吹淋室.它广 泛用于微电子医院制药生化制品食品卫生精细化工精密机械和航空航天等生产和科研单位,用于吹除进入洁净室的人体和携带物品的表面附着的尘埃,同时风淋室也起气的作用 防止未净化的空气进入洁净区域,是进行人体净化和防止室外空气污染洁净的有效设备. 抛光机整个系统是由一个旋转的硅片夹持器、承载抛光垫的工作台和抛光浆料供给装置三大部分组成。化学机械抛光时,旋转的工件以一定的压力压在旋转的抛光垫上,而由亚微米或纳米磨粒和化学溶液组成的抛光液在工件与抛光垫之间流动,并产生化学反应,工件表面形成的化学反应物由磨粒的机械作用去除,即在化学成膜和机械去膜的交替过程中实现超精密表面加工,人们称这种CMP 为游离磨料CMP 。 电解抛光电化学抛光是利用金属电化学阳极溶解原理进行修磨抛光。将电化学预抛光和机械精抛光有机的结合在一起,发挥了电化学和机构两类抛光特长。它不受材料硬度和韧性的限制,可抛光各种复杂形状的工件。其方法与电解磨削类似。导电抛光工具使用金钢石导电锉或石墨油石,接到电源的阴极,被抛光的工件(如模具)接到电源的阳极。 光刻胶又称光致抗蚀剂,由感光树脂、增感剂(见光谱增感染料)和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的混合液体。感光树脂经光照后,在曝光区能很快地发生光固化反应,使得这种材料的物理性能,特别是溶解性、亲合性等发生明显变化。经适当的溶剂处理,溶去可溶性部分,得到所需图像(见图光致抗蚀剂成像制版过程)。光刻胶广泛用于印刷电路和集成电路的制造以及印刷制版等过程。光刻胶的技术复杂,品种较多。根据其化学反应机理和显影原理,可分负性胶和正性胶两类。光照后形成不可溶物质的是负性胶;反之,对某些溶剂是不可溶的,经光照后变成可溶物质的即为正性胶。利用这种性能,将光刻胶作涂层,就能在硅片表面刻蚀所需的电路图形。基于感光树脂的化学结构,光刻胶可以分为三种类型。①光聚合型,采用烯类单体,在光作用下生成自由基,自由基再进一步引发 单体聚合,最后生成聚合物,具有形成正像的特点。②光分解型,采用含有叠氮醌类化合

半导体材料课程教学大纲

半导体材料课程教学大纲 一、课程说明 (一)课程名称:半导体材料 所属专业:微电子科学与工程 课程性质:专业限选 学分: 3 (二)课程简介:本课程重点介绍第一代和第二代半导体材料硅、锗、砷化镓等的制备基本原理、制备工艺和材料特性,介绍第三代半导体材料氮化镓、碳化硅及其他半导体材料的性质及制备方法。 目标与任务:使学生掌握主要半导体材料的性质以及制备方法,了解半导体材料最新发展情况、为将来从事半导体材料科学、半导体器件制备等打下基础。 (三)先修课程要求:《固体物理学》、《半导体物理学》、《热力学统计物理》; 本课程中介绍半导体材料性质方面需要《固体物理学》、《半导体物理学》中晶体结构、能带理论等章节作为基础。同时介绍材料生长方面知识时需要《热力学统计物理》中关于自由能等方面的知识。 (四)教材:杨树人《半导体材料》 主要参考书:褚君浩、张玉龙《半导体材料技术》 陆大成《金属有机化合物气相外延基础及应用》 二、课程内容与安排 第一章半导体材料概述 第一节半导体材料发展历程 第二节半导体材料分类 第三节半导体材料制备方法综述 第二章硅和锗的制备 第一节硅和锗的物理化学性质 第二节高纯硅的制备 第三节锗的富集与提纯

第三章区熔提纯 第一节分凝现象与分凝系数 第二节区熔原理 第三节锗的区熔提纯 第四章晶体生长 第一节晶体生长理论基础 第二节熔体的晶体生长 第三节硅、锗单晶生长 第五章硅、锗晶体中的杂质和缺陷 第一节硅、锗晶体中杂质的性质 第二节硅、锗晶体的掺杂 第三节硅、锗单晶的位错 第四节硅单晶中的微缺陷 第六章硅外延生长 第一节硅的气相外延生长 第二节硅外延生长的缺陷及电阻率控制 第三节硅的异质外延 第七章化合物半导体的外延生长 第一节气相外延生长(VPE) 第二节金属有机物化学气相外延生长(MOCVD) 第三节分子束外延生长(MBE) 第四节其他外延生长技术 第八章化合物半导体材料(一):第二代半导体材料 第一节 GaAs、InP等III-V族化合物半导体材料的特性第二节 GaAs单晶的制备及应用 第三节 GaAs单晶中杂质控制及掺杂 第四节 InP、GaP等的制备及应用 第九章化合物半导体材料(二):第三代半导体材料 第一节氮化物半导体材料特性及应用 第二节氮化物半导体材料的外延生长 第三节碳化硅材料的特性及应用 第十章其他半导体材料

半导体技术应聘个人简历模板

半导体技术应聘个人简历 姓名:郭先生现所在地:广东东莞 身51112119*********59 高:170CM 证件:体12月06重:日58Kg 出生年月:1982年民族:汉族性别:男 工作经验:3 婚姻状况:未婚年 眉山户籍:四川 求职意向 意向岗位:半导体技术要求地区:市中心区,东莞,惠州 月薪要求:4500-5999 工作性质:全职 食宿要求:包食宿发展方向:技术加管理 教育经历 2004年09月~2007年07月江西蓝天学院机电一体化大专 2001年09月~2004年07月富加高中校理科高中 语言能力 英语(良好) 技能专长 计算机级别:高校非计算机专业二级 计算机能力: 熟练掌握计算机基础知识,具有一定计算机编程和绘图能力,掌握各种计算机绘图软件AUTOCAD、PHOTOSHOP等。 兴趣/爱好:团体运动(如:篮球,足球等) 工作经历 【NX*********公司】 职位名称:设备工程师助理 公司行业:电子·微电子 公司性质:外资企业 公司规模:1000人以上

公司描述: NXP 是一家新近独立的半导体公司,由飞利浦公司创立,已拥有五十年的悠久历消费类电子、安为移动通信、史,主要提供工程师与设计人员各种半导体产品与软件, 全应用、非接触式付费与连线,以及车内娱乐与网络等产品带来更优质的感知体验。 NXP半导体广东有限公司成立于2006年10月,简称APG. 前身为飞利浦半导体(广东)有限公司,是由飞利浦电子集团公司创办的中国第一家全独资半导体项目 工作描述: 1.协助设备工程师改进设备并处理解决设备在生产过程中出现的问题,提高设备利用率。 2.设备在大修过程中,对设备进行跟进及实施处理办法。 3.对新进技术员进行设备的维护维修培训. 4.指导技术员对设备正确的规范的对设备进行定期的维护. 5.带领团队完成公司规定的各行指标(如:PPM Downtime等) 6.保持团队的凝集力,达到经验与技术共享,共同进步。 7.及时与生产部沟通,了解生产进度,配合生产部保质,保量,保时的完成生产任务。 【俊伟*********公司】 职位名称:PMC/SMT技术员 公司行业:五金·金属制品 公司性质:港资企业 公司规模:1000人以上 公司描述: 该公司主要是生产与加工汽车的各种零件,公司员工有1500人左右,产品主要销往欧美,是及产品开发生产与销售一体. 工作描述: 该公司主要是生产加工汽车零件,我在该厂做工程部技术员,主要为工程师做样板,以及解决样板中出现的一些小问题,如:水口过大,披风过长等. 自我评价 为人刻苦努力勤奋,有自己独特的思维能力和广泛的交际能力。在过去的工作中,凭自己扎实的理论基础和熟练的动手能力,在工作中得到上司和同事的好评,使自己对半导体生产设备有了系统的认识,目前,对半导体行业各种设备可以作系统的安装,调试及在线维护。工作上,积极认真,责任心强,适应能力快且愿意接受任何工作的挑战,更希望在各种工作中提高自己。.

常用半导体器件

第4章常用半导体器件 本章要求了解PN结及其单向导电性,熟悉半导体二极管的伏安特性及其主要参数。理解稳压二极管的稳压特性。了解发光二极管、光电二极管、变容二极管。掌握半导体三极管的伏安特性及其主要参数。了解绝缘栅场效应晶体管的伏安特性及其主要参数。 本章内容目前使用得最广泛的是半导体器件——半导体二极管、稳压管、半导体三极管、绝缘栅场效应管等。本章介绍常用半导体器件的结构、工作原理、伏安特性、主要参数及简单应用。 本章学时6学时 4.1 PN结和半导体二极管 本节学时2学时 本节重点1、PN结的单向导电性; 2、半导体二极管的伏安特性; 3、半导体二极管的应用。 教学方法结合理论与实验,讲解PN结的单向导电性和半导体二极管的伏安特性,通过例题让学生掌握二半导体极管的应用。 4.1.1 PN结的单向导电性 1. N型半导体和P型半导体 在纯净的四价半导体晶体材料(主要是硅和锗)中掺入微量三价(例如硼)或五价(例如磷)元素,半导体的导电能力就会大大增强。掺入五价元素的半导体中的多数载流子是自由电子,称为电子半导体或N型半导体。而掺入三价元素的半导体中的多数载流子是空穴,称为空穴半导体或P型半导体。在掺杂半导体中多数载流子(称多子)数目由掺杂浓度确定,而少数载流子(称少子)数目与温度有关,并且温度升高时,少数载流子数目会增加。 2.PN结的单向导电性 当PN结加正向电压时,P端电位高于N端,PN结变窄,而当PN结加反向电压时,N端电位高于P端,PN结变宽,视为截止(不导通)。 4.1.2 半导体二极管 1.结构 半导体二极管就是由一个PN结加上相应的电极引线及管壳封装而成的。由P区引出的电极称为阳极,N区引出的电极称为阴极。因为PN结的单向导电性,二极管导通时电流方向是由阳极通过管子内部流向阴极。 2. 二极管的种类 按材料来分,最常用的有硅管和锗管两种;按用途来分,有普通二极管、整流二极管、稳压二极管等多种;按结构来分,有点接触型,面接触型和硅平面型几种,点接触型二极管(一般为锗管)其特点是结面积小,因此结电容小,允许通过的电流也小,适用高频电路的检波或小电流的整流,也可用作数字电路里的开关元件;面接触型二极管(一般为硅管)其特点是结面积大,结电容大,允许通过的电流较大,适用于低频整流;硅平面型二极管,结面积大的可用于大功率整流,结面积小的,适用于脉冲数字电路作开关管。

常用半导体器件

《模拟电子技术基础》 (教案与讲稿) 任课教师:谭华 院系:桂林电子科技大学信息科技学院电子工程系 授课班级:2008电子信息专业本科1、2班 授课时间:2009年9月21日------2009年12月23日每周学时:4学时 授课教材:《模拟电子技术基础》(第4版) 清华大学电子学教研组童诗白华成英主编 高教出版社 2009

第一章常用半导体器件 本章内容简介 半导体二极管是由一个PN结构成的半导体器件,在电子电路有广泛的应用。本章在简要地介绍半导体的基本知识后,主要讨论了半导体器件的核心环节——PN 结。在此基础上,还将介绍半导体二极管的结构、工作原理,特性曲线、主要参数以及二极管基本电路及其分析方法与应用。最后对齐纳二极管、变容二极管和光电子器件的特性与应用也给予简要的介绍。 (一)主要内容: ?半导体的基本知识 ?PN结的形成及特点,半导体二极管的结构、特性、参数、模型及应用电 路 (二)基本要求: ?了解半导体材料的基本结构及PN结的形成 ?掌握PN结的单向导电工作原理 ?了解二极管(包括稳压管)的V-I特性及主要性能指标 (三)教学要点: ?从半导体材料的基本结构及PN结的形成入手,重点介绍PN结的单向导 电工作原理、 ?二极管的V-I特性及主要性能指标 1.1 半导体的基本知识 1.1.1 半导体材料 根据物体导电能力(电阻率)的不同,来划分导体、绝缘体和半导体。导电性能介于导体与绝缘体之间材料,我们称之为半导体。在电子器件中,常用的半导体材料有:元素半导体,如硅(Si)、锗(Ge)等;化合物半导体,如砷化镓(GaAs)等;以及掺杂或制成其它化合物半导体材料,如硼(B)、磷(P)、锢(In)和锑(Sb)等。其中硅是最常用的一种半导体材料。 半导体有以下特点: 1.半导体的导电能力介于导体与绝缘体之间 2.半导体受外界光和热的刺激时,其导电能力将会有显著变化。 3.在纯净半导体中,加入微量的杂质,其导电能力会急剧增强。

全球10大半导体厂商排名及简介

[2011-11-09] 全球10大半导体厂商排名及简介 全球10大半导体厂商排名: 1.英特尔(Intel) 2.三星(Samsung) 3.德州仪器(TI) 4.东芝(Toshiba) 5.台积电(TSMC) 6.意法半导体会(ST) 7.瑞萨科技(Renesas) 8.海力士(Hynix) 9.索尼(Sony) 10.高通(Qualcomm) 1.美国英特尔(Intel)公司,以生产CPU芯片闻名于世! 2.三星(Samsung)电子公司成立于1969年,初期主要生产家用电子产品,如电视机和录像机等。七十年代始进入国际市场,逐渐发展成为全球五大电 子公司之一,产品也由家电扩展到计算机、通讯等诸多方面。九十年代由 于经济方面的原因,三星公司进行了大规模的战略重组。1978年,三星半 导体从三星电子公司分立出来而成为独立的实体,1983年起随着成功发展 了64K DRAM超大规模集成电路,从此在单一家电类半导体产品基础上发展了许多新的半导体产品,逐渐成为全球领先的半导体厂商。它的半导体产 品主要有DRAM、SRAM、闪速存储器、ASIC、CPU和TFF-LCD板等等。 3.德州仪器(TI)公司总部位于美国德克萨斯州达拉斯城,是一家全球性的 半导体公司,是世界领先的数字信号处理和模拟技术的设计商、供应商, 是推动电子数字化进程的引擎。主要IC产品有:数字信号处理器、模拟和混合信号器件、数字逻辑、ASIC、微控制器、语音和图形处理器、可编程 逻辑、军用器件等。 4.东芝(Toshiba)在国际市场上盛名远扬,家喻户晓。在日本之外,东芝拥 有100多家子公司和协作公司的庞大全球网络,仅海外子公司便拥有40,000 多名雇员,他们遍及全球各地,从事着从科研到采购、生产、销售以及市 场调研等工作。分布在世界各地的39个厂家构成东芝的生产网络,制造品种繁多的产品,包括最先进的半导体元件、显象管、彩色电视机、移动式 计算个人电脑、光?磁存储、消耗品及工业用发电机和变电装置。这些技术和设备均处世界领先地位的东芝生产厂家,强有力地保障着公司技术和整体 能力的发展,推动着电子工业的进步;同时也提供了更多的就业机会,进 一步促进了当地经济的蓬勃发展。 5.台积电(TSMC)成立于1987年,是全球最大的专业集成电路制造服务公司。身为专业集成电路制造服务业的创始者与领导者,TSMC在提供先进晶圆制程技术与最佳的制造效率上已建立声誉。自创立开始,TSMC即持续提供客户最先进的技术;2006年的总产能超过七百万片约当八寸晶圆,全年营 收约占专业集成电路制造服务领域的百分之五十。

半导体器件工艺基础知识

半导体基础知识和半导体器件工艺 第一章半导体基础知识  通常物质根据其导电性能不同可分成三类。第一类为导体,它可以很好的传导电流,如:金属类,铜、银、铝、金等;电解液类:NaCl水溶液,血液,普通水等以及其它一些物体。第二类为绝缘体,电流不能通过,如橡胶、玻璃、陶瓷、木板等。第三类为半导体,其导电能力介于导体和绝缘体之间,如四族元素Ge锗、Si硅等,三、五族元素的化合物GaAs砷化镓等,二、六族元素的化合物氧化物、硫化物等。 物体的导电能力可以用电阻率来表示。电阻率定义为长1厘米、截面积为1平方厘米的物质的电阻值,单位为欧姆*厘米。电阻率越小说明该物质的导电性能越好。通常导体的电阻率在10-4欧姆*厘米以下,绝缘体的电阻率在109欧姆*厘米以上。 半导体的性质既不象一般的导体,也不同于普通的绝缘体,同时也不仅仅由于它的导电能力介于导体和绝缘体之间,而是由于半导体具有以下的特殊性质: (1) 温度的变化能显著的改变半导体的导电能力。当温度升高时,电阻率会降低。比如Si在200℃时电阻率比室温时的电阻率低几千倍。可以利用半导体的这个特性制成自动控制用的热敏组件(如热敏电阻等),但是由于半导体的这一特性,容易引起热不稳定性,在制作半导体器件时需要考虑器件自身产生的热量,需要考虑器件使用环境的温度等,考虑如何散热,否则将导致器件失效、报废。 (2) 半导体在受到外界光照的作用是导电能力大大提高。如硫化镉受到光照后导电能力可提高几十到几百倍,利用这一特点,可制成光敏三极管、光敏电阻等。 (3) 在纯净的半导体中加入微量(千万分之一)的其它元素(这个过程我们称为掺杂),可使他的导电能力提高百万倍。这是半导体的最初的特征。例如在原子密度为5*1022/cm3的硅中掺进大约5X1015/cm3磷原子,比例为10-7(即千万分之一),硅的导电能力提高了几十万倍。 物质是由原子构成的,而原子是由原子核和围绕它运动的电子组成的。电子很轻、很小,带负电,在一定的轨道上运转;原子核带正电,电荷量与电子的总电荷量相同,两者相互吸引。当原子的外层电子缺少后,整个原子呈现正电,缺少电子的地方产生一个空位,带正电,成为电洞。物体导电通常是由电子和电洞导电。 前面提到掺杂其它元素能改变半导体的导电能力,而参与导电的又分为电子和电洞,这样掺杂的元素(即杂质)可分为两种:施主杂质与受主杂质。 将施主杂质加到硅半导体中后,他与邻近的4个硅原子作用,产生许多自由电子参与导电,而杂质本身失去电子形成正离子,但不是电洞,不能接受电子。这时的半导体叫N型半导体。施主杂质主要为五族元素:锑、磷、砷等。 将施主杂质加到半导体中后,他与邻近的4个硅原子作用,产生许多电洞参与导电,这时的半导体叫p型半导体。受主杂质主要为三族元素:铝、镓、铟、硼等。 电洞和电子都是载子,在相同大小的电场作用下,电子导电的速度比电洞

常用半导体器件习题考答案

第7章 常用半导体器件 习题参考答案 7-1 计算图所示电路的电位U Y (设D 为理想二极管)。 (1)U A =U B =0时; (2)U A =E ,U B =0时; (3)U A =U B =E 时。 解:此题所考查的是电位的概念以及二极管应用的有关知识。从图中可以看出A 、B 两点电位的相对高低影响了D A 和D B 两个二极管的导通与关断。 当A 、B 两点的电位同时为0时,D A 和D B 两个二极管的阳极和阴极(U Y )两端电位同时为0,因此均不能导通;当U A =E ,U B =0时,D A 的阳极电位为E ,阴极电位为0(接地),根据二极管的导通条件,D A 此时承受正压而导通,一旦D A 导通,则U Y >0,从而使D B 承受反压(U B =0)而截止;当U A =U B =E 时,即D A 和D B 的阳极电位为大小相同的高电位,所以两管同时导通,两个1k Ω的电阻为并联关系。本题解答如下: (1)由于U A =U B =0,D A 和D B 均处于截止状态,所以U Y =0; (2)由U A =E ,U B =0可知,D A 导通,D B 截止,所以U Y =E ? +9 19=109E ; (3)由于U A =U B =E ,D A 和D B 同时导通,因此U Y =E ?+5.099=1918E 。 7-2 在图所示电路中,设D 为理想二极管,已知输入电压u i 的波形。试画出输出电压u o 的波形图。 解:此题的考查点为二极管的伏安特性以及电路的基本知识。 首先从(b )图可以看出,当二极管D 导通时,电阻为零,所以u o =u i ;当D 截止时,电阻为无穷大,相当 于断路,因此u o =5V ,即是说,只要判断出D 导通与否, 就可以判断出输出电压的波形。要判断D 是否导通,可 以以接地为参考点(电位零点),判断出D 两端电位的高 低,从而得知是否导通。 u o 与u i 的波形对比如右图所示: 7-3 试比较硅稳压管与普通二极管在结构和运用上有 何异同 (参考答案:见教材) 7-4 某人检修电子设备时,用测电位的办法,测出管脚①对地电位为-;管脚②对地电位

常用半导体元件习题及答案

第5章常用半导体元件习题 5.1晶体二极管 一、填空题: 1.半导体材料的导电能力介于和之间,二极管是将 封装起来,并分别引出和两个极。 2.二极管按半导体材料可分为和,按内部结构可分为_和,按用途分类有、、四种。3.二极管有、、、四种状态,PN 结具有性,即。4.用万用表(R×1K档)测量二极管正向电阻时,指针偏转角度,测量反向电阻时,指针偏转角度。 5.使用二极管时,主要考虑的参数为和二极管的反向击穿是指。 6.二极管按PN结的结构特点可分为是型和型。 7.硅二极管的正向压降约为 V,锗二极管的正向压降约为 V;硅二极管的死区电压约为 V,锗二极管的死区电压约为 V。 8.当加到二极管上反向电压增大到一定数值时,反向电流会突然增大,此现象称为现象。 9.利用万用表测量二极管PN结的电阻值,可以大致判别二极管的、和PN结的材料。 二、选择题: 1. 硅管和锗管正常工作时,两端的电压几乎恒定,分别分为( )。 A.0.2-0.3V 0.6-0.7V B. 0.2-0.7V 0.3-0.6V C.0.6-0.7V 0.2-0.3V D. 0.1-0.2V 0.6-0.7V 的大小为( )。 2.判断右面两图中,U AB A. 0.6V 0.3V B. 0.3V 0.6V C. 0.3V 0.3V D. 0.6V 0.6V 3.用万用表检测小功率二极管的好坏时,应将万用表欧姆档拨到() Ω档。 A.1×10 B. 1×1000 C. 1×102或1×103 D. 1×105 4. 如果二极管的正反向电阻都很大,说明 ( ) 。 A. 内部短路 B. 内部断路 C. 正常 D. 无法确定 5. 当硅二极管加0.3V正向电压时,该二极管相当于( ) 。 A. 很小电阻 B. 很大电阻 C.短路 D. 开路 6.二极管的正极电位是-20V,负极电位是-10V,则该二极管处于()。 A.反偏 B.正偏 C.不变D. 断路 7.当环境温度升高时,二极管的反向电流将() A.增大 B.减小 C.不变D. 不确定 8.PN结的P区接电源负极,N区接电源正极,称为()偏置接法。

大功率半导体器件综述及介绍

自从50年代,硅晶闸管问世以后,50多年来,功率半导体器件的研究工作者为达到理想化的目标做出了不懈的努力,并以取得了使世人瞩目的成就。60年代后期,可关断晶闸管GTO实现了门极可关断功能,并使斩波工作频率扩展到1KHZ以上。70年代中期,大功率晶体管和功率MOSFET 问世,功率器件实现了场控功能,打开了高频应用的大门。80年代,绝缘栅双极晶体管(IGBT)问世,它综合了功率MOSFET和双极型功率晶体管两者的功能。因此,当前功率器件研究工作的重点主要集中在研究现有功率器件的集成性能,MOS门控晶体管的改进,以及采用新型半导体材料制造新型的功率器件等。 瑞士ABB半导体公司是ABB集团的全资子公司,是世界上最著名的大功率半导体生产商之一。西安赛晶电子科技责任有限公司是瑞士ABB 半导体公司在中国的首家代理,本公司在为客户提供先进的大功率半导体器件的同时,以西安电力电子技术研究所为其坚强的技术后盾,为客户提供较强的技术支持和服务。 一大功率半导体器件的最新发展 1.普通晶闸管(PCT) PCT自问世以来,其功率容量已提高了近3000倍。现在许多国家已能稳定生产Φ100mm,8000V/4000A的晶闸管。日本现在已能稳定生产8000V/4000A和6000V/6000A的光触发晶闸管。近十几年来,由于自关断器件的飞速发展,晶闸管的应用领域有所缩小,但是,由于它的高电压、大电流特性,它在HVDC,静止无功补偿(SVC),大功率直流电源及超大功率和高压变频调速等方面仍然占有十分重要的地位。预计在今后若干年内,晶闸管仍将在高电压、大电流应用场合得到继续发展。 2、门极可关断晶闸管(GTO) 1982年日本日立公司首先研制成功2500V,1000A的GTO。许多的生产商可提供额定开关功率36MVA(6000V,6000A)用的高压大电流GTO。为了折衷它的导通、开通和关断特性,传统GTO的典型的关断增量仅为3-5。GTO关断期间的不均匀性使GTO关断期间dv/dt必须限制在 500-1000v/μs。为此,人们不得不使用体积大、笨重、昂贵的吸收电路。它的其他缺点是门极驱动电路较复杂和要求较大的驱动功率。但是,高的导通电流密度、高的阻断电压、阻断状态下高的dv/dt耐量和有可能在内部集成一个反并二极管,这些突出的优点仍使人们对GTO感兴趣。到目前为止,传统的GTO在高压(VBR>3300V)/大功率(0.5-20MVA)牵引、工业和电力逆变器中是应用得最为普遍得门控功率半导体器件。目前,GTO的最高研究水平为6英寸、6000V/6000A以及9000V/10000A。这种GTO采用了大直径均匀结技术和全压接式结构,通过少子寿命控制技术折衷了GTO导通电压与关断损耗两者之间的矛盾。由于GTO具有门极全控功能,它正在许多应用领域逐步代替PCT。为了满足电力系统对1兆VA以上的三相逆变功率电压源的需要,近期很可能开发10,000A,12,000V的GTO,并可能解决30多个高压GTO串联的技术,可望使电力电子技术在电力系统应用方面再上一个台阶。 3、绝缘栅双极晶体管(IGBT)

1章 常用半导体器件 习题

第一章题解-1 第一章 常用半导体器件 习 题 1.1 选择合适答案填入空内。 (1)在本征半导体中加入 元素可形成N 型半导体,加入 元素可形成P 型半导体。 A. 五价 B. 四价 C. 三价 (2)当温度升高时,二极管的反向饱和电流将 。 A. 增大 B. 不变 C. 减小 (3)工作在放大区的某三极管,如果当I B 从12μA 增大到22μA 时,I C 从1m A 变为2m A ,那么它的β约为 。 A. 83 B. 91 C. 100 (4)当场效应管的漏极直流电流I D 从2m A 变为4m A 时,它的低频跨导g m 将 。 A.增大 B.不变 C.减小 解:(1)A ,C (2)A (3)C (4)A 1.2 能否将1.5V 的干电池以正向接法接到二极管两端?为什么? 解:不能。因为二极管的正向电流与其端电压成指数关系,当端电压为1.5V 时,管子会因电流过大而烧坏。 1.3 电路如图P1.3所示,已知u i =10s in ωt (v),试画出u i 与u O 的波形。设二极管正向导通电压可忽略不计。 图P1.3

第一章题解-2 解图P1.3 解:u i 和u o 的波形如解图P1.3所示。 1.4 电路如图P1.4所示,已知u i =5s in ωt (V),二极管导通电压U D =0.7V 。试画出u i 与u O 的波形,并标出幅值。 图P1.4 解图P1.4 解:波形如解图P1.4所示。 1.5 电路如图P1.5(a )所示,其输入电压u I1和u I2的波形如图(b )所示,二极管导通电压U D =0.7V 。试画出输出电压u O 的波形,并标出幅值。 图P1.5 解:u O 的波形如解图P1.5所示。

半导体器件物理施敏课后答案

半导体器件物理施敏课后答案 【篇一:半导体物理物理教案(03级)】 >学院、部:材料和能源学院 系、所;微电子工程系 授课教师:魏爱香,张海燕 课程名称;半导体物理 课程学时:64 实验学时:8 教材名称:半导体物理学 2005年9-12 月 授课类型:理论课授课时间:2节 授课题目(教学章节或主题): 第一章半导体的电子状态 1.1半导体中的晶格结构和结合性质 1.2半导体中的电子状态和能带 本授课单元教学目标或要求: 了解半导体材料的三种典型的晶格结构和结合性质;理解半导体中的电子态, 定性分析说明能带形成的物理原因,掌握导体、半导体、绝缘体的能带结构的特点 本授课单元教学内容(包括基本内容、重点、难点,以及引导学生解决重点难点的方法、例题等):

1.半导体的晶格结构:金刚石型结构;闪锌矿型结构;纤锌矿型 结构 2.原子的能级和晶体的能带 3.半导体中电子的状态和能带(重点,难点) 4.导体、半导体和绝缘体的能带(重点) 研究晶体中电子状态的理论称为能带论,在前一学期的《固体物理》课程中已经比较完整地介绍了,本节把重要的内容和思想做简要的 回顾。 本授课单元教学手段和方法: 采用ppt课件和黑板板书相结合的方法讲授 本授课单元思考题、讨论题、作业: 作业题:44页1题 本授课单元参考资料(含参考书、文献等,必要时可列出) 1.刘恩科,朱秉升等《半导体物理学》,电子工业出版社2005? 2.田敬民,张声良《半导体物理学学习辅导和典型题解》?电子工 业 出版社2005 3. 施敏著,赵鹤鸣等译,《半导体器件物理和工艺》,苏州大学出 版社,2002 4. 方俊鑫,陆栋,《固体物理学》上海科学技术出版社 5.曾谨言,《量子力学》科学出版社 注:1.每单元页面大小可自行添减;2.一个授课单元为一个教案;3. “重点”、“难点”、“教学手段和方法”部分要尽量具体;4.授课类型指:理论课、讨论课、实验或实习课、练习或习题课。

13种常用的功率半导体器件介绍

13种常用的功率半导体器件介绍 电力电子器件(Power Electronic Device),又称为功率半导体器件,用于电能变换和电能控制电路中的大功率(通常指电流为数十至数千安,电压为数百伏以上)电子器件。可以分为半控型器件、全控型器件和不可控型器件,其中晶闸管为半控型器件,承受电压和电流容量在所有器件中最高;电力二极管为不可控器件,结构和原理简单,工作可靠;还可以分为电压驱动型器件和电流驱动型器件,其中GTO、GTR为电流驱动型器件,IGBT、电力MOSFET为电压驱动型器件。 1. MCT (MOS Control led Thyristor):MOS控制晶闸管 MCT 是一种新型MOS 与双极复合型器件。如上图所示。MCT是将MOSFET 的高阻抗、低驱动图MCT 的功率、快开关速度的特性与晶闸管的高压、大电流特型结合在一起,形成大功率、高压、快速全控型器件。实质上MCT 是一个MOS 门极控制的晶闸管。它可在门极上加一窄脉冲使其导通或关断,它由无数单胞并联而成。它与GTR,MOSFET,IGBT,GTO 等器件相比,有如下优点: (1)电压高、电流容量大,阻断电压已达3 000V,峰值电流达1 000 A,最大可关断电流密度为6000kA/m2; (2)通态压降小、损耗小,通态压降约为11V; (3)极高的dv/dt和di/dt耐量,dv/dt已达20 kV/s ,di/dt为2 kA/s; (4)开关速度快,开关损耗小,开通时间约200ns,1 000 V 器件可在2 s 内关断; 2. IGCT(Intergrated Gate Commutated Thyristors) IGCT 是在晶闸管技术的基础上结合IGBT 和GTO 等技术开发的新型器件,适用于高压大容量变频系统中,是一种用于巨型电力电子成套装置中的新型电力半导体器件。 IGCT 是将GTO 芯片与反并联二极管和门极驱动电路集成在一起,再与其门极驱动器在外围以低电感方式连接,结合了晶体管的稳定关断能力和晶闸管低通态损耗的优点。在导通阶段发挥晶闸管的性能,关断阶段呈现晶体管的特性。IGCT 芯片在不串不并的情况下,二电平逆变器功率0.5~ 3 MW,三电平逆变器1~ 6 MW;若反向二极管分离,不与IGCT

全球著名半导体厂家简介

德州仪器(TI) LOGO: 德州仪器(Texas Instruments),简称TI,是全球领先的半导体公司,为现实世界的信号处理提供创新的数字信号处理(DSP)及模拟器件技术。除半导体业务外,还提供包括传感与控制、教育产品和数字光源处理解决方案。TI总部位于美国得克萨斯州的达拉斯,并在25多个国家设有制造、设计或销售机构。 德州仪器 (TI) 是全球领先的数字信号处理与模拟技术半导体供应商,亦是推动因特网时代不断发展的半导体引擎。 ----作为实时技术的领导者,TI正在快速发展,在无线与宽带接入等大型市场及数码相机和数字音频等新兴市场方面,TI凭借性能卓越的半导体解决方案不断推动着因特网时代前进的步伐! ----TI预想未来世界的方方面面都渗透着 TI 产品的点点滴滴,您的每个电话、每次上网、拍的每张照片、听的每首歌都来自 TI 数字信号处理器 (DSP) 及模拟技术的神奇力量。 网址:https://www.sodocs.net/doc/8f4721675.html, 意法半导体(ST) LOGO: 意法半导体(ST)集团于1987年6月成立,是由意大利的SGS微电子公司和法国Thomson半导体公司合并而成。1998年5月,SGS-THOMSON Microelectroni cs将公司名称改为意法半导体有限公司 意法半导体是世界最大的半导体公司之一,2006年全年收入98.5亿美元,2007年前半年公司收入46.9亿美元。 公司销售收入在半导体工业五大高速增长市场之间分布均衡(五大市场占2007年销售收入的百分比):通信(35%),消费(17%),计算机(16%),汽车(16%),工业(16%)。 据最新的工业统计数据,意法半导体是全球第五大半导体厂商,在很多市场居世界领先水平。例如,意法半导体是世界第一大专用模拟芯片和电源转换芯片制造商,世界第一大工业半导体和机顶盒芯片供应商,而且在分立器件、手机相机模块和车用集成电路领域居世界前列。 网址:https://www.sodocs.net/doc/8f4721675.html,

半导体各工艺简介5

Bubbler Wet Thermal Oxidation Techniques

Film Deposition Deposition is the process of depositing films onto a substrate. There are three categories of these films: * POLY * CONDUCTORS * INSULATORS (DIELECTRICS) Poly refers to polycrystalline silicon which is used as a gate material, resistor material, and for capacitor plates. Conductors are usually made of Aluminum although sometimes other metals such as gold are used. Silicides also fall under this category. Insulators refers to materials such as silicon dioxide, silicon nitride, and P-glass (Phosphorous-doped silicon dioxide) which serve as insulation between conducting layers, for diffusion and implantation masks,and for passivation to protect devices from the environment.

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