1 l/min=0.06m3/hr
Note: 1kg/cm2 ≈ 1atm
Bulk Gas 一般流速为10m/s (压力7.5kg/cm2); Ar 、He < 10~15m/s; SiH4、PH3<5m/s; CO2、NH3<1~5m/s
Special Gas : NH3、N2O 、HCL 、BCL3、HF 、HBr 、SF6等液态气体,流速应小于1m/s
273
*033.1)(*)(*3600)/(2
atm P m A s m LV +=